本發(fā)明涉及一種構(gòu)成EFEM(Equipment Front End Module，設(shè)備前端模塊)的一部分并在FOUP(Front Open Unified Pod，前開式晶圓盒)與半導(dǎo)體晶圓處理裝置之間搬運半導(dǎo)體晶圓的工業(yè)用機(jī)器人。

背景技術(shù)：

以往，公知有一種構(gòu)成EFEM的一部分并在FOUP與半導(dǎo)體晶圓處理裝置之間搬運半導(dǎo)體晶圓的工業(yè)用機(jī)器人(例如參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1記載的工業(yè)用機(jī)器人具有：手，該手裝載半導(dǎo)體晶圓；臂，手能夠轉(zhuǎn)動地與該臂的頂端側(cè)連接；以及主體部，臂的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與該主體部連接。臂由基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與主體部連接的第一臂部、基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與第一臂部的頂端側(cè)連接的第二臂部以及基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與第二臂部的頂端側(cè)連接并且手能夠轉(zhuǎn)動地與頂端側(cè)連接的第三臂部這三個臂部構(gòu)成。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-230256號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

在使用專利文獻(xiàn)1記載的工業(yè)用機(jī)器人等的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中，近年來，想要擴(kuò)大相對于工業(yè)用機(jī)器人的設(shè)置面積的工業(yè)用機(jī)器人的動作范圍的需求不斷提高。為了擴(kuò)大相對于工業(yè)用機(jī)器人的設(shè)置面積的工業(yè)用機(jī)器人的動作范圍，如圖4所示，只要延長構(gòu)成臂116的第一臂部118、第二臂部119以及第三臂部120這各個臂部的長度，并且使臂116相對于主體部117的轉(zhuǎn)動中心C101靠近FOUP108側(cè)(或者半導(dǎo)體晶圓處理裝置107側(cè))即可。

然而，本申請的發(fā)明人通過研究得知：若延長各臂部118～120的長度并且使轉(zhuǎn)動中心C101靠近FOUP108側(cè)(或者半導(dǎo)體晶圓處理裝置107側(cè))，則例如像圖4的E部所示，連接有手115的第三臂部120的頂端側(cè)與收容有工業(yè)用機(jī)器人101的EFEM的框體110的壁面110a干涉，會發(fā)生不能夠適當(dāng)?shù)匕徇\半導(dǎo)體晶圓102的情況。

因此，本發(fā)明的課題是提供一種工業(yè)用機(jī)器人，其即使延長構(gòu)成臂的各臂部的長度并且使臂相對于主體部的轉(zhuǎn)動中心靠近FOUP側(cè)或者半導(dǎo)體晶圓處理裝置側(cè)，也能夠適當(dāng)?shù)匕徇\半導(dǎo)體晶圓。

