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      白光LED成品及其制作方法與流程

      文檔序號:12599151閱讀:375來源:國知局
      白光LED成品及其制作方法與流程

      本發(fā)明涉及發(fā)光二極管技術(shù)領(lǐng)域,更為具體的說,涉及一種白光LED成品及其制作方法。



      背景技術(shù):

      LED(Light Emitting Diode,發(fā)光二極管)是一種利用載流子復(fù)合時釋放能量形成發(fā)光的半導(dǎo)體器件,白光LED成品具有耗電低、色度純、壽命長、體積小、響應(yīng)時間快、節(jié)能環(huán)保等諸多優(yōu)勢。近年來,隨著對白光LED成品研究的不斷深入,白光LED成品的發(fā)光效率得到的極大的提高,目前已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于顯示等各個領(lǐng)域。

      現(xiàn)有在制作白光LED成品過程中,一般由芯片廠生產(chǎn)LED芯片,然后再由封裝廠對每顆芯片進行封裝,這樣工序繁復(fù),需要大量的人力物力,降低產(chǎn)品良率。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      有鑒于此,本發(fā)明提供了一種白光LED成品及其制作方法,使芯片和封裝一體化,簡化白光LED成品的制作步驟。

      本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下:

      一種白光LED成品的制作方法,包括:

      提供一襯底;

      在所述襯底任意一表面形成多個發(fā)光微結(jié)構(gòu),所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)包括位于所述襯底表面的第一半導(dǎo)體層,位于所述第一半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)的有源層和第一電極,位于所述有源層背離所述襯底一側(cè)的第二半導(dǎo)體層,位于所述第二半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)的導(dǎo)電反射膜層,位于所述導(dǎo)電反射膜層背離所述襯底一側(cè)的第二電極,所述第一電極與所述第二電極之間相互絕緣;

      采用焊接的方式將所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)焊接到一基板上,在所述基板對應(yīng)所述第一電極的區(qū)域、且背離所述襯底一側(cè)形成第一連接電極,且在所述基板對應(yīng)所述第二電極的區(qū)域、且背離所述襯底一側(cè)形成第二連接電極;

      在所述多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)背離基板一側(cè)表面涂覆熒光粉并進行封裝形成多個白光LED半成品;

      沿所述白光LED半成品的邊緣進行切割,以得到多個白光LED成品。

      優(yōu)選的,在將所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)焊接到所述基板上之后,制備連接電極之前,所述制作方法還包括:

      填充所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)和所述基板之間的空隙,使所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)充分固定在所述基板上。

      優(yōu)選的,填充所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)和所述基板之間的空隙的方式包括:

      采用鋼網(wǎng)印刷的方式將膠水填充在所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)和所述基板之間的空隙。

      優(yōu)選的,在制備連接電極后,進行封裝之前,所述制作方法還包括:

      減薄所述襯底至預(yù)設(shè)厚度范圍或激光剝離所述襯底。

      優(yōu)選的,所述預(yù)設(shè)厚度范圍為100μm~500μm,包括端點值。

      優(yōu)選的,所述焊接方式為回流焊或者共晶焊。

      優(yōu)選的,所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)的形成過程為:

      在所述襯底任意一表面形成所述第一半導(dǎo)體層;

      在所述第一半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)形成所述有源層;

      在所述有源層背離所述襯底一側(cè)形成所述第二半導(dǎo)體層;

      采用刻蝕工藝將所述第一半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)的預(yù)設(shè)區(qū)域裸露;

      在所述第二半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)形成所述導(dǎo)電反射膜層;

      在所述第一半導(dǎo)體層的預(yù)設(shè)區(qū)域、且背離所述襯底一側(cè)形成所述第一電極,且在所述導(dǎo)電反射膜層背離所述襯底一側(cè)形成所述第二電極,所述第一電極與所述第二電極之間相互絕緣。

      優(yōu)選的,在形成所述第二半導(dǎo)體層后,且刻蝕裸露所述第一半導(dǎo)體層的預(yù)設(shè)區(qū)域前,所述制作方法還包括:

      在所述第二半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)形成歐姆接觸層,其中,所述導(dǎo)電反射膜層位于所述歐姆接觸層背離所述襯底一側(cè)。

      優(yōu)選的,所述導(dǎo)電反射膜層為金屬反射膜層;其中,在形成所述導(dǎo)電反射膜層后,且形成所述第一電極和第二電極前,所述制作方法還包括:

