本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體元件等發(fā)熱體與散熱器(heatsink)等放熱體之間配置的導(dǎo)熱片、導(dǎo)熱片的制造方法、具備導(dǎo)熱片的放熱部件和半導(dǎo)體裝置。
背景技術(shù)：
：以往，在搭載于個人計算機等各種電氣設(shè)備、其他設(shè)備的半導(dǎo)體元件中，由于驅(qū)動而產(chǎn)生熱，若產(chǎn)生的熱蓄積，則對半導(dǎo)體元件的驅(qū)動、周邊設(shè)備帶來不良影響，因此使用了各種冷卻手段。作為半導(dǎo)體元件等電子部件的冷卻方法，已知對該設(shè)備安裝風(fēng)扇并對設(shè)備框體內(nèi)的空氣進行冷卻的方式，對該需要冷卻的半導(dǎo)體元件安裝放熱風(fēng)扇、放熱板等散熱器的方法等。對半導(dǎo)體元件安裝散熱器進行冷卻時，為了效率良好地放出半導(dǎo)體元件的熱，在半導(dǎo)體元件與散熱器之間設(shè)有導(dǎo)熱片。作為導(dǎo)熱片，廣泛使用了在硅樹脂中分散含有導(dǎo)熱性填料[例如鱗片狀粒子(氮化硼(BN)、石墨等)、碳纖維等]的導(dǎo)熱片(參照專利文獻1)。已知這些導(dǎo)熱性填料具有導(dǎo)熱的各向異性，例如當(dāng)使用碳纖維作為導(dǎo)熱性填料時，在纖維方向上具有約600W/m·K～1200W/m·K的熱導(dǎo)率，在使用了氮化硼時，在面方向上具有約110W/m·K的熱導(dǎo)率，在與面方向垂直的方向上具有約2W/m·K的熱導(dǎo)率，具有各向異性?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2012-23335號公報技術(shù)實現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的課題但是，對于使用了導(dǎo)熱性優(yōu)異但也具備導(dǎo)電性的碳纖維等導(dǎo)熱性填料的導(dǎo)熱片來說，當(dāng)導(dǎo)熱片與半導(dǎo)體元件周邊的電路接觸時、片中產(chǎn)生缺陷而下落到電路上時，存在由于從片表面露出的導(dǎo)熱性填料而導(dǎo)致短路等電子設(shè)備的故障的擔(dān)憂。另一方面，為了確保導(dǎo)熱片的電絕緣性，如果將導(dǎo)熱性填料掩埋于片主體中，則損害由導(dǎo)熱性填料帶來的高熱導(dǎo)率的效果。這里，本發(fā)明的目的在于提供一種即使在導(dǎo)熱片的接觸等不測的事態(tài)中也能確保電絕緣性、并且維持高熱導(dǎo)率的導(dǎo)熱片、導(dǎo)熱片的制造方法、放熱部件和半導(dǎo)體裝置。解決課題的方法為了解決上述課題，本發(fā)明涉及的導(dǎo)熱片具有導(dǎo)熱性樹脂組合物固化而成的片主體，上述導(dǎo)熱性樹脂組合物含有粘合劑樹脂和被絕緣皮膜被覆的碳纖維，從上述片主體的表面露出的上述碳纖維不被上述絕緣皮膜被覆、并且被上述粘合劑樹脂的成分被覆。此外，本發(fā)明涉及的導(dǎo)熱片的制造方法具有如下工序：將含有粘合劑樹脂和被絕緣皮膜被覆的碳纖維的導(dǎo)熱性樹脂組合物成型為預(yù)定的形狀并固化，從而得到上述導(dǎo)熱性樹脂組合物的成型體的工序；將上述成型體切斷為片狀，得到片主體的工序；以及用上述粘合劑樹脂的成分被覆從上述片主體的表面露出的上述碳纖維的工序，在得到上述片主體的工序中，被覆從上述片主體的表面露出的上述碳纖維的上述絕緣皮膜被除去。此外，本發(fā)明涉及的放熱部件具有對電子部件所發(fā)出的熱進行放熱的熱分散器(heatspreader)、以及配設(shè)于上述熱分散器并且夾持于上述熱分散器與上述電子部件之間的上述導(dǎo)熱片。此外，本發(fā)明涉及的半導(dǎo)體裝置具有對上述半導(dǎo)體元件所發(fā)出的熱進行放熱的熱分散器、以及配設(shè)于上述熱分散器并且夾持于上述熱分散器與上述半導(dǎo)體元件之間的上述導(dǎo)熱片。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，由于從片主體的表面露出的碳纖維不被絕緣皮膜被覆，因此能夠抑制由于上述絕緣皮膜導(dǎo)致的熱導(dǎo)率的降低。此外，本發(fā)明涉及的導(dǎo)熱片中，從片主體的表面露出的、不被絕緣皮膜被覆的碳纖維被粘合劑樹脂的成分被覆，因此能夠兼顧片的絕緣性和熱導(dǎo)率。附圖說明圖1為顯示應(yīng)用了本發(fā)明的導(dǎo)熱片、放熱部件和半導(dǎo)體裝置的截面圖。圖2為顯示將樹脂成型體切片、切出片主體的工序的立體圖。圖3A為顯示從樹脂成型體切出的片主體的立體圖。圖3B為顯示片主體被粘合劑樹脂的成分被覆的狀態(tài)的立體圖。圖4為顯示被絕緣皮膜被覆的碳纖維的立體圖。圖5為顯示導(dǎo)熱片的表面形狀的一例的截面圖。圖6為顯示導(dǎo)熱片的表面形狀的另外一例的截面圖。圖7為顯示片主體隔著間隔物而被按壓的狀態(tài)的立體圖。具體實施方式以下，針對應(yīng)用了本發(fā)明的導(dǎo)熱片、導(dǎo)熱片的制造方法、放熱部件和半導(dǎo)體裝置，一邊參照附圖一邊詳細說明。予以說明，本發(fā)明不僅限于以下的實施方式，當(dāng)然，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變更。此外，附圖是示意性的，各尺寸的比率等有時與現(xiàn)實不同。具體的尺寸等應(yīng)當(dāng)參照以下的說明進行判斷。此外，當(dāng)然，附圖相互間的相互尺寸的關(guān)系、比率不同的部分也包含在內(nèi)。應(yīng)用了本發(fā)明的導(dǎo)熱片1對半導(dǎo)體元件等電子部件3發(fā)出的熱進行放熱，如圖1所示，固定于熱分散器2的與電子部件3對置的主表面2a，被夾持于電子部件3與熱分散器2之間。此外，導(dǎo)熱片被夾持于熱分散器2與散熱器5之間。并且，導(dǎo)熱片與熱分散器2一起構(gòu)成對電子部件3的熱進行放熱的放熱部件4。熱分散器2形成為例如方形板狀，具有與電子部件3對置的主表面2a、以及沿著主表面2a的外周直立地設(shè)置的側(cè)壁2b。熱分散器2在被側(cè)壁2b包圍的主表面2a設(shè)有導(dǎo)熱片1，此外，在與主表面2a相反側(cè)的另一面2c隔著導(dǎo)熱片1而設(shè)有散熱器5。