技術(shù)總結(jié)
描述了一種用于承載基板以搬運通過不同工藝的靜電載體。所述載體具有電介質(zhì)板和基底板，所述電介質(zhì)板具有頂側(cè)和底側(cè)，并且經(jīng)配置以使用靜電力而在所述板的頂側(cè)上被附接至基板，并且所述基底板耦接至所述電介質(zhì)板的底側(cè)。電極形成在所述基底板上，并且跨所述基底板平行于所述電介質(zhì)板的所述頂側(cè)延伸。所述電極經(jīng)配置以載送靜電電荷，并且形成為使得第一電荷的電極定位在第二電荷的電極附近。連接器延伸穿過所述基底板而至所述電極，以便將所述電極耦接至靜電電荷的源。

技術(shù)研發(fā)人員：A·桑達拉江;J·S·盧;S·斯如納烏卡拉蘇;K·埃盧馬萊
受保護的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
文檔號碼：201580025299
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.11
技術(shù)公布日：2017.02.22