為了解決上述課題，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人在FOUP和半導(dǎo)體晶圓處理裝置之間搬運半導(dǎo)體晶圓并且構(gòu)成EFEM的一部分，在該工業(yè)用機(jī)器人中，具有：手，所述手裝載半導(dǎo)體晶圓；臂，手能夠轉(zhuǎn)動地與所述臂的頂端側(cè)連接；以及主體部，臂的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與所述主體部連接，臂具有：頂端側(cè)臂部，手能夠轉(zhuǎn)動地與所述頂端側(cè)臂部的頂端側(cè)連接；以及第二頂端側(cè)臂部，頂端側(cè)臂部的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與所述第二頂端側(cè)臂部的頂端側(cè)連接，頂端側(cè)臂部的至少頂端側(cè)是從上下方向觀察時隨著朝向頂端側(cè)臂部的頂端寬度逐漸變窄的寬度減小部，頂端側(cè)臂部的頂端以從上下方向觀察時的形狀是大致半圓弧狀的方式形成，F(xiàn)OUP與半導(dǎo)體晶圓處理裝置以在夾著EFEM的狀態(tài)下在與上下方向正交的第一方向上相向的方式配置，在將從上下方向觀察時的頂端側(cè)臂部的頂端的曲率半徑作為半徑R，將從上下方向觀察時的寬度減小部的角度作為角度θ，將收容有工業(yè)用機(jī)器人的EFEM的框體的構(gòu)成第一方向的一側(cè)的內(nèi)側(cè)面的FOUP側(cè)的平面狀的壁面作為第一壁面，將EFEM的框體的構(gòu)成第一方向的另一側(cè)的內(nèi)側(cè)面并且與第一壁面平行的半導(dǎo)體晶圓處理裝置側(cè)的平面狀的壁面作為第二壁面，將從上下方向觀察時的手相對于頂端側(cè)臂部的轉(zhuǎn)動中心作為第一轉(zhuǎn)動中心，將從上下方向觀察時的頂端側(cè)臂部相對于第二頂端側(cè)臂部的轉(zhuǎn)動中心作為第二轉(zhuǎn)動中心，將從上下方向觀察時的連接第一轉(zhuǎn)動中心與第二轉(zhuǎn)動中心的線作為臂部中心線，將從上下方向觀察時的臂部中心線的長度作為長度L，將工業(yè)用機(jī)器人將半導(dǎo)體晶圓搬入FOUP后的從上下方向觀察時的臂部中心線相對于第一壁面的角度作為第一角度θ1，將工業(yè)用機(jī)器人將半導(dǎo)體晶圓搬入半導(dǎo)體晶圓處理裝置后的從上下方向觀察時的臂部中心線相對于第二壁面的角度作為第二角度θ2，將工業(yè)用機(jī)器人將半導(dǎo)體晶圓搬入FOUP后的第一方向上的第二轉(zhuǎn)動中心與第一壁面的距離作為距離d1，將工業(yè)用機(jī)器人將半導(dǎo)體晶圓搬入半導(dǎo)體晶圓處理裝置后的第一方向上的第二轉(zhuǎn)動中心與第二壁面的距離作為距離d2時，L×sinθ1＜d1-R以及L×sinθ2＜d2-R的關(guān)系成立，并且，在第一角度θ1比第二角度θ2小時，θ≤2×θ1的關(guān)系成立，在第二角度θ2比第一角度θ1小時，θ≤2×θ2的關(guān)系成立。

在本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，在L×sinθ1＜d1-R以及L×sinθ2＜d2-R的關(guān)系成立，并且第一角度θ1比第二角度θ2小時，θ≤2×θ1的關(guān)系成立，在第二角度θ2比第一角度θ1小時，θ≤2×θ2的關(guān)系成立。因此，在本發(fā)明中，即使延長構(gòu)成臂的各臂部的長度并且使臂相對于主體部的轉(zhuǎn)動中心靠近FOUP側(cè)或者半導(dǎo)體晶圓處理裝置側(cè)，也能夠防止第一壁面以及第二壁面與頂端側(cè)臂部干涉，其結(jié)果是，能夠適當(dāng)?shù)匕徇\半導(dǎo)體晶圓。

在本發(fā)明中，例如作為頂端側(cè)臂部與手的連接部的第一關(guān)節(jié)部具有：第一軸承，所述第一軸承以手能夠相對于頂端側(cè)臂部轉(zhuǎn)動的方式支承手；以及帶輪或者齒輪，所述帶輪或者齒輪用于傳遞使手相對于頂端側(cè)臂部轉(zhuǎn)動的動力，在第一關(guān)節(jié)部具有帶輪的情況下，從上下方向觀察時，帶輪的中心以及第一軸承的中心與第一轉(zhuǎn)動中心一致，在第一關(guān)節(jié)部具有齒輪的情況下，從上下方向觀察時，齒輪的中心以及第一軸承的中心與第一轉(zhuǎn)動中心一致，作為第二頂端側(cè)臂部與頂端側(cè)臂部的連接部的第二關(guān)節(jié)部具有第二軸承，所述第二軸承以頂端側(cè)臂部能夠相對于第二頂端側(cè)臂部轉(zhuǎn)動的方式支承頂端側(cè)臂部，從上下方向觀察時，第二軸承的中心與第二轉(zhuǎn)動中心一致，在將第一軸承的外徑作為外徑D1，將帶輪的外徑作為外徑D2，將齒輪的外徑作為外徑D3時，第二軸承的外徑比外徑D1、外徑D2以及外徑D3大，在第一關(guān)節(jié)部具有帶輪且外徑D1比外徑D2大的情況下，或者在第一關(guān)節(jié)部具有齒輪且外徑D1比外徑D3大的情況下，從上下方向觀察時，角度θ為與第一軸承的外周面和第二軸承的外周面接觸的兩根外公切線所成的角度以上，在第一關(guān)節(jié)部具有帶輪且外徑D2比外徑D1大的情況下，從上下方向觀察時，角度θ為與帶輪的外周面和第二軸承的外周面接觸的兩根外公切線所成的角度以上，在第一關(guān)節(jié)部具有齒輪且外徑D3比外徑D1大的情況下，從上下方向觀察時，角度θ為與齒輪的外周面和第二軸承的外周面接觸的兩根外公切線所成的角度以上。