熱分散器2越具有高熱導(dǎo)率，熱阻越減少，越有效地對半導(dǎo)體元件等電子部件4的熱進行吸熱，因此可使用例如導(dǎo)熱性良好的銅、鋁來形成。電子部件3為例如BGA等半導(dǎo)體元件，向配線基板6安裝。此外，熱分散器2也將側(cè)壁2b的前端面安裝至配線基板6，由此，通過側(cè)壁2b而隔著預(yù)定的距離將電子部件3包圍。并且，通過將導(dǎo)熱片1粘接在熱分散器2的主表面2a，從而形成吸收半導(dǎo)體元件所發(fā)出的熱、并且通過散熱器5進行放熱的放熱部件4。熱分散器2與導(dǎo)熱片1之間的粘接可以利用后述的導(dǎo)熱片1自身的粘著力來進行，但也可以適宜地使用粘接劑。作為粘接劑，可以使用負責(zé)導(dǎo)熱片1向熱分散器2的粘接和導(dǎo)熱的公知的放熱性樹脂、或者放熱性的粘接膜。[導(dǎo)熱片]導(dǎo)熱片1具有導(dǎo)熱性樹脂組合物固化而成的片主體7，導(dǎo)熱性樹脂組合物含有粘合劑樹脂和被絕緣皮膜被覆的碳纖維11，從上述片主體7的表面露出的碳纖維11不被上述絕緣皮膜被覆，并且被從上述片主體7滲出的上述粘合劑樹脂的未固化成分8被覆。如圖2、圖3A和圖3B所示，導(dǎo)熱片1如下制造：將含有粘合劑樹脂和被絕緣皮膜被覆的碳纖維11的導(dǎo)熱性樹脂組合物固化而形成的樹脂成型體9切斷為片狀，得到碳纖維11從片表面露出的片主體7，然后，按壓或放置片主體7，利用粘合劑樹脂的未固化成分8被覆片主體7和從片主體7的表面露出的碳纖維11。予以說明，從片主體7的表面露出的碳纖維11不被絕緣皮膜12被覆。詳見后述。構(gòu)成導(dǎo)熱片1的碳纖維11是用于將來自電子部件3的熱以良好的效率傳導(dǎo)至熱分散器2的物質(zhì)。關(guān)于碳纖維11，若平均直徑過小，則存在其比表面積變得過大、制成導(dǎo)熱片1時的樹脂組合物的粘度變得過高的擔(dān)憂，若平均直徑過大，則存在成型體的制成變得困難的擔(dān)憂，因此，碳纖維11的平均直徑優(yōu)選為5μm～12μm。此外，其平均纖維長度優(yōu)選為30μm～300μm。碳纖維11的平均纖維長度小于30μm時，存在其比表面積變得過大、導(dǎo)熱性樹脂組合物的粘度變得過高的傾向，如果過大于300μm，則存在阻礙導(dǎo)熱片1的壓縮的傾向。碳纖維11根據(jù)對導(dǎo)熱片1所要求的機械性質(zhì)、熱性質(zhì)、電性質(zhì)等特性來選擇。其中，從呈現(xiàn)高彈性模量、良好的導(dǎo)熱性、高導(dǎo)電性、電磁波屏蔽性、低熱膨脹性等的方面出發(fā)，可優(yōu)選使用瀝青系碳纖維或者將聚吲哚進行石墨化而成的碳纖維。碳纖維11在導(dǎo)熱片1中的含量如果過少，則存在熱導(dǎo)率變低的傾向，如果過多，則存在粘度變高的傾向，因此優(yōu)選為16體積％～40體積％。[絕緣皮膜]如圖4所示，碳纖維11的表面被絕緣皮膜12被覆。絕緣皮膜12可使用例如氧化硅、氮化硼等具有優(yōu)異的電絕緣性的材料。此外，作為用絕緣皮膜12被覆碳纖維11的方法，可列舉例如溶膠凝膠法、液相堆積法、聚硅氧烷法等。予以說明，為了提高碳纖維11與絕緣皮膜12之間的粘接性，可以通過氣相法、藥液處理法、電解法等使碳纖維11的表面氧化。當(dāng)將被覆有碳纖維11的絕緣皮膜12設(shè)為氧化硅時，通過截面TEM觀察而觀察到的絕緣皮膜12的平均厚度優(yōu)選設(shè)為50nm以上且小于100nm。如果要形成平均厚度小于50nm的絕緣皮膜12，則需要使皮膜處理濃度降低，因此皮膜形成需要長時間，生產(chǎn)性受損，除此之外，瀝青的處理量減少，廢液增加。此外，即使提高皮膜處理濃度，厚度控制也困難，生產(chǎn)性受損，除此之外，存在碳纖維11一部分露出等、絕緣性能受損的擔(dān)憂。此外，形成平均厚度100nm以上的絕緣皮膜12時，除了有助于被覆碳纖維11的絕緣皮膜12的形成的二氧化硅之外，還形成微粒狀的二氧化硅。因此，若要將被絕緣皮膜12被覆的碳纖維11混合至粘合劑樹脂，則微粒狀的二氧化硅也同時被混合，導(dǎo)致熱阻值的惡化。此外，也考慮了調(diào)整被膜處理濃度、重復(fù)多次而調(diào)整膜厚的方法，但是，通過增加被覆處理的次數(shù)，會導(dǎo)致生產(chǎn)效率的降低和廢液量的增加，因此不優(yōu)選。[導(dǎo)熱性填料]予以說明，除了碳纖維11之外，在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，可以將纖維狀填料、板狀填料、鱗片狀填料、球狀填料等導(dǎo)熱性填料并用。作為導(dǎo)熱性填料，可列舉例如金屬(例如鎳、鐵等)、玻璃、陶瓷[例如氧化物(例如氧化鋁、二氧化硅等)、氮化物(例如氮化硼、氮化鋁等)、硼化物(例如硼化鋁等)、碳化物(例如碳化硅等)等非金屬系無機纖維]等各種填料。特別是，從抑制碳纖維11在導(dǎo)熱性樹脂組合物中的二次凝聚的觀點出發(fā)，相對于100質(zhì)量份的碳纖維11，優(yōu)選并用50質(zhì)量份～900質(zhì)量份的0.1μm～10μm直徑的球狀填料(優(yōu)選球狀氧化鋁、球狀氮化鋁)。[粘合劑樹脂]粘合劑樹脂是將碳纖維11和被適宜添加的導(dǎo)熱性填料保持于導(dǎo)熱片1內(nèi)的物質(zhì)，根據(jù)導(dǎo)熱片1所要求的機械強度、耐熱性、電性質(zhì)等特性來選擇。作為這樣的粘合劑樹脂，可以從熱塑性樹脂、熱塑性彈性體、熱固性樹脂之中選擇。作為熱塑性樹脂，可列舉聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物等乙烯-α烯烴共聚物、聚甲基戊烯、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚醋酸乙烯酯、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物、聚乙烯醇、聚乙烯醇縮醛、聚偏二氟乙烯和聚四氟乙烯等氟系聚合物、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚苯乙烯、聚丙烯腈、苯乙烯-丙烯腈共聚物、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)樹脂、聚苯撐-醚共聚物(PPE)樹脂、改性PPE樹脂、脂肪族聚酰胺類、芳香族聚酰胺類、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚甲基丙烯酸、聚甲基丙烯酸甲酯等聚甲基丙烯酸酯類、聚丙烯酸類、聚碳酸酯、聚苯硫醚、聚砜、聚醚砜、聚醚腈、聚醚酮、聚酮、液晶聚合物、硅樹脂、離聚物等。