本發(fā)明屬于石英舟制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種石英推拉舟。

背景技術(shù)：

晶圓擴(kuò)散工藝是將晶圓片放入高溫?cái)U(kuò)散爐中，通以氮?dú)夂蚿ocl3等氣體，在高溫下分解后在晶圓片表面形成p-n結(jié)。高溫?cái)U(kuò)散爐的管道為石英材料的圓形管道，擴(kuò)散時(shí)，首先將晶圓片放在石英舟上，然后用石英桿或金屬桿將石英舟送入管道中進(jìn)行烘烤。

目前產(chǎn)線上普遍使用石英推拉舟，正常晶圓片放在石英推拉舟中間，不合格的晶圓片作為陪片放置在正常晶圓片的前后，以達(dá)到爐管內(nèi)的溫度和氣流均勻的目的，保證晶圓產(chǎn)品參數(shù)的一致性。但是使用石英推拉舟的工序存在較多的陪片，不便于管理，在定期清洗過程中可能存在漏清洗及重復(fù)清洗的情況，且在連續(xù)作業(yè)情況下，陪片極易沾污和缺損，會(huì)使溫度和氣流的均勻性變差，影響晶圓片的參數(shù)。另外，陪片與正常晶圓片一樣，厚度薄，也是消耗品，經(jīng)常需要添加，成本高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于此，本發(fā)明提供了一種石英推拉舟，以解決陪片不便于管理且極易沾污和缺損的問題，節(jié)省成本，保證晶圓片片間溫度和氣流的均勻性。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種石英推拉舟，包括平行設(shè)置的第一舟軸和 第二舟軸、連接于所述第一舟軸和所述第二舟軸兩端的連接軸、橫跨于所述第一舟軸和所述第二舟軸上的第一插片檔橋組及第二插片檔橋組，所述第一插片檔橋組和所述第二插片檔橋組分別包括多個(gè)插片檔橋，相鄰插片檔橋之間放置有石英插片；

所述第一舟軸上設(shè)置有多個(gè)第一舟槽，所述第二舟軸上設(shè)置有多個(gè)第二舟槽，所述多個(gè)第一舟槽和所述多個(gè)第二舟槽對(duì)應(yīng)設(shè)置，多個(gè)晶圓片通過所述多個(gè)第一舟槽和所述多個(gè)第二舟槽被承載在所述石英推拉舟上；

所述第一插片檔橋組和所述第二插片檔橋組分別固定于所述第一舟軸和所述第二舟軸的兩端，所述多個(gè)第一舟槽和所述多個(gè)第二舟槽設(shè)置于所述第一插片檔橋組和所述第二插片檔橋組之間。

進(jìn)一步地，還包括固定于所述第一舟軸下方的第三舟軸，以及固定于所述第二舟軸下方的第四舟軸。

進(jìn)一步地，還包括設(shè)置于所述第一舟軸和所述第二舟軸同端的掛鼻。

進(jìn)一步地，所述掛鼻呈三角形。

進(jìn)一步地，還包括用于固定所述第一舟軸和所述第二舟軸的至少兩個(gè)固定軸。

進(jìn)一步地，所述多個(gè)第一舟槽和所述多個(gè)第二舟槽的開口呈v形。

進(jìn)一步地，所述石英插片呈圓形，且半徑大于石英推拉舟上的晶圓片的半徑。

進(jìn)一步地，所述石英插片表面噴砂。

進(jìn)一步地，所述第三舟軸和所述第四舟軸呈圓柱形。

進(jìn)一步地，所述插片檔橋呈梯形。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)是：

本發(fā)明提供的石英推拉舟，使用石英插片代替現(xiàn)有技術(shù)中易沾污和缺損的陪片，在石英推拉舟的第一舟軸和第二舟軸的兩端分別固定設(shè)置第一插片檔橋組和第二插片檔橋組，其中，第一插片檔橋組和第二插片檔橋組均由多個(gè)插片檔橋組成，相鄰插片檔橋之間留有一定空隙，用于放置石英插片，并在第一插片檔橋組和第二插片檔橋組之間的第一舟軸和第二舟軸上，分別對(duì)應(yīng)設(shè)置多個(gè)第一舟槽和多個(gè)第二舟槽，用于承載晶圓片，對(duì)晶圓片進(jìn)行氧化擴(kuò)散時(shí)，晶圓片放置在推拉舟兩端的石英插片之間，保證了晶圓片片間溫度和氣流的均勻性，且石英插片連續(xù)作業(yè)很長(zhǎng)時(shí)間都不會(huì)沾污和缺損，節(jié)省了成本。

附圖說明

下面將通過參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明或現(xiàn)有技術(shù)的示例性實(shí)施例，使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員更清楚本發(fā)明的上述及其他特征和優(yōu)點(diǎn)，附圖中：

