技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種包括高強(qiáng)度合金的CMP裝置的拋光頭，改善形成拋光頭的圓形多孔板的結(jié)構(gòu)，將材質(zhì)用高強(qiáng)度特殊合金代替，從根本上防止發(fā)生陶瓷材質(zhì)的龜裂(crack)，由此，延長(zhǎng)產(chǎn)品的壽命，并同時(shí)極大化提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率，從而極大提高生產(chǎn)效率，該CMP裝置的拋光頭包括：壓力調(diào)節(jié)裝置(11)、吸附部(12)、圓形的多孔板(100)、卡環(huán)(13)，該包括高強(qiáng)度合金的CMP裝置的拋光頭特征在于：所述多孔板(100)包括：圓盤形狀的主體(110)；一對(duì)定位凹槽(111)(111)，兩側(cè)對(duì)稱地形成于所述主體(110)的上部中央；多個(gè)孔(112)，形成于所述主體(110)；多孔凹槽(113)，形成于所述主體(110)的一側(cè)，形成有四個(gè)孔；中央凹槽部(114)，形成于所述主體(110)的后面中央；球(115)，一部分插入固定于所述中央凹槽部(114)的中央；圓形的金屬板(116)，插入固定于所述中央凹槽部(114)的中央部位，形成有裸露孔(116a)，以使所述球(115)的一部分裸露；平衡銷(117)，為多個(gè)，插入固定于所述中央凹槽部(114)的周圍；上部及下部邊緣部(120)(130)，圍繞固定所述主體(110)的邊緣，所述金屬板(116)由包含鋯、鈦、鎳及鉻的特殊合金構(gòu)成。

技術(shù)研發(fā)人員：元鐘洙;姜文求
受保護(hù)的技術(shù)使用者：元鐘洙;姜文求
文檔號(hào)碼：201580028203
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.27
技術(shù)公布日：2017.05.10