作為熱塑性彈性體，可列舉苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物或其氫化物、苯乙烯-異戊二烯嵌段共聚物或其氫化物、苯乙烯系熱塑性彈性體、烯烴系熱塑性彈性體、氯乙烯系熱塑性彈性體、聚酯系熱塑性彈性體、聚氨酯系熱塑性彈性體、聚酰胺系熱塑性彈性體等。作為熱固性樹脂，可列舉交聯(lián)橡膠、環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、聚酰亞胺樹脂、不飽和聚酯樹脂、鄰苯二甲酸二烯丙酯樹脂等。作為交聯(lián)橡膠的具體例，可列舉天然橡膠、丙烯酸系橡膠、丁二烯橡膠、異戊二烯橡膠、苯乙烯-丁二烯共聚橡膠、丁腈橡膠、氫化丁腈橡膠、氯丁二烯橡膠、乙烯-丙烯共聚橡膠、氯化聚乙烯橡膠、氯磺化聚乙烯橡膠、丁基橡膠、鹵化丁基橡膠、氟橡膠、氨基甲酸酯橡膠和聚硅氧烷橡膠。導(dǎo)熱性樹脂組合物可以在纖維狀填料和粘合劑樹脂的基礎(chǔ)上，根據(jù)需要將各種添加劑、揮發(fā)性溶劑通過公知的方法均勻混合，從而進行調(diào)制。如后述那樣，像這樣的導(dǎo)熱片1如下制造：將在粘合劑樹脂中含有被絕緣皮膜12被覆的碳纖維11的導(dǎo)熱性樹脂組合物固化而形成的樹脂成型體9切片為片狀，得到碳纖維11從片表面露出的片主體7，然后，按壓或放置片主體7，從而制造。此時，由于通過切片而除去從片表面露出的碳纖維11的絕緣皮膜12，因此導(dǎo)熱片1能夠抑制由于絕緣皮膜12引起的熱導(dǎo)率的降低。然后，關(guān)于導(dǎo)熱片1，通過按壓或放置片主體7，從而利用從表面滲出的粘合劑樹脂的未固化成分8被覆除去了絕緣皮膜12的碳纖維11，因此能夠兼顧片的絕緣性和熱導(dǎo)率。此外，關(guān)于導(dǎo)熱片1，通過按壓或放置，從而粘合劑樹脂的未固化成分8從片主體7向整個表面滲出，利用該未固化成分8被覆以下的(1)和(2)。(1)片主體7的表面(2)從片主體7的表面露出的碳纖維11由此，導(dǎo)熱片1在片表面呈現(xiàn)微粘著性(膠粘性)。因此，關(guān)于導(dǎo)熱片1，能夠提高對于電子部件3、熱分散器2的表面的順應(yīng)性、密合性，也能夠降低低負荷區(qū)域中的熱阻。此外，關(guān)于導(dǎo)熱片1，片主體7的表面被粘合劑樹脂的未固化成分8被覆、并且在表面呈現(xiàn)微粘著性，從而能夠進行向熱分散器2的主表面2a的粘接、或者向電子部件3的上表面3a的臨時固定。因此，導(dǎo)熱片1不需要另外使用粘接劑，能夠?qū)崿F(xiàn)制造工序的省力化、低成本化。予以說明，關(guān)于利用未固化成分8對片主體7的表面的被覆、以及利用未固化成分8對除去了絕緣皮膜12的碳纖維11的被覆，不要求一定是完全掩埋除去了絕緣皮膜12的碳纖維11的厚度，只要被覆片主體7的表面和除去了絕緣皮膜12的碳纖維11，則也可以是能夠判斷除去了絕緣皮膜12的碳纖維11的形狀的程度的厚度。這里，導(dǎo)熱片1通過調(diào)整導(dǎo)熱性樹脂組合物的粘合劑樹脂的主劑和固化劑的成分比，從而能夠獲得期望的微粘著性(膠粘性)。例如當(dāng)使用2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂作為導(dǎo)熱性樹脂組合物的粘合劑樹脂時，主劑與固化劑的成分比率優(yōu)選設(shè)為，主劑：固化劑＝50：50～65：35(質(zhì)量比)。通過調(diào)整該成分比，導(dǎo)熱片1能夠維持片形狀，并且粘合劑樹脂的未固化成分8通過按壓或放置而滲出，被覆片主體7的整個表面，能夠在整個片獲得適度的微粘著性。另一方面，若主劑的成分少于該成分比，則導(dǎo)熱片1進行粘合劑樹脂的固化，缺少柔軟性，并且片主體7被粘合劑樹脂的未固化成分8的被覆也不充分，片主體7的至少一部分不呈現(xiàn)微粘著性。此外，若固化劑的成分少于該成分比，則粘著性過度呈現(xiàn)，無法維持片形狀，此外從成型體以片狀切出變得困難，處理性受損。此外，導(dǎo)熱片1的基于ASTM-D2240的測定方法的邵氏OO硬度優(yōu)選為70以下。若導(dǎo)熱片1的硬度作為邵氏OO硬度而超過70，則片主體7不能發(fā)揮充分的柔軟性，存在對于電子部件3、熱分散器2的表面的順應(yīng)性、密合性降低、熱阻升高的擔(dān)憂。予以說明，導(dǎo)熱片1的硬度的下限沒有特別限定。予以說明，導(dǎo)熱片1的體積電阻率優(yōu)選為1×106Ω·cm以上。由此，即使導(dǎo)熱片1接觸周邊的電路部件，也不存在引起電子設(shè)備的故障等的風(fēng)險。導(dǎo)熱片的表面形狀可列舉例如以下的例子。一種是如圖5所示表面為平滑的樣式。這種情況下，被覆碳纖維11的未固化成分8的表面是平滑的。另一種是如圖6所示表面具有來源于從片主體7的表面露出的碳纖維11的凸部的樣式。這種情況下，被覆碳纖維11的未固化成分8的表面不是平滑的，具有來源于碳纖維11的凸部。予以說明，圖5和圖6中，省略了被覆碳纖維11的絕緣皮膜12。[導(dǎo)熱片的制造工序]本發(fā)明的導(dǎo)熱片1可通過具有以下的工序(A)～(D)的制造方法來制造。以下，詳細說明每個工序。＜工序A＞首先，通過將被絕緣皮膜12被覆的碳纖維11和適宜添加的導(dǎo)熱性填料分散于粘合劑樹脂中，從而調(diào)制導(dǎo)熱片1形成用的導(dǎo)熱性樹脂組合物。該調(diào)制可以通過將碳纖維11、導(dǎo)熱性填料、粘合劑樹脂、以及根據(jù)需要配合的各種添加劑、揮發(fā)性溶劑通過公知的方法均勻混合來進行。＜工序B＞接下來，通過擠出成型法或模具成型法，由所調(diào)制的導(dǎo)熱性樹脂組合物形成塊狀的樹脂成型體9。作為擠出成型法、模具成型法，沒有特別限制，可以根據(jù)導(dǎo)熱性樹脂組合物的粘度、導(dǎo)熱片1所要求的特性等，從公知的各種擠出成型法、模具成型法之中適當(dāng)采用。在擠出成型法中將導(dǎo)熱性樹脂組合物利用沖模擠出時、或者在模具成型法中將導(dǎo)熱性樹脂組合物向模具壓入時，粘合劑樹脂流動，一部分碳纖維11沿著其流動方向取向，但大部分取向為無規(guī)取向。