      在所述導(dǎo)電反射膜層背離所述襯底一側(cè)形成金屬擴散阻擋層,其中,所述第二電極形成于所述金屬擴散阻擋層背離所述襯底一側(cè)。

      優(yōu)選的,在形成所述導(dǎo)電反射膜層后,且形成所述第一電極和第二電極前,所述制作方法還包括:

      形成覆蓋所述導(dǎo)電反射膜層、且延伸覆蓋至所述第一半導(dǎo)體層的預(yù)設(shè)區(qū)域的鈍化層;

      其中,所述鈍化層對應(yīng)所述預(yù)設(shè)區(qū)域的區(qū)域設(shè)置有第一開口,以用于形成所述第一電極,以及,所述鈍化層對應(yīng)所述導(dǎo)電反射膜層的區(qū)域設(shè)置有第二開口,以用于形成所述第二電極。

      優(yōu)選的,所述襯底為藍寶石襯底、碳化硅襯底或氮化鎵襯底。

      優(yōu)選的,所述第一半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層均為氮化鎵基半導(dǎo)體層,所述有源層為氮化鎵基有源層;

      或者,所述第一半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層均為砷化鎵基半導(dǎo)體層,所述有源層為砷化鎵基有源層。

      優(yōu)選的,所述基板為陶瓷基板或硅基板。

      相應(yīng)的,本發(fā)明還提供了一種白光LED成品,其特征在于,所述白光LED成品采用上述制作方法制作而成。

      相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明提供的技術(shù)方案至少具有以下優(yōu)點:

      本發(fā)明提供的一種白光LED成品及其制作方法,包括:提供一襯底;在所述襯底任意一表面形成多個發(fā)光微結(jié)構(gòu),所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)包括位于所述襯底表面的第一半導(dǎo)體層,位于所述第一半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)的有源層和第一電極,位于所述有源層背離所述襯底一側(cè)的第二半導(dǎo)體層,位于所述第二半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)的導(dǎo)電反射膜層,位于所述導(dǎo)電反射膜層背離所述襯底一側(cè)的第二電極,所述第一電極與所述第二電極之間相互絕緣;采用焊接的方式將所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)焊接到一基板上,在所述基板對應(yīng)所述第一電極的區(qū)域、且背離所述襯底一側(cè)形成第一連接電極,且在所述基板對應(yīng)所述第二電極的區(qū)域、且背離所述襯底一側(cè)形成第二連接電極;在所述多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)背離基板一側(cè)表面涂覆熒光粉并進行封裝形成多個白光LED半成品;沿所述白光LED半成品的邊緣進行切割,以得到多個白光LED成品。

      由上述內(nèi)容可知,本發(fā)明提供的技術(shù)方案,把多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)直接進入封裝工序,封裝測試一次完成,生產(chǎn)周期和成本大幅下降;另外白光LED成品電極上下?lián)Q位,不僅不會擋住芯片原本的出光,還大大提高芯片的發(fā)光效率,并且可以起到降低熱阻的作用。

      附圖說明

      為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

      圖1為本申請實施例提供的一種白光LED成品的制作方法流程圖;

      圖2a至圖2e為圖1制作方法流程圖對應(yīng)的結(jié)構(gòu)流程圖;

      圖3為本申請實施例提供的一種發(fā)光微結(jié)構(gòu)的制作方法的流程圖。

      具體實施方式

      下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。

      結(jié)合圖1至圖2e所示,圖1為本申請實施例提供的一種白光LED成品的制作方法的流程圖,圖2a至圖2e為圖1制作方法流程圖對應(yīng)的結(jié)構(gòu)流程圖;其中,制作方法包括:

      S1、提供一襯底。

      參考圖2a所示,本申請實施例提供的襯底為藍寶石襯底、碳化硅襯底或氮化鎵襯底;除上述材質(zhì)襯底外,在本申請其他實施例中襯底還可以為其他材質(zhì),對此本申請不做具體限制。

      S2、在襯底任意一表面制作發(fā)光微結(jié)構(gòu)。

      參考圖2b所示,在襯底100任意一表面形成多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)200,發(fā)光微結(jié)構(gòu)200包括位于襯底100表面的第一半導(dǎo)體層201,位于第一半導(dǎo)體層201背離襯底100一側(cè)的有源層202和第一電極205,位于有源層202背離襯底100一側(cè)的第二半導(dǎo)體層203,位于第二半導(dǎo)體層203背離襯底100一側(cè)的導(dǎo)電反射膜層204,位于導(dǎo)電反射膜層204背離襯底100一側(cè)的第二電極206,第一電極205與第二電極206之間相互絕緣。

