技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種靜電卡盤裝置，其通過靜電吸附用電極吸附板狀試樣，并且對板狀試樣進(jìn)行冷卻，所述靜電卡盤裝置具有靜電卡盤部，所述靜電卡盤部以陶瓷燒結(jié)體為形成材料，所述靜電卡盤部的一個(gè)主面是載置板狀試樣的載置面，在載置面設(shè)置有支承板狀試樣的多個(gè)突起部，突起部在頂面與板狀試樣接觸并支承板狀試樣，并且截面積從頂面的高度位置向下方遞增，突起部的從頂面的下端向下方距離0.6μm的位置的截面積相對于頂面的下端的截面積為110％以下。

技術(shù)研發(fā)人員：河野仁;牛坊文洋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：住友大阪水泥股份有限公司
文檔號(hào)碼：201580046810
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.09
技術(shù)公布日：2017.05.10