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一提供的石英推拉舟的主視圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例一提供的石英推拉舟的俯視圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例一提供的石英推拉舟的左視圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例一提供的石英推拉舟的舟槽結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例二提供的石英推拉舟的主視圖；

圖6為本發(fā)明實(shí)施例二提供的石英推拉舟的俯視圖；

圖7為本發(fā)明實(shí)施例二提供的石英插片的主視圖；

圖8為本發(fā)明實(shí)施例二提供的石英插片的側(cè)視圖；

圖9為本發(fā)明實(shí)施例二提供的插片檔橋的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，以下將參照本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，通過實(shí)施方式清楚、完整地描述本發(fā)明的技術(shù)方案，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

實(shí)施例一

圖1給出了本發(fā)明實(shí)施例一提供的石英推拉舟的主視圖，圖2給出了本發(fā)明實(shí)施例一提供的石英推拉舟的俯視圖，圖3給出了本發(fā)明實(shí)施例一提供的石英推拉舟的左視圖，如圖1-圖3所示，該石英推拉舟包括平行設(shè)置的第一舟軸1和第二舟軸2、連接于第一舟軸1和第二舟軸2兩端的連接軸3、橫跨于第一舟軸1和所述第二舟軸2上的第一插片檔橋組4及第二插片檔橋組5，第一插片檔橋組4和第二插片檔橋組5分別包括多個(gè)插片檔橋6，相鄰插片檔橋6之間放置有石英插片(圖中未標(biāo)出)。

其中，參見圖4(僅為第一舟軸上的舟槽結(jié)構(gòu)，第二舟軸與第一舟軸相同)，第一舟軸1上設(shè)置有多個(gè)第一舟槽7，第二舟軸2上設(shè)置有多個(gè)第二舟槽，多個(gè)第一舟槽7和多個(gè)第二舟槽對(duì)應(yīng)設(shè)置，多個(gè)晶圓片通過多個(gè)第一舟槽7和多個(gè)第二舟槽被承載在石英推拉舟上。

上述第一插片檔橋組4和第二插片檔橋組5分別固定于第一舟軸1和第二舟軸2的兩端，多個(gè)第一舟槽7和多個(gè)第二舟槽設(shè)置于第一插片檔橋組4和第二插片檔橋組5之間。

示例性的，第一舟軸1和第二舟軸2可為長(zhǎng)度相同、截面直徑也相同的圓柱形，其長(zhǎng)度可為498.3mm，直徑可為15mm；連接軸3也可為圓柱形，其圓截面的直徑a可為15mm；第一插片檔橋組4可包括4個(gè)插片檔橋6，第二插片檔 橋組5可包括3個(gè)插片檔橋6，第一插片檔橋組4可放置三片石英插片，第二插片檔橋組5可放置兩片插片，每個(gè)插片檔橋6的厚度b可為15mm，相鄰插片檔橋6的間隔c可為2.5mm；相應(yīng)地，分布有舟槽結(jié)構(gòu)舟軸的長(zhǎng)度d為380.8mm。

另外，參見圖3，上述石英推拉舟還包括用于固定第一舟軸1和第二舟軸2的至少兩個(gè)固定軸8，以免第一舟軸1和第二舟軸2受熱變形。其中，固定軸8可為圓柱形，其截面直徑可為8mm。

優(yōu)選的，參見圖4，多個(gè)第一舟槽7和多個(gè)第二舟槽的開口呈v形，以防止放置在舟槽中的晶圓片在推拉過程中被直角開口處的尖角碰裂，同時(shí)v形開口容易放置晶圓片。示例性的，v形開口的角度α可為60°，v形開口的垂直深度g可為0.5mm，舟槽的垂直深度e可為3.5mm，舟槽的寬度f(wàn)可為0.5±0.05mm，置于舟槽中的晶圓片與垂直方向的最大偏角β可為3°。

本發(fā)明實(shí)施例一提供的石英推拉舟，使用石英插片代替現(xiàn)有技術(shù)中易沾污和缺損的陪片，在石英推拉舟的第一舟軸和第二舟軸的兩端分別固定設(shè)置第一插片檔橋組和第二插片檔橋組，其中，第一插片檔橋組和第二插片檔橋組均由多個(gè)插片檔橋組成，相鄰插片檔橋之間留有一定空隙，用于放置石英插片，并在第一插片檔橋組和第二插片檔橋組之間的第一舟軸和第二舟軸上，分別對(duì)應(yīng)設(shè)置多個(gè)第一舟槽和多個(gè)第二舟槽，用于承載晶圓片，對(duì)晶圓片進(jìn)行氧化擴(kuò)散時(shí)，晶圓片放置在推拉舟兩端的石英插片之間，保證了晶圓片片間溫度和氣流的均勻性，進(jìn)而保證了晶圓片在氧化擴(kuò)散過程中的一致性，且石英插片連續(xù)作業(yè)很長(zhǎng)時(shí)間都不會(huì)沾污和缺損，節(jié)省了成本。