      具體的,參考圖3所示,為本申請實施例提供的一種發(fā)光微結(jié)構(gòu)的制作方法的流程圖,其中,發(fā)光微結(jié)構(gòu)的形成過程為:

      S21、在襯底任意一表面形成第一半導(dǎo)體層。

      S22、在第一半導(dǎo)體層背離襯底一側(cè)形成有源層。

      S23、在有源層背離襯底一側(cè)形成第二半導(dǎo)體層。

      具體的,本申請實施例提供的第一半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層均為氮化鎵基半導(dǎo)體層,有源層為氮化鎵基有源層;或者,第一半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層均為砷化鎵基半導(dǎo)體層,有源層為砷化鎵基有源層;此外,本申請實施例提供的第一半導(dǎo)體層、第二半導(dǎo)體層和有源層的材質(zhì)還可以為其他材質(zhì),對此本申請不做具體限制。

      其中,第一半導(dǎo)體層可以為N型半導(dǎo)體層,則第二半導(dǎo)體層為P型半導(dǎo)體層;或者,第一半導(dǎo)體層為P型半導(dǎo)體層,而第二半導(dǎo)體層為N型半導(dǎo)體層,對于第一半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層的導(dǎo)電類型,需要根據(jù)實際應(yīng)用進行設(shè)計,對此本申請不做具體限制。

      此外,在形成第二半導(dǎo)體層后,且刻蝕裸露第一半導(dǎo)體層的預(yù)設(shè)區(qū)域前,即在步驟S23后,且在步驟S24前,制作方法還包括:

      在第二半導(dǎo)體層背離襯底一側(cè)形成歐姆接觸層,其中,導(dǎo)電反射膜層位于歐姆接觸層背離襯底一側(cè)。

      S24、采用刻蝕工藝將第一半導(dǎo)體層背離襯底一側(cè)的預(yù)設(shè)區(qū)域裸露。

      預(yù)設(shè)區(qū)域即為形成第一電極的區(qū)域,其中,第一電極的面積小于預(yù)設(shè)區(qū)域的面積,避免第一電極與有源層、第二半導(dǎo)體層等疊層接觸。本申請實施例提供的刻蝕工藝可以為干法刻蝕工藝,也可以為濕法刻蝕工藝,對此本申請不做具體限制,需要根據(jù)實際應(yīng)用進行選取。

      S25、在第二半導(dǎo)體層背離襯底一側(cè)形成導(dǎo)電反射膜層。

      導(dǎo)電反射膜層的反射面朝向襯底一側(cè),以將有源區(qū)發(fā)出的光反射至襯底出射。其中,導(dǎo)電反射膜層優(yōu)選為金屬反射膜層;其中,在形成導(dǎo)電反射膜層后,且形成第一電極和第二電極前,即在步驟S25后,且在步驟S26前,制作方法還包括:

      在導(dǎo)電反射膜層背離襯底一側(cè)形成金屬擴散阻擋層,其中,第二電極形成于金屬擴散阻擋層背離襯底一側(cè)。

      具體的,當導(dǎo)電反射膜層為金屬反射膜層時,可以采用沉積工藝制備具有高反射率的金屬反射膜層;此外,可以采用磁控濺射方式制備金屬擴散阻擋層。

      進一步的,在形成導(dǎo)電反射膜層后,且形成第一電極和第二電極前,即在步驟S25后,且在步驟S26前,制作方法還包括:

      形成覆蓋導(dǎo)電反射膜層、且延伸覆蓋至第一半導(dǎo)體層的預(yù)設(shè)區(qū)域的鈍化層;

      其中,鈍化層對應(yīng)預(yù)設(shè)區(qū)域的區(qū)域設(shè)置有第一開口,以用于形成第一電極,以及,鈍化層對應(yīng)導(dǎo)電反射膜層的區(qū)域設(shè)置有第二開口,以用于形成第二電極。

      需要說明的是,當制作過程中在導(dǎo)電反射膜層背離襯底一側(cè)制備有金屬擴散阻擋層,則本申請實施例提供的鈍化層制備于金屬擴散阻擋層背離襯底一側(cè)。

      S26、在第一半導(dǎo)體層的預(yù)設(shè)區(qū)域、且背離襯底一側(cè)形成第一電極,且在導(dǎo)電反射膜層背離襯底一側(cè)形成第二電極,第一電極與第二電極之間相互絕緣。

      S3、將發(fā)光微結(jié)構(gòu)焊接到一基板上。

      參考圖2c所示,在多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)200的第一電極205和第二電極206背離襯底100一側(cè)焊接一基板300。