予以說明，在沖模的前端安裝有狹縫時，相對于所擠出的樹脂成型體9的寬度方向的中央部存在碳纖維11容易取向的傾向。另一方面，相對于樹脂成型體9的寬度方向的周邊部受到狹縫壁的影響，從而碳纖維11容易無規(guī)取向。樹脂成型體9的大小、形狀可以根據(jù)所要求的導(dǎo)熱片1的大小而確定。例如可列舉截面的縱向大小為0.5cm～15cm且橫向大小為0.5cm～15cm的長方體。長方體的長度根據(jù)需要確定即可。＜工序C＞接下來，將所形成的樹脂成型體9切片為片狀。由此得到片主體7。該片主體7中，碳纖維11從通過切片而得到的片的表面(切片表面)露出。此時，由于樹脂成型體9和碳纖維11均被切斷，因此被覆從片表面露出的碳纖維11的絕緣皮膜12被除去(即，從片表面露出的碳纖維11不被絕緣皮膜12被覆)。因此，導(dǎo)熱片1能夠貫穿厚度方向而維持良好的熱導(dǎo)率。作為切片的方法，沒有特別限制，可以根據(jù)樹脂成型體9的大小、機械強度，從公知的切片裝置13(優(yōu)選超聲波切割器、刨刀)之中適宜選擇。作為樹脂成型體9的切片方向，當(dāng)成型方法為擠出成型方法時，存在在擠出方向上取向的情況，因此樹脂成型體9的切片方向相對于擠出方向為60度～120度，更優(yōu)選為70度～100度的方向。特別優(yōu)選為90度(垂直)的方向。作為切片厚度，沒有特別限制，可以根據(jù)導(dǎo)熱片1的使用目的等適宜選擇。＜工序D＞接下來，用粘合劑樹脂的成分被覆從片主體7的表面露出的碳纖維11。作為該方法，可列舉例如以下的方法。(1)通過按壓片主體7，利用從片主體7滲出的粘合劑樹脂的未固化成分8，被覆片主體7的表面和從片主體7的表面露出的碳纖維11。(2)通過放置片主體7，利用從片主體7滲出的粘合劑樹脂的未固化成分8，被覆片主體7的表面和從片主體7的表面露出的碳纖維11。首先，針對上述(1)的方法進行說明。對所得的片主體7的切片表面進行按壓。作為按壓的方法，可以使用由平盤和表面平坦的按壓頭構(gòu)成的一對按壓裝置。此外，也可以用夾送輥進行按壓。根據(jù)按壓的條件，可獲得的導(dǎo)熱片的表面的形狀不同。接下來，針對上述(2)的方法進行說明。放置所得的片主體7。根據(jù)放置時間，可獲得的導(dǎo)熱片的表面的形狀不同。例如若經(jīng)過短時間的放置，則如圖6所示那樣，可獲得表面具有來源于從片主體7的表面露出的碳纖維11的凸部的導(dǎo)熱片。另一方面，若經(jīng)過長時間的放置，則如圖5所示那樣，可獲得表面平滑的導(dǎo)熱片。由此，粘合劑樹脂的未固化成分8從片主體7滲出，利用該未固化成分8，獲得片主體7的表面被進行了被覆的導(dǎo)熱片1(參照圖3B)。導(dǎo)熱片1中，從切片表面露出的碳纖維11(沒有被絕緣皮膜被覆的碳纖維11)被粘合劑樹脂的未固化成分8被覆。因此，導(dǎo)熱片1能夠確保電絕緣性，在與半導(dǎo)體元件周邊的電路接觸的情況中、在導(dǎo)熱片1中產(chǎn)生缺陷而下落到電路上的情況中，都能防止由于短路造成的電子設(shè)備的故障。此外，導(dǎo)熱片1在片表面呈現(xiàn)微粘著性(膠粘性)。因此，導(dǎo)熱片1能夠提高對于電子部件3、熱分散器2的表面的順應(yīng)性、密合性，能夠降低熱阻。此外，通過片主體7的表面被粘合劑樹脂的未固化成分8被覆，在表面呈現(xiàn)微粘著性，從而導(dǎo)熱片1向熱分散器2的主表面2a的粘接、或者向電子部件3的上表面3a的臨時固定成為可能。因此，導(dǎo)熱片1不需要另外使用粘接劑，能夠?qū)崿F(xiàn)制造工序的省力化、低成本化。進一步，導(dǎo)熱片1即使在處理過程中喪失了表面的微粘著性，若進行按壓，則粘合劑樹脂的未固化成分8再次從片主體7滲出，利用該未固化成分8而被覆表面。因此，導(dǎo)熱片1即使在偏離了向熱分散器2的粘接位置、向電子部件3的臨時固定位置的情況下，也能夠進行修復(fù)。此外，關(guān)于導(dǎo)熱片1，粘合劑樹脂的未固化成分8從片主體7的整個表面滲出，不僅被覆片主體7的表面和背面，還被覆側(cè)面。由于粘合劑樹脂的未固化成分8具有絕緣性，因此導(dǎo)熱片1對側(cè)面賦予絕緣性。因此，即使在導(dǎo)熱片1從被電子部件3和熱分散器2夾持的周邊膨出、與配置于周邊的導(dǎo)電性的部件接觸的情況下，也能隔著導(dǎo)熱片1而防止半導(dǎo)體元件、散熱器和該導(dǎo)電性部件發(fā)生短路。予以說明，導(dǎo)熱片1通過被按壓而在厚度方向上被壓縮，能夠增大碳纖維11、導(dǎo)熱性填料彼此之間接觸的頻度。由此，能夠降低導(dǎo)熱片1的熱阻。此外，導(dǎo)熱片1通過被按壓從而表面被平滑化。作為按壓時的壓力，如果過低則存在與不按壓的情況相比熱阻沒有變化的傾向，如果過高則存在片發(fā)生延伸的傾向，因此優(yōu)選為0.0098MPa～9.8MPa，更優(yōu)選為0.049MPa～9.3MPa。此外，關(guān)于導(dǎo)熱片1，如圖7所示，在與按壓頭對置的載置面配置間隔物10，片主體7被按壓，從而能夠根據(jù)該間隔物10的高度而形成為預(yù)定的片厚。導(dǎo)熱片1通過被按壓，如果片主體7內(nèi)的粘合劑樹脂的未固化成分8滲出、并且對片表面的整體進行被覆，則滲出停止。關(guān)于按壓時間，可以根據(jù)粘合劑樹脂中的粘合劑樹脂的成分與固化劑成分的配合比、按壓壓力、片面積等，適宜設(shè)定對于粘合劑樹脂的未固化成分8滲出、并且對片主體7的表面的整體進行被覆而言充分的時間。此外，關(guān)于按壓工序，為了更加促進粘合劑樹脂的未固化成分8的滲出、片主體7表面的被覆的效果，可以使用內(nèi)置了加熱器的按壓頭，一邊加熱一邊進行按壓工序。為了提高這樣的效果，關(guān)于加熱溫度，優(yōu)選在粘合劑樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上進行。由此，能夠縮短按壓時間。實施例接下來，針對本發(fā)明的實施例進行說明。本實施例中，變更導(dǎo)熱性樹脂組合物的粘合劑成分與固化劑成分的成分比、以及碳纖維被絕緣皮膜絕緣被覆的有無，形成導(dǎo)熱片的樣品，針對各樣品，測定和評價微粘著性的有無、邵氏OO硬度、壓縮應(yīng)力[N]、片的初始厚度[mm]、熱阻(K·cm2/W)、體積電阻率[Ω·cm]。[制造例1：碳纖維的絕緣皮膜處理]對各實施例中使用的碳纖維進行的絕緣被膜的形成是通過以下的方法進行。