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      化合物?半導體光伏電池及化合物?半導體光伏電池的制造方法與流程

      文檔序號:11161563閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種化合物-半導體光伏電池,包括:

      第一光電轉(zhuǎn)換電池,該第一光電轉(zhuǎn)換電池由晶格匹配于砷化鎵(GaAs)或鍺(Ge)的第一化合物-半導體材料制成;

      第一隧道結(jié)層,該第一隧道結(jié)層被布置在光入射方向上比所述第一光電轉(zhuǎn)換電池更遠的深側(cè)上并包括第一正型(p-型)鋁鎵銦砷化物((Alx1Ga1-x1)y1In1-y1As(0≦x1<1,0<y1≦1))層以及第一負型(n-型)鋁鎵銦磷化物((Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P(0≦x2<1,0<y2<1))層;以及

      第二光電轉(zhuǎn)換電池,該第二光電轉(zhuǎn)換電池被布置在光入射方向上比第一隧道結(jié)層更遠的深側(cè)上,并且由基于GaAs的半導體材料的第二化合物-半導體材料制成,其中第一光電轉(zhuǎn)換電池和第二光電轉(zhuǎn)換電池經(jīng)由第一隧道結(jié)層被結(jié)合,以及第一n-型(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P層的晶格常數(shù)大于第一光電轉(zhuǎn)換電池的晶格常數(shù)。

      2.如權利要求1中所述的化合物-半導體光伏電池,其中第一光電轉(zhuǎn)換電池的第一化合物-半導體材料是鋁鎵銦磷化物((Alx3Ga1-x3)y3In1-y3P(0≦x3<1,0<y3<1))。

      3.如權利要求1或2所述的化合物-半導體光伏電池,其中第一光電轉(zhuǎn)換電池帶隙大于1.9eV(電子伏特)。

      4.如權利要求1到3中的任一項所述的化合物-半導體光伏電池,其中第一隧道結(jié)層進一步包括第二n-型鋁鎵銦磷化物((Alx4Ga1-x4)y4In1-y4P)層,其形成在第一n-型(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P層的第二光電轉(zhuǎn)換電池的側(cè)面上并且晶格匹配于砷化鎵或鍺。

      5.如權利要求4所述的化合物-半導體光伏電池,其中第二n-型(Alx4Ga1-x4)y4In1-y4P層的鋁(Al)的構成大于第一n-型(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P層的Al的構成。

      6.如權利要求4所述的化合物-半導體光伏電池,其中第一n-型((Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P層是不包括Al的n-型鎵銦磷化物(GaInP)層。

      7.如權利要求1-6中的任一項所述的化合物-半導體光伏電池,其中第一隧道結(jié)層進一步包括第二p-型鋁鎵銦砷化物((Alx5Ga1-x5)y5In1-y5As(0<x5<1,0<y5≦1))層,其形成在第一p-型(Alx1Ga1-x1)y1In1-y1As層的第一光電轉(zhuǎn)換電池的側(cè)面上,以及其中第二p-型(Alx5Ga1-x5)y5In1-y5As層的鋁(Al)的構成大于第一p-型(Alx1Ga1-x1)y1In1-y1A層的鋁的構成。

      8.如權利要求1到7中的任一項所述的化合物-半導體光伏電池,進一步包括:

      第一結(jié)層,該第一結(jié)層由第三化合物-半導體材料制成并且形成在光入射方向上的第二光電轉(zhuǎn)換電池的深側(cè)上;

      化合物-半導體基板;

      一個或更多個第三光電轉(zhuǎn)換電池,每個都由第四化合物-半導體材料制成并層疊在化合物-半導體基板上;以及

      第二結(jié)層,該第二結(jié)層由第五化合物-半導體材料制成并且被層疊在一個或更多個第三光電轉(zhuǎn)換電池上,其中與連接到第二光電轉(zhuǎn)換電池的表面相反的第一結(jié)層的表面和與連接到第三光電轉(zhuǎn)換電池的表面相反的第二結(jié)層的表面被結(jié)合。

      9.如權利要求1-7中的任一項所述的化合物-半導體光伏電池,進一步包括:

      第二隧道結(jié)層,該第二隧道結(jié)層被布置在光入射方向上比第二光電轉(zhuǎn)換電池更遠的深側(cè)上并且包括第二p-型(Alx6Ga1-x6)y6In1-y6As(0≦x6<1,0<y6≦1)層和第二n-型(Alx7Ga1-x7)y7In1-y7P(1≦x7<1,0<y7<1)層;以及