      具體的,采用回流焊或者共晶焊方式,在基板300對應(yīng)第一電極205的區(qū)域、且背離襯底100一側(cè)形成第一連接電極401,且在基板300對應(yīng)第二電極206的區(qū)域、且背離襯底100一側(cè)形成第二連接電極402。其中,為了提高白光LED成品的強度和散熱性能,基板為采用硬度較高、散熱性能較好的材質(zhì),本申請實施例提供的基板可以為陶瓷基板或硅基板;此外,在本申請其他實施例中,還可以采用其他材質(zhì)的基板,對此本申請不做具體限制;另外,本申請實施例對于基板的厚度范圍不做具體限制,需要根據(jù)實際應(yīng)用進行具體設(shè)計。

      S4、在所述多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)背離基板一側(cè)表面涂覆熒光粉并進行封裝形成多個白光LED半成品。

      參考圖2d所示,在在所述多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)背離基板一側(cè)表面涂覆熒光粉500進行封裝,形成多個白光LED半成品。本申請實施例提供封裝方法屬于本領(lǐng)域的公知常識,對此本申請不做具體限制,需要根據(jù)實際應(yīng)用進行選取。

      S5、沿所述白光LED半成品的邊緣進行切割,以得到多個白光LED成品。

      參考圖2e所示,以發(fā)光微結(jié)構(gòu)200的邊緣為切割道,對襯底100和基板300進行切割,已得到多個白光LED成品。其中,本申請實施例提供的制作方法,可以采用機械或激光切割工藝,對結(jié)構(gòu)進行切割。

      進一步的,在發(fā)光微結(jié)構(gòu)焊接到基板上后,制備連接電極之前,即在步驟S3后,且在步驟S4前,制作方法還包括:

      采用鋼網(wǎng)印刷的方式將膠水填充在發(fā)光微結(jié)構(gòu)和基板之間的空隙上,使發(fā)光微結(jié)構(gòu)充分固定在基板上。其中,本申請實施例對于膠水的種類不做具體限制,需要根據(jù)實際應(yīng)用進行選取。

      進一步的,在制備連接電極后,進行封裝之前,即在步驟S4后,且在步驟S5前,制作方法還包括:

      減薄所述襯底至預(yù)設(shè)厚度范圍或激光剝離所述襯底,預(yù)設(shè)厚度范圍為100μm~500μm,包括端點值。

      其中,本申請實施例對于襯底減薄后的厚度不做具體限制,襯底可以為200μm、400μm等,需要根據(jù)實際應(yīng)用進行具體設(shè)計。

      相應(yīng)的,本申請實施例還提供了一種白光LED成品,所述白光LED成品采用上述實施例提供的制作方法制作而成。

      提供一襯底;在所述襯底任意一表面形成多個發(fā)光微結(jié)構(gòu),所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)包括位于所述襯底表面的第一半導(dǎo)體層,位于所述第一半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)的有源層和第一電極,位于所述有源層背離所述襯底一側(cè)的第二半導(dǎo)體層,位于所述第二半導(dǎo)體層背離所述襯底一側(cè)的導(dǎo)電反射膜層,位于所述導(dǎo)電反射膜層背離所述襯底一側(cè)的第二電極,所述第一電極與所述第二電極之間相互絕緣;采用焊接的方式將所述發(fā)光微結(jié)構(gòu)焊接到一基板上,在所述基板對應(yīng)所述第一電極的區(qū)域、且背離所述襯底一側(cè)形成第一連接電極,且在所述基板對應(yīng)所述第二電極的區(qū)域、且背離所述襯底一側(cè)形成第二連接電極;在所述多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)背離基板一側(cè)表面涂覆熒光粉并進行封裝形成多個白光LED半成品;沿所述白光LED半成品的邊緣進行切割,以得到多個白光LED成品。

      由上述內(nèi)容可知,本申請實施例提供的技術(shù)方案,白光LED成品電極上下?lián)Q位,不僅不會擋住芯片原本的出光,還大大提高芯片的發(fā)光效率,并且可以起到降低熱阻的作用;采用鋼網(wǎng)印刷的方式將基板固定在對應(yīng)第一電極和第二電極背離所述襯底一側(cè),可以有效地防止減薄襯底或者激光剝離襯底時產(chǎn)生的沖擊對發(fā)光微結(jié)構(gòu)的損傷;另外,把多個發(fā)光微結(jié)構(gòu)直接進入封裝工序,封裝測試一次完成,生產(chǎn)周期和成本大幅下降。

      對所公開的實施例的上述說明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn)。因此,本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。

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