在樹脂容器(PE)中投入第一配合物[平均纖維長度100μm、平均纖維直徑9μm的瀝青系碳纖維(導(dǎo)熱性纖維：日本石墨纖維株式會社制)300g、四乙氧基硅烷600g、和乙醇2700g]，利用攪拌葉片進行混合。耗時5分鐘而向其中投入第二配合物(10質(zhì)量％氨水1050g)。將第二配合物的投入結(jié)束的時刻作為0分鐘，進行3小時攪拌。攪拌結(jié)束后，使用真空泵進行抽濾，將回收的樣品移至燒杯中，用水、乙醇洗凈后，再次進行過濾，回收樣品。將回收的樣品在100℃干燥2小時，在200℃進行燒成8小時，得到被覆碳纖維。通過用TEM進行截面測長，觀察到以平均厚度77nm的SiO2為主的皮膜。[制造例2：碳纖維的絕緣皮膜處理]將制造例1中的瀝青系碳纖維替換為以下的瀝青系碳纖維，除此之外，與制造例1同樣地操作，進行碳纖維的絕緣皮膜處理，得到被覆碳纖維?！r青系碳纖維(導(dǎo)熱性纖維、平均纖維長度150μm、平均纖維直徑9μm、日本石墨纖維株式會社制)通過用TEM進行截面測長，觀察到以平均厚度55nm的SiO2為主的皮膜。[制造例3：碳纖維的絕緣皮膜處理]將制造例1中的瀝青系碳纖維替換為以下的瀝青系碳纖維，除此之外，與制造例1同樣地操作，進行碳纖維的絕緣皮膜處理，得到被覆碳纖維?！r青系碳纖維(導(dǎo)熱性纖維、平均纖維長度90μm、平均纖維直徑9μm、日本石墨纖維株式會社制)通過用TEM進行截面測長，觀察到以平均厚度95nm的SiO2為主的皮膜。[制造例4：碳纖維的絕緣皮膜處理]將制造例1中的瀝青系碳纖維替換為以下的瀝青系碳纖維，除此之外，與制造例1同樣地操作，進行碳纖維的絕緣皮膜處理，得到被覆碳纖維?！r青系碳纖維(導(dǎo)熱性纖維、平均纖維長度110μm、平均纖維直徑9μm、日本石墨纖維株式會社制)通過用TEM進行截面測長，觀察到以平均厚度65nm的SiO2為主的皮膜。予以說明，制造例1～4中，除了變更瀝青系碳纖維的平均纖維長度以外，為相同的處理條件。即使在相同處理條件下，通過變更瀝青系碳纖維的平均纖維長度，所形成的皮膜的厚度發(fā)生變化。具體而言，碳纖維的平均纖維長度越長，所形成的皮膜的厚度變得越薄。予以說明，碳纖維的平均纖維長度是改變被覆的厚度的要素之一。[邵氏OO硬度的測定]針對實施例1～16和比較例1～6涉及的各導(dǎo)熱片樣品，利用ASTM-D2240的測定方法測定邵氏OO硬度。[壓縮應(yīng)力的測定]此外，針對實施例1～16和比較例1～6涉及的片主體按壓后的導(dǎo)熱片，使用拉伸壓縮試驗機((株)A&D制、TENSILONRTG1225)，測定壓縮速度25.4mm/min、40％壓縮時的最大壓縮應(yīng)力。[熱阻值的測定]此外，針對實施例1～16和比較例1～6涉及的各導(dǎo)熱片樣品，通過以ASTM-D5470為基準的方法在荷重1.0kgf/cm2的范圍內(nèi)測定熱阻值。[體積電阻率的測定]此外，針對實施例1～16和比較例1～6涉及的各導(dǎo)熱片樣品，通過以JISK-6911為基準的方法，使用MitsubishiChemicalAnalytech公司制Hiresta(MCP-HT800)和URS探針，測定體積電阻率。關(guān)于施加電壓，實施例1～16中設(shè)為100V，比較例1～4中設(shè)為1V，比較例5～6中設(shè)為100V。予以說明，比較例1～4中，將施加電壓設(shè)為1V是因為不同于實施例、比較例5～6，即使施加電壓低也能進行測定。[實施例1]實施例1中，在2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂中，將用硅烷偶聯(lián)劑進行了偶聯(lián)處理的氧化鋁粒子(導(dǎo)熱性粒子：電氣化學(xué)工業(yè)株式會社制、平均粒徑4μm)20vol％、由制造例1所得的被覆碳纖維(平均纖維長度100μm、平均纖維直徑9μm)22vol％、以及用硅烷偶聯(lián)劑進行了偶聯(lián)處理的氮化鋁(導(dǎo)熱性粒子：株式會社德山制、平均粒徑1μm)24vol％分散，調(diào)制了硅樹脂組合物(導(dǎo)熱性樹脂組合物)。2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂是以聚硅氧烷A液50質(zhì)量％、聚硅氧烷B液50質(zhì)量％的比率混合而成的物質(zhì)。予以說明，以下的實施例、比較例中使用的聚硅氧烷A液和聚硅氧烷B液分別與上述聚硅氧烷A液和上述聚硅氧烷B液相同。將所得的硅樹脂組合物擠出至內(nèi)壁貼有進行了剝離處理的PET膜的長方體狀的中空模具(30mm×30mm)中，成型為聚硅氧烷成型體。將所得的聚硅氧烷成型體利用烘箱在100℃進行6小時固化，制成聚硅氧烷固化物。將所得的聚硅氧烷固化物用超聲波切割器切斷，得到厚度約2mm的成型體片。超聲波切割器的切片速度設(shè)為每秒50mm。此外，關(guān)于對超聲波切割器賦予的超聲波振動，振蕩頻率設(shè)為20.5kHz，振幅設(shè)為60μm。在將所得的成型體片用進行了剝離處理的PET膜夾持后，放入厚度1.97mm的間隔物并進行按壓，從而得到片表面被粘合劑樹脂的未固化成分覆蓋的導(dǎo)熱片樣品。按壓條件設(shè)定為80℃、1MPa，設(shè)為3min。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為77nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為61、片的初始厚度為1.998mm、壓縮應(yīng)力為900N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例1涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為1.00[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為2.3×1010[Ω·cm]。