在本發(fā)明中，臂例如由頂端側(cè)臂部、第二頂端側(cè)臂部以及基端側(cè)臂部這三個臂部構(gòu)成，第二頂端側(cè)臂部的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與基端側(cè)臂部的頂端側(cè)連接。

發(fā)明效果

如上所述，在本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，即使延長構(gòu)成臂的各臂部的長度并且使臂相對于主體部的轉(zhuǎn)動中心靠近FOUP側(cè)或者半導(dǎo)體晶圓處理裝置側(cè)，也能夠適當(dāng)?shù)匕徇\半導(dǎo)體晶圓。

附圖說明

圖1是使用本發(fā)明的實施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的概略平面圖。

圖2是圖1的F部的放大圖。

圖3是使用本發(fā)明的其他實施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的概略平面圖。

圖4是使用現(xiàn)有技術(shù)所涉及的工業(yè)用機(jī)器人的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的概略平面圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。

(半導(dǎo)體制造系統(tǒng)以及工業(yè)用機(jī)器人的概略結(jié)構(gòu))

圖1是使用本發(fā)明的實施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人1的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)3的概略平面圖。圖2是圖1的F部的放大圖。

本實施方式的工業(yè)用機(jī)器人1是用于搬運半導(dǎo)體晶圓2的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人，組裝到半導(dǎo)體制造系統(tǒng)3而使用。在以下的說明中，將工業(yè)用機(jī)器人1作為“機(jī)器人1”，將半導(dǎo)體晶圓2作為“晶圓2”。并且，在以下的說明中，將與上下方向正交的圖1的X方向作為“左右方向”，將與上下方向以及左右方向正交的圖1的Y方向作為“前后方向”，同時將Y1方向側(cè)作為“前”側(cè)，將Y2方向側(cè)作為“后”側(cè)。

如圖1所示，半導(dǎo)體制造系統(tǒng)3具有EFEM6和對晶圓2進(jìn)行規(guī)定的處理的半導(dǎo)體晶圓處理裝置7。EFEM6配置于半導(dǎo)體晶圓處理裝置7的前側(cè)。機(jī)器人1構(gòu)成EFEM6的一部分。并且，EFEM6具有對FOUP8進(jìn)行開閉的裝載端口(省略圖示)和收容有機(jī)器人1的框體10?？蝮w10形成為在左右方向上細(xì)長的長方體的箱狀。構(gòu)成框體10的前表面?zhèn)炔糠值那氨诓?0a以及構(gòu)成框體10的后表面?zhèn)炔糠值暮蟊诓?0b形成為與前后方向正交的平板狀?？蝮w10的內(nèi)部是清潔空間。

FOUP8基于SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute：國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會)規(guī)格而制造，在FOUP8能夠收容25張或者13張的晶圓2。對FOUP8進(jìn)行開閉的裝載端口配置于框體10的前側(cè)，半導(dǎo)體晶圓處理裝置7與FOUP8以在夾著EFEM6的狀態(tài)下在前后方向上相向的方式配置。在本實施方式中，兩個裝載端口以在左右方向上隔著規(guī)定的間隔的狀態(tài)配置。機(jī)器人1在FOUP8與半導(dǎo)體晶圓處理裝置7之間搬運晶圓2。

本實施方式的前后方向(Y方向)是第一方向。并且，在本實施方式中，前壁部10a的后表面10c是構(gòu)成前后方向上的框體10的一側(cè)的內(nèi)側(cè)面的FOUP8側(cè)的平面狀的壁面，后表面10c是第一壁面。并且，在本實施方式中，后壁部10b的前表面10d是構(gòu)成前后方向上的框體10的另一側(cè)的內(nèi)側(cè)面并且與作為第一壁面的后表面10c平行的半導(dǎo)體晶圓處理裝置7側(cè)的平面狀的壁面，前表面10d是第二壁面。

機(jī)器人1具有裝載晶圓2的手15、手15能夠轉(zhuǎn)動地與其頂端側(cè)連接的臂16以及臂16的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與其連接的主體部17。臂16由三個臂部18～20構(gòu)成，其中，臂部18的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與主體部17連接，臂部19的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與臂部18的頂端側(cè)連接，臂部20的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與臂部19的頂端側(cè)連接。手15的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與臂部20的頂端側(cè)連接。本實施方式的臂部18是基端側(cè)臂部，臂部19是第二頂端側(cè)臂部，臂部20是頂端側(cè)臂部。另外，與臂16的頂端側(cè)連接的手15的數(shù)量既可以是一個，也可以是兩個。