      第三光電轉(zhuǎn)換電池,該第三光電轉(zhuǎn)換電池被布置在光入射方向上比第二隧道結(jié)層更遠的深側(cè)上并且由基于砷化鎵的半導體材料或基于鍺的半導體材料制成,其中第二光電轉(zhuǎn)換電池和第三光電轉(zhuǎn)換電池經(jīng)由第二隧道結(jié)層被結(jié)合,第三光電轉(zhuǎn)換電池的帶隙小于第二光電轉(zhuǎn)換電池的帶隙,以及第二n-型(Alx7Ga1-x7)y7In1-y7P層的晶格常數(shù)大于第二光電轉(zhuǎn)換電池的晶格常數(shù)。

      10.如權利要求9所述的化合物-半導體光伏電池,進一步包括:

      第一結(jié)層,該第一結(jié)層由第三化合物-半導體材料制成并且形成在光入射方向上的第三光電轉(zhuǎn)換電池的深側(cè)上;

      化合物-半導體基板;

      一個或更多個第四光電轉(zhuǎn)換電池,每個都由第四化合物-半導體材料制成并且層疊在所述化合物-半導體基板上;

      第二結(jié)層,該第二結(jié)層由第五化合物-半導體材料制成并且層疊在一個或更多個第四光電轉(zhuǎn)換電池上,其中與連接到第三光電轉(zhuǎn)換電池的表面相反的第一結(jié)層的表面和與連接到第四光電轉(zhuǎn)換電池的表面相反的第二結(jié)層的表面被結(jié)合。

      11.如權利要求8或10所述的化合物-半導體光伏電池,其中所述化合物-半導體基板是磷化銦(InP)基板。

      12.如權利要求10或11所述的化合物-半導體光伏電池,其中至少五個光電轉(zhuǎn)換電池在層疊方向上通過第一光電轉(zhuǎn)換電池、第二光電轉(zhuǎn)換電池、第三光電轉(zhuǎn)換電池以及包括兩個電池的第四光電轉(zhuǎn)換電池連接以形成多-結(jié)電池。

      13.一種化合物-半導體光伏電池的制造方法,所述化合物-半導體光伏電池包括由第一化合物-半導體材料制成的第一光電轉(zhuǎn)換電池和由第二化合物-半導體材料制成的第二光電轉(zhuǎn)換電池,所述方法包括:

      層疊所述第二光電轉(zhuǎn)換電池在化合物-半導體基板上的步驟;

      層疊一隧道結(jié)層在第二光電轉(zhuǎn)換電池上的步驟,所述隧道結(jié)層包括p-型(Alx1Ga1-x1)y1In1-y1As(0≦x1<1,0<y1≦1)層和n-型(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P(0≦x2<1,0<y2<1)層;以及

      層疊所述第一光電轉(zhuǎn)換電池在隧道結(jié)層上的步驟,其中第一化合物-半導體材料是晶格匹配于砷化鎵或鍺的化合物-半導體材料,所述第二化合物-半導體材料是基于砷化鎵的化合物-半導體材料,以及n-型(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P層的晶格常數(shù)大于第一光電轉(zhuǎn)換電池的晶格常數(shù)。

      14.一種化合物半導體光伏電池的制造方法,包括:

      在第一化合物-半導體基板上層疊第一光電轉(zhuǎn)換電池的步驟,所述第一光電轉(zhuǎn)換電池由晶格匹配于砷化鎵或鍺的第一化合物-半導體材料制成;

      在第一光電轉(zhuǎn)換電池上層疊第一隧道結(jié)層的步驟,所述第一隧道結(jié)層包括第一p-型(Alx1Ga1-x1)y1In1-y1As(0≦x1<1,0<y1≦1)層和第一n-型(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P(0≦x2<1,0<y2<1)層;

      在第一隧道結(jié)層上層疊第二光電轉(zhuǎn)換電池的步驟,所述第二光電轉(zhuǎn)換電池由基于砷化鎵的半導體材料的第二化合物-半導體材料制成;

      在第二光電轉(zhuǎn)換電池上層疊第一結(jié)層的步驟,所述第一結(jié)層由第三化合物-半導體材料制成;

      在第二化合物-半導體基板上層疊一個或更多個第三光電轉(zhuǎn)換電池的步驟,每個第三光電轉(zhuǎn)換電池都由第四化合物-半導體材料制成;

      在一個或更多個第三光電轉(zhuǎn)換電池上層疊第二結(jié)層的步驟,所述第二結(jié)層由第五化合物-半導體材料制成;

      將與連接到第二光電轉(zhuǎn)換電池的表面相反的第一結(jié)層的表面和與連接到第三光電轉(zhuǎn)換電池的表面相反的第二結(jié)層的表面結(jié)合的步驟;以及

      移除第一化合物-半導體基板的步驟,其中第一n-型(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P層的晶格常數(shù)大于第一光電轉(zhuǎn)換電池的晶格常數(shù)。

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