[實施例2]實施例2中，作為2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂，使用將聚硅氧烷A液55質(zhì)量％和聚硅氧烷B液45質(zhì)量％混合而成的物質(zhì)，除此之外，在與實施例1相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為77nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為55、片的初始厚度為2.031mm、壓縮應(yīng)力為700N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例2涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.95[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為2.7×1010[Ω·cm]。[實施例3]實施例3中，作為2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂，使用將聚硅氧烷A液60質(zhì)量％和聚硅氧烷B液40質(zhì)量％混合而成的物質(zhì)，除此之外，在與實施例1相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為77nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為50、片的初始厚度為2.005mm、壓縮應(yīng)力為450N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例3涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.92[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為3.6×1010[Ω·cm]。[實施例4]實施例4中，作為2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂，使用將聚硅氧烷A液65質(zhì)量％和聚硅氧烷B液35質(zhì)量％混合而成的物質(zhì)，除此之外，在與實施例1相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為77nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為42、片的初始厚度為1.982mm、壓縮應(yīng)力為300N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例4涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.94[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為4.4×1010[Ω·cm]。[實施例5]實施例5中，作為碳纖維，使用了由制造例2所得的被覆碳纖維(平均纖維長度150μm)，除此之外，在與實施例1相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為55nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為70、片的初始厚度為2.000mm、壓縮應(yīng)力為950N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例5涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.91[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為3.6×109[Ω·cm]。[實施例6]實施例6中，作為碳纖維，使用了由制造例2所得的被覆碳纖維(平均纖維長度150μm)，除此之外，在與實施例2相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為55nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為58、片的初始厚度為2.009mm、壓縮應(yīng)力為800N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例6涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.88[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為4.7×109[Ω·cm]。[實施例7]實施例7中，作為碳纖維，使用了由制造例2所得的被覆碳纖維(平均纖維長度150μm)，除此之外，在與實施例3相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為55nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為57、片的初始厚度為1.991mm、壓縮應(yīng)力為550N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例7涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.86[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為6.7×109[Ω·cm]。[實施例8]實施例8中，作為碳纖維，使用了由制造例2所得的被覆碳纖維(平均纖維長度150μm)，除此之外，在與實施例4相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為55nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為50、片的初始厚度為2.016mm、壓縮應(yīng)力為350N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例8涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.88[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為8.2×109[Ω·cm]。