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      一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片的制作方法

      文檔序號:12613007閱讀:271來源:國知局

      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電芯片制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片。



      背景技術(shù):

      一般在藍寶石襯底上制作的藍、綠或紫光LED芯片的發(fā)光面為外 延材料的生長表面,即P型表面。在LED的封裝過程中,都把藍寶石 襯底面直接固定在散熱板上。在LED的工作過程中,其發(fā)光區(qū)——有 源區(qū)是器件發(fā)熱的根源。由于藍寶石襯底本身是一種絕緣體材料,且導(dǎo)熱性能和GaN材料比較差,所以對這種正裝的LED器件其工作電流 都有一定的限制,以確保LED的發(fā)光效率和工作壽命。為改善器件的 散熱性能,人們設(shè)計了一種LED芯片結(jié)構(gòu),即倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片。

      由于LED芯片設(shè)計的局限性,封裝良率一直很低,現(xiàn)有的LED所發(fā)射的光的發(fā)散角比較大,不能出射較為集中的光?,F(xiàn)在的LED芯片的有源區(qū)比較小,發(fā)光效率不高。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的發(fā)明目的在于:針對上述存在的問題,提供一種能夠?qū)l(fā)出的光聚集起來,增強發(fā)光效率,同時設(shè)置多個P-CaN和N-CaN,擴大有源區(qū)的面積,提高發(fā)光效率的一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片。

      本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:

      本發(fā)明一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,包括芯片和支架,所述芯片從上到下依次包括:藍寶石層、P型半導(dǎo)體層、N型半導(dǎo)體層、反射層、電極、金屬凸點和支架;所述藍寶石層與P型半導(dǎo)體層和N型半導(dǎo)體層接觸,其特征在于:所述N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層相互交替放置,所述反射層設(shè)置于N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層之下,包括金屬反射層和曲面聚光裝置,金屬反射層覆蓋于曲面聚光裝置上,反射層下對應(yīng)N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層設(shè)置有P極和N極,P極通過金屬凸點與支架連接,N極通過金屬凸點與支架連接;所述支架為硅片。

      由于以上結(jié)構(gòu),設(shè)置了相互交替的N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層,可以增大P極與N極之間的接觸面積,從而擴大發(fā)光區(qū)的面積,增強發(fā)光效率;在芯片中還設(shè)置了帶有金屬反射層和曲面聚光裝置的發(fā)射層,可以將照射到反射層的光進行聚集然后發(fā)出,提高了發(fā)光效率。

      本發(fā)明一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,所述P型半導(dǎo)體層之間設(shè)置有N型半導(dǎo)體層,每個P型半導(dǎo)體層連接一個P極;所述N形半導(dǎo)體層之間設(shè)置有P型半導(dǎo)體,每個N型半導(dǎo)體層連接一個N極。

      本發(fā)明一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,所述P型半導(dǎo)體為P-CaN,所述N型半導(dǎo)體為N-CaN。

      一種具有倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片的制備方法,包括:

      步驟一:將藍寶石進行感應(yīng)耦合離子刻蝕,得到背面圖形化的藍寶石襯底;

      步驟二:在藍寶石襯底上通過MOCVD生長外延層,分別為N型GaN和P型GaN;

      步驟三:在外延層上制作反射層,在導(dǎo)電反射層上面制作金屬保護層,在金屬保護層表面制作SiO2絕緣層;

      步驟四:通過真空鍍膜方法蒸鍍金屬,制作N電極和P電極:

      步驟五:將藍寶石研磨減薄,切割裂片成獨立的芯粒,將芯粒焊接在支架上。

      綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本發(fā)明的有益效果是:

      1、 有源區(qū)面積增大。設(shè)置了相互交替的N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層,可以增大P極與N極之間的接觸面積,從而擴大發(fā)光區(qū)的面積,增強發(fā)光效率。

      2、 有強度較大的出射光。在芯片中還設(shè)置了帶有金屬反射層和曲面聚光裝置的發(fā)射層,可以將照射到反射層的光進行聚集然后發(fā)出,提高了發(fā)光效率。

      附圖說明

      本發(fā)明將通過例子并參照附圖的方式說明,其中:

      圖1是本發(fā)明倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片示意圖。

      圖中標記,1為藍寶石層,2為P型半導(dǎo)體層,3為反射層,4為P極,5為支架,6為金屬凸點,7為N極,8為N型半導(dǎo)體層。

      具體實施方式

      本說明書中公開的所有特征,或公開的所有方法或過程中的步驟,除了互相排斥的特征和/或步驟以外,均可以以任何方式組合。

      本說明書(包括任何附加權(quán)利要求、摘要)中公開的任一特征,除非特別敘述,均可被其他等效或具有類似目的的替代特征加以替換。即,除非特別敘述,每個特征只是一系列等效或類似特征中的一個例子而已。

      如圖1,本發(fā)明一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,包括芯片和支架,所述芯片從上到下依次包括:藍寶石層、P型半導(dǎo)體層、N型半導(dǎo)體層、反射層、電極、金屬凸點和支架;所述藍寶石層與P型半導(dǎo)體層和N型半導(dǎo)體層接觸,其特征在于:所述N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層相互交替放置,所述反射層設(shè)置于N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層之下,包括金屬反射層和曲面聚光裝置,金屬反射層覆蓋于曲面聚光裝置上,反射層下對應(yīng)N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層設(shè)置有P極和N極,P極通過金屬凸點與支架連接,N極通過金屬凸點與支架連接;所述支架為硅片。

      本發(fā)明一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,所述P型半導(dǎo)體層之間設(shè)置有N型半導(dǎo)體層,每個P型半導(dǎo)體層連接一個P極;所述N形半導(dǎo)體層之間設(shè)置有P型半導(dǎo)體,每個N型半導(dǎo)體層連接一個N極。

      本發(fā)明一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,所述P型半導(dǎo)體為P-CaN,所述N型半導(dǎo)體為N-CaN。

      一種具有倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片的制備方法,包括:

      步驟一:將藍寶石進行感應(yīng)耦合離子刻蝕,得到背面圖形化的藍寶石襯底;

      步驟二:在藍寶石襯底上通過MOCVD生長外延層,分別為N型GaN和P型GaN;

      步驟三:在外延層上制作反射層,在導(dǎo)電反射層上面制作金屬保護層,在金屬保護層表面制作SiO2絕緣層;

      步驟四:通過真空鍍膜方法蒸鍍金屬,制作N電極和P電極:

      步驟五:將藍寶石研磨減薄,切割裂片成獨立的芯粒,將芯粒焊接在支架上。

      本發(fā)明一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,設(shè)置了相互交替的N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層,可以增大P極與N極之間的接觸面積,從而擴大發(fā)光區(qū)的面積,增強發(fā)光效率;在芯片中還設(shè)置了帶有金屬反射層和曲面聚光裝置的發(fā)射層,可以將照射到反射層的光進行聚集然后發(fā)出,提高了發(fā)光效率。

      本發(fā)明并不局限于前述的具體實施方式。本發(fā)明擴展到任何在本說明書中披露的新特征或任何新的組合,以及披露的任一新的方法或過程的步驟或任何新的組合。

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