實(shí)施例二

圖5給出了本發(fā)明實(shí)施例二提供的石英推拉舟的主視圖，圖6給出了本發(fā) 明實(shí)施例提供的石英推拉舟的俯視圖，本實(shí)施例與實(shí)施例一的不同之處在于，還包括固定于第一舟軸下方的第三舟軸，以及固定于第二舟軸下方的第四舟軸。如圖5和圖6所示，該石英推拉舟包括平行設(shè)置的第一舟軸1和第二舟軸2、連接于第一舟軸1和第二舟軸2兩端的連接軸3、橫跨于第一舟軸1和所述第二舟軸2上的第一插片檔橋組4及第二插片檔橋組5，和固定于第一舟軸1下方的第三舟軸9，以及固定于第二舟軸2下方的第四舟軸10，其中，第一插片檔橋組4和第二插片檔橋組5分別包括多個(gè)插片檔橋6，相鄰插片檔橋6之間放置有石英插片(圖中未標(biāo)出)。

其中，參見圖4(僅為第一舟軸上的舟槽結(jié)構(gòu)，第二舟軸與第一舟軸相同)，第一舟軸1上設(shè)置有多個(gè)第一舟槽7，第二舟軸2上設(shè)置有多個(gè)第二舟槽，多個(gè)第一舟槽7和多個(gè)第二舟槽對(duì)應(yīng)設(shè)置，多個(gè)晶圓片通過多個(gè)第一舟槽7和多個(gè)第二舟槽被承載在石英推拉舟上。

上述第一插片檔橋組4和第二插片檔橋組5分別固定于第一舟軸1和第二舟軸2的兩端，多個(gè)第一舟槽7和多個(gè)第二舟槽設(shè)置于第一插片檔橋組4和第二插片檔橋組5之間。

上述第三舟軸9和第四舟軸10可通過石英分別固定于第一舟軸1和第二舟軸2下方，且第三舟軸9和第四舟軸10可呈圓柱形，其長(zhǎng)度和直徑可與第一舟軸1相同。圓柱形的第三舟軸9和第四舟軸10可與爐管的內(nèi)壁相配合，可以使石英推拉舟平穩(wěn)地放置于爐管中，同時(shí)，第三舟軸9和第四舟軸10可將石英推拉舟的整體高度抬高，使晶圓片中心與爐管中心處于同一水平高度，有利于晶圓片片間的溫度和氣流分布均勻。

上述各結(jié)構(gòu)參數(shù)的設(shè)置可參考實(shí)施例一，此處不再贅述。

進(jìn)一步的，本實(shí)施例中的石英推拉舟還包括設(shè)置于第一舟軸1和第二舟軸2 同端的掛鼻11。優(yōu)選的，該掛鼻11呈三角形，方便推拉桿鉤掛。其中，掛鼻11鼻尖處的厚度h可為13mm，掛鼻11沿石英推拉舟方向的長(zhǎng)度i可為25mm。

進(jìn)一步的，參見圖7，本實(shí)施例中的石英插片12可呈圓形，且半徑大于石英推拉舟上的晶圓片的半徑，以保持晶圓片周圍溫度的穩(wěn)定性。其中，石英插片12的半徑可為62.8mm，晶圓片的半徑62.5mm。參見圖8，石英插片12的厚度j可為2mm。

優(yōu)選的，上述石英插片12表面噴砂，使其不易于沾污，且容易清洗。

另外，參見圖9，本實(shí)施例中，上述插片檔橋6可呈梯形(無下底)，優(yōu)選的為等腰梯形，使其穩(wěn)定地固定于舟軸上。其中，插片檔橋6上底的厚度k可為3.5mm，插片檔橋6的高度l可為42mm，插片檔橋6兩腰與水平面的夾角γ可為60°。

本發(fā)明實(shí)施例二提供的石英推拉舟，在第一舟軸和第二舟軸下方分別固定在第三舟軸和第四舟軸，且第三舟軸和第四舟軸設(shè)計(jì)成圓柱形，使得第三舟軸和第四舟軸可與爐管的內(nèi)壁相配合，可以使石英推拉舟平穩(wěn)地放置于爐管中，同時(shí)，第三舟軸和第四舟軸可將石英推拉舟的整體高度抬高，使晶圓片中心與爐管中心處于同一水平高度，有利于晶圓片片間的溫度和氣流分布均勻，進(jìn)一步保證了晶圓片在氧化擴(kuò)散過程中的一致性。

上述僅對(duì)本發(fā)明中的具體實(shí)施例加以說明，但并不能作為本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡是依據(jù)本發(fā)明中的設(shè)計(jì)精神所作出的等效變化或修飾或等比例放大或縮小等，均應(yīng)認(rèn)為落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。