[實施例9]實施例9中，在2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂中，將用硅烷偶聯(lián)劑進行了偶聯(lián)處理的氧化鋁粒子(導(dǎo)熱性粒子：電氣化學(xué)工業(yè)株式會社制、平均粒徑4μm)43vol％、由制造例3所得的被覆碳纖維(平均纖維長度90μm、平均纖維直徑9μm)23vol％分散，調(diào)制了硅樹脂組合物(導(dǎo)熱性樹脂組合物)。2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂是以聚硅氧烷A液50質(zhì)量％、聚硅氧烷B液50質(zhì)量％的比率混合而成的物質(zhì)。將所得的硅樹脂組合物擠出至內(nèi)壁貼有進行了剝離處理的PET膜的長方體狀的中空模具(30mm×30mm)中，成型為聚硅氧烷成型體。將所得的聚硅氧烷成型體利用烘箱在100℃進行6小時固化，制成聚硅氧烷固化物。將所得的聚硅氧烷固化物用超聲波切割器切斷，得到厚度約2mm的成型體片。超聲波切割器的切片速度設(shè)為每秒50mm。此外，關(guān)于對超聲波切割器賦予的超聲波振動，振蕩頻率設(shè)為20.5kHz，振幅設(shè)為60μm。在將所得的成型體片用進行了剝離處理的PET膜夾持后，放入間隔物并進行按壓，從而得到片表面被粘合劑樹脂的未固化成分覆蓋的導(dǎo)熱片樣品。按壓條件設(shè)定為80℃、1MPa，設(shè)為3min。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為95nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為59、片的初始厚度為2.017mm、壓縮應(yīng)力為900N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例9涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為1.89[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為1.2×1010[Ω·cm]。[實施例10]實施例10中，作為2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂，使用將聚硅氧烷A液55質(zhì)量％和聚硅氧烷B液45質(zhì)量％混合而成的物質(zhì)，除此之外，在與實施例9相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為95nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為53、片的初始厚度為2.008mm、壓縮應(yīng)力為800N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例10涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為1.83[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為2.9×1010[Ω·cm]。[實施例11]實施例11中，作為2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂，使用將聚硅氧烷A液60質(zhì)量％和聚硅氧烷B液40質(zhì)量％混合而成的物質(zhì)，除此之外，在與實施例9相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為95nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為51、片的初始厚度為1.982mm、壓縮應(yīng)力為500N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例11涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為1.79[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為4.2×1010[Ω·cm]。[實施例12]實施例12中，作為2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂，使用將聚硅氧烷A液65質(zhì)量％和聚硅氧烷B液35質(zhì)量％混合而成的物質(zhì)，除此之外，在與實施例9相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為95nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為45、片的初始厚度為1.996mm、壓縮應(yīng)力為250N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例12涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為1.85[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為5.5×1010[Ω·cm]。[實施例13]實施例13中，使用了由制造例4所得的被覆碳纖維(平均纖維長度110μm)，除此之外，在與實施例3相同的條件下，制成了成型體片。在將所得的成型體片用進行了剝離處理的PET膜夾持后，放入厚度1.97mm的間隔物并進行按壓，從而得到片表面被粘合劑樹脂的未固化成分覆蓋的導(dǎo)熱片樣品。按壓條件設(shè)定為100℃、1MPa，設(shè)為30sec。通過將溫度設(shè)為進一步的高溫并縮短按壓時間，使得片表面反映導(dǎo)熱填料的形狀，并且被不使表面反應(yīng)的成分被覆。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為65nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為52、片的初始厚度為2.011mm、壓縮應(yīng)力為500N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例13涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.85[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為8.9×109[Ω·cm]。