手15以從上下方向觀察時的形狀是大致Y形狀的方式形成，并且在為兩叉狀的手15的頂端部裝載晶圓2。臂部18～20形成為中空狀。并且，在本實施方式中，臂部18的長度、臂部19的長度以及臂部20的長度相等。主體部17、臂部18、臂部19、臂部20以及手15在上下方向上從下側(cè)按照該順序配置。在主體部17的內(nèi)部收容有用于使手15以及臂16升降的臂升降機(jī)構(gòu)(省略圖示)。從上下方向觀察時，臂部18相對于主體部17的轉(zhuǎn)動中心(即，臂16相對于主體部17的轉(zhuǎn)動中心)C1配置于比前后方向上的框體10的中心位置靠前側(cè)的位置。

并且，機(jī)器人1具有：臂部驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該臂部驅(qū)動機(jī)構(gòu)使臂部18以及臂部19一起轉(zhuǎn)動并且使由臂部18和臂部19構(gòu)成的臂16的一部分伸縮；臂驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該臂驅(qū)動機(jī)構(gòu)使臂部20轉(zhuǎn)動；以及手驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該手驅(qū)動機(jī)構(gòu)使手15轉(zhuǎn)動。

作為手15與臂部20的連接部的關(guān)節(jié)部23具有：軸承24，該軸承24以手15能夠相對于臂部20轉(zhuǎn)動的方式支承手15；以及帶輪25，該帶輪25用于傳遞使手15相對于臂部20轉(zhuǎn)動的動力(參照圖2)。帶輪25構(gòu)成手驅(qū)動機(jī)構(gòu)的一部分。若將從上下方向觀察時的手15相對于臂部20的轉(zhuǎn)動中心作為轉(zhuǎn)動中心C2，則軸承24與帶輪25從上下方向觀察時以軸承24的中心以及帶輪25的中心與轉(zhuǎn)動中心C2一致的方式配置在同軸上。本實施方式的關(guān)節(jié)部23是第一關(guān)節(jié)部，軸承24是第一軸承。并且，本實施方式的轉(zhuǎn)動中心C2是第一轉(zhuǎn)動中心。

作為臂部19與臂部20的連接部的關(guān)節(jié)部27具有軸承28，該軸承28以臂部20能夠相對于臂部19轉(zhuǎn)動的方式支承臂部20。若將從上下方向觀察時的臂部20相對于臂部19的轉(zhuǎn)動中心作為轉(zhuǎn)動中心C3，則軸承28以從上下方向觀察時軸承28的中心與轉(zhuǎn)動中心C3一致的方式配置。軸承28的外徑比軸承24的外徑以及帶輪25的外徑大。本實施方式的關(guān)節(jié)部27是第二關(guān)節(jié)部，軸承28是第二軸承。并且，本實施方式的轉(zhuǎn)動中心C3是第二轉(zhuǎn)動中心。

另外，在本實施方式中，以從上下方向觀察時的轉(zhuǎn)動中心C3的軌跡為與左右方向平行的直線的方式，臂部驅(qū)動機(jī)構(gòu)使臂部18以及臂部19一起轉(zhuǎn)動。具體地說，以從上下方向觀察時的轉(zhuǎn)動中心C3的軌跡為與左右方向平行的直線且為通過轉(zhuǎn)動中心C1的直線的方式，臂部驅(qū)動機(jī)構(gòu)使臂部18以及臂部19一起轉(zhuǎn)動。

(頂端側(cè)臂部的結(jié)構(gòu))

臂部20由從上下方向觀察時隨著朝向臂部20的頂端寬度逐漸變窄的寬度減小部20a和寬度恒定的等寬度部20b構(gòu)成。具體地說，若將從上下方向觀察時的連接轉(zhuǎn)動中心C2與轉(zhuǎn)動中心C3的線作為臂部中心線CL，則臂部20由從上下方向觀察時隨著朝向臂部20的頂端而與臂部中心線CL正交的方向(即，與從臂部20的基端朝向頂端的方向正交的方向)上的寬度逐漸變窄的寬度減小部20a和與臂部中心線CL正交的方向的寬度恒定的等寬度部20b構(gòu)成。另外，如上所述，臂部20形成為中空狀，在臂部20的內(nèi)部配置有構(gòu)成手驅(qū)動機(jī)構(gòu)的馬達(dá)、用于將該馬達(dá)的動力傳遞至帶輪25的傳動帶以及用于調(diào)整該傳動帶的張力的張力帶輪等。

