技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種不論試樣、晶體取向的種類為何，即使不是熟練者，也能夠處理量良好且高精度地對(duì)準(zhǔn)晶體取向并觀察試樣的裝置及方法。本發(fā)明中，基于顯示在顯示部(13)上的電子束衍射圖案(22b)中的衍射斑點(diǎn)的亮度分布，設(shè)定以主斑點(diǎn)(23)位于圓周上的方式重疊顯示的擬合用圓形圖案(26)，并設(shè)定顯示為以該顯示的圓形圖案(26)的中心位置(27)為起點(diǎn)且以位于圓形圖案(26)的圓周上的主斑點(diǎn)(23)的位置為終點(diǎn)的矢量(28)，基于該顯示的矢量(28)的方向及大小，執(zhí)行晶體取向?qū)?zhǔn)。由此，不論試樣、晶體取向的種類為何，即使不是熟練者，也能夠處理量良好且高精度地對(duì)準(zhǔn)晶體取向并觀察試樣。

技術(shù)研發(fā)人員：矢口紀(jì)惠;小林弘幸;四辻貴文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社日立高新技術(shù)
文檔號(hào)碼：201580035457
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.08
技術(shù)公布日：2017.05.10