技術(shù)總結(jié)
結(jié)合使用具有至少兩個不同尺寸的孔隙的限束孔隙板件與至少兩個電荷收集器。由于孔隙寬度的差異，所述兩個電荷收集器接收不同量的離子，其中所述量與相關(guān)聯(lián)孔隙的寬度成比例。通過監(jiān)視第一電荷收集器收集的電荷與第二收集器收集的電荷的比率，而可監(jiān)視且任選地補償腐蝕量。

技術(shù)研發(fā)人員：大衛(wèi)·汀布萊克;馬克·R·亞瑪多;納嵐·羅夫
受保護的技術(shù)使用者：瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司
文檔號碼：201580005269
技術(shù)研發(fā)日：2015.01.13
技術(shù)公布日：2017.02.15