寬度減小部20a構(gòu)成臂部20的頂端側(cè)部分，等寬度部20b構(gòu)成臂部20的基端側(cè)部分。臂部20的基端以及頂端以從上下方向觀察時的形狀是大致半圓弧狀的方式形成。并且，臂部20以從上下方向觀察時的形狀是以臂部中心線CL為對稱軸的線對稱的形狀的方式形成。即，如圖2所示，若將從上下方向觀察時的寬度減小部20a的角度(具體地說，與臂部中心線CL正交的方向上的一端面20c與另一端面20d所成的角度)作為角度θ，則從上下方向觀察時，臂部中心線CL與一端面20c所成的角度是θ/2，臂部中心線CL與另一端面20d所成的角度是θ/2。并且，在等寬度部20b中，從上下方向觀察時，與臂部中心線CL正交的方向上的一端面20e與臂部中心線CL在該方向上的距離和與臂部中心線CL正交的方向上的另一端面20f與臂部中心線CL在該方向上的距離相等。

在此，將從上下方向觀察時的臂部20的頂端的曲率半徑作為半徑R，將從上下方向觀察時的臂部中心線CL的長度作為長度L，將機(jī)器人1將晶圓2搬入FOUP8后(用圖1的實線表示的狀態(tài))的從上下方向觀察時的臂部中心線CL相對于后表面10c的角度作為第一角度θ1，將機(jī)器人1將晶圓2搬入半導(dǎo)體晶圓處理裝置7后(用圖1的雙點劃線表示的狀態(tài))的從上下方向觀察時的臂部中心線CL相對于前表面10d的角度作為第二角度θ2，將機(jī)器人1將晶圓2搬入FOUP8后的前后方向上的轉(zhuǎn)動中心C3與后表面10c的距離作為距離d1，將機(jī)器人1將晶圓2搬入半導(dǎo)體晶圓處理裝置7后的前后方向上的轉(zhuǎn)動中心C3與前表面10d的距離作為距離d2。

在本實施方式中，L×sinθ1＜d1-R以及L×sinθ2＜d2-R的關(guān)系成立。并且，在本實施方式中，第一角度θ1比第二角度θ2小，機(jī)器人1將晶圓2搬入FOUP8后的臂部20的寬度減小部20a的一端面20c(或者另一端面20d)與后表面10c的距離比機(jī)器人1將晶圓2搬入半導(dǎo)體晶圓處理裝置7后的一端面20c(或者另一端面20d)與前表面10d的距離近。然而，在本實施方式中，θ＝2×θ1的關(guān)系成立，在機(jī)器人1將晶圓2搬入FOUP8后，從上下方向觀察時，一端面20c(或者另一端面20d)與后表面10c平行，并且在一端面20c(或者另一端面20d)與后表面10c之間形成有間隙。

(本實施方式的主要效果)

如以上說明，在本實施方式中，L×sinθ1＜d1-R以及L×sinθ2＜d2-R的關(guān)系成立，并且θ＝2×θ1，在機(jī)器人1將晶圓2搬入FOUP8后，從上下方向觀察時，一端面20c(或者另一端面20d)與后表面10c平行，并且在一端面20c(或者另一端面20d)與后表面10c之間形成有間隙。因此，在本實施方式中，即使延長臂部18～20的長度并且使轉(zhuǎn)動中心C1靠近FOUP8側(cè)，也能夠防止框體10的后表面10c以及前表面10d與臂部20干涉。其結(jié)果是，在本實施方式中，能夠適當(dāng)?shù)匕徇\晶圓2。

(其他實施方式)

上述實施方式是本發(fā)明優(yōu)選的實施方式的一個例子，但是不限定于此，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行各種變形。

在上述實施方式中，臂16由三個臂部18～20構(gòu)成。除此之外例如，如圖3所示，臂16也可以由手15能夠轉(zhuǎn)動地與其頂端側(cè)連接的臂部20和臂部20的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與其頂端側(cè)連接的臂部19這兩個臂部19、20構(gòu)成。在這種情況下，臂部19的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與主體部17連接。并且，在這種情況下，例如，臂部19相對于主體部17的轉(zhuǎn)動中心(即，臂16相對于主體部17的轉(zhuǎn)動中心)C1配置于比前后方向上的框體10的中心位置靠后側(cè)的位置。另外，在圖3中，對于與上述實施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)記相同的符號。并且，在圖3所示的變形例中，臂部19也是第二頂端側(cè)臂部，臂部20也是頂端側(cè)臂部。

在圖3所示的變形例中，L×sinθ1＜d1-R以及L×sinθ2＜d2-R的關(guān)系也成立。并且，第一角度θ1比第二角度θ2小，并且θ＝2×θ1。因此，在該變形例中，也能夠獲得與上述實施方式相同的效果。

在上述實施方式中，θ＝2×θ1，但是θ＜2×θ1的成立也可以成立。即使在這種情況下，由于能夠防止框體10的后表面10c以及前表面10d與臂部20干涉，因此也能夠適當(dāng)?shù)匕徇\晶圓2。在此，如圖2所示，在將軸承24的外徑作為外徑D1，將帶輪25的外徑作為外徑D2時，在θ＜2×θ1的關(guān)系成立并且外徑D1比外徑D2大的情況下，從上下方向觀察時，角度θ為與軸承24的外周面和軸承28的外周面接觸的兩根外公切線TL所成的角度θ3以上。即，在這種情況下，θ≥θ3的關(guān)系成立。并且，在θ＝θ3的情況下，例如，臂部20整體為隨著朝向臂部20的頂端而寬度逐漸變窄的寬度減小部，臂部20不具有等寬度部20b。并且，在θ＜2×θ1的關(guān)系成立且外徑D2比外徑D1大的情況下，從上下方向觀察時，角度θ為與帶輪25的外周面和軸承28的外周面接觸的兩根外公切線所成的角度以上。

在上述實施方式中，關(guān)節(jié)部23具有用于傳遞使手15相對于臂部20轉(zhuǎn)動的動力的帶輪25，但是關(guān)節(jié)部23也可以代替帶輪25而具有正齒輪等齒輪。在此，在將該齒輪的外徑作為外徑D3時，在θ＜2×θ1的關(guān)系成立且外徑D1比外徑D3大的情況下，從上下方向觀察時，角度θ為角度θ3以上。并且，在θ＜2×θ1的關(guān)系成立且外徑D3比外徑D1大的情況下，從上下方向觀察時，角度θ為與齒輪的外周面和軸承28的外周面接觸的兩根外公切線所成的角度以上。另外，軸承28的外徑比齒輪的外徑大。

在上述實施方式中，第一角度θ1比第二角度θ2小，但是因框體10中的機(jī)器人1的配置、機(jī)器人1的結(jié)構(gòu)或者機(jī)器人1的控制方法等，還存在第二角度θ2比第一角度θ1小的情況。例如，在比前后方向上的框體10的中心位置靠前側(cè)的位置配置有轉(zhuǎn)動中心C1，并且機(jī)器人1以從圖1所示的狀態(tài)以上下方向作為轉(zhuǎn)動的軸向旋轉(zhuǎn)90°的狀態(tài)配置的情況下，第二角度θ2比第一角度θ1小。在這種情況下，θ≤2×θ2的關(guān)系成立。因此，即使在這種情況下，也能夠獲得與上述實施方式相同的效果。

在上述實施方式中，臂部驅(qū)動機(jī)構(gòu)使臂部18以及臂部19一起轉(zhuǎn)動。除此之外例如，機(jī)器人1也可以分開地具有使臂部18轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)和使臂部19轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。

符號說明

1 機(jī)器人(工業(yè)用機(jī)器人)

2 晶圓(半導(dǎo)體晶圓)

6 EFEM

7 半導(dǎo)體晶圓處理裝置

8 FOUP

10 框體

10c 后表面(第一壁面)

10d 前表面(第二壁面)

15 手

16 臂

17 主體部

18 臂部(基端側(cè)臂部)

19 臂部(第二頂端側(cè)臂部)

20 臂部(頂端側(cè)臂部)

20a 寬度減小部

23 關(guān)節(jié)部(第一關(guān)節(jié)部)

24 軸承(第一軸承)

25 帶輪

27 關(guān)節(jié)部(第二關(guān)節(jié)部)

28 軸承(第二軸承)

C2 轉(zhuǎn)動中心(第一轉(zhuǎn)動中心)

C3 轉(zhuǎn)動中心(第二轉(zhuǎn)動中心)

CL 臂部中心線

TL 外公切線

Y 第一方向。