[實施例14]實施例14中，使用了由制造例4所得的被覆碳纖維(平均纖維長度110μm)，除此之外，在與實施例4相同的條件下，制成了成型體片。在將所得的成型體片用進行了剝離處理的PET膜夾持后，放入厚度1.97mm的間隔物并進行按壓，從而得到片表面被粘合劑樹脂的未固化成分覆蓋的導(dǎo)熱片樣品。按壓條件設(shè)定為100℃、1MPa，設(shè)為30sec。通過將溫度設(shè)為進一步的高溫并縮短按壓時間，使得片表面反映導(dǎo)熱填料的形狀，并且被不使表面反應(yīng)的成分被覆。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為65nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為48、片的初始厚度為1.978mm、壓縮應(yīng)力為330N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例14涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.84[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為8.3×109[Ω·cm]。[實施例15]實施例15中，使用了由制造例4所得的被覆碳纖維(平均纖維長度110μm)，除此之外，在與實施例3相同的條件下，制成了成型體片。在將所得的成型體片用進行了剝離處理的PET膜夾持后，不進行按壓而放置1天，得到了片表面被粘合劑樹脂的未固化成分覆蓋的導(dǎo)熱片樣品。使得片表面反映導(dǎo)熱填料的形狀，并且被不使表面反應(yīng)的成分被覆。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為65nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為50、片的初始厚度為2.023mm、壓縮應(yīng)力為400N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例15涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.88[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為9.4×109[Ω·cm]。[實施例16]實施例16中，使用了由制造例4所得的被覆碳纖維(平均纖維長度110μm)，除此之外，在與實施例3相同的條件下，制成了成型體片。在將所得的成型體片用進行了剝離處理的PET膜夾持后，不進行按壓而放置1周，得到了片表面被粘合劑樹脂的未固化成分覆蓋的導(dǎo)熱片樣品。使得片表面被不使導(dǎo)熱片表面反應(yīng)的成分被覆。被覆碳纖維的絕緣皮膜的厚度為65nm。關(guān)于導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為49、片的初始厚度為2.001mm、壓縮應(yīng)力為350N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于實施例16涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.90[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為1.2×1010[Ω·cm]。[比較例1]比較例1中，使用了沒有進行絕緣皮膜處理的瀝青系碳纖維(導(dǎo)熱性纖維：日本石墨纖維株式會社制、平均纖維長度100μm、平均纖維直徑9μm)，除此之外，在與實施例1相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。關(guān)于比較例1涉及的導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為72、片的初始厚度為2.010mm、壓縮應(yīng)力為1000N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于比較例1涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.88[K·cm2/W]、施加電壓1V時的體積電阻率為3.4×104[Ω·cm]。[比較例2]比較例2中，使用了沒有進行絕緣皮膜處理的瀝青系碳纖維(導(dǎo)熱性纖維：日本石墨纖維株式會社制、平均纖維長度100μm、平均纖維直徑9μm)，除此之外，在與實施例2相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。關(guān)于比較例2涉及的導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為63、片的初始厚度為1.99mm、壓縮應(yīng)力為900N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于比較例2涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.85[K·cm2/W]、施加電壓1V時的體積電阻率為3.6×104[Ω·cm]。[比較例3]比較例3中，使用了沒有進行絕緣皮膜處理的瀝青系碳纖維(導(dǎo)熱性纖維：日本石墨纖維株式會社制、平均纖維長度100μm、平均纖維直徑9μm)，除此之外，在與實施例3相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。關(guān)于比較例3涉及的導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為59、片的初始厚度為1.999mm、壓縮應(yīng)力為450N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于比較例3涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.84[K·cm2/W]、施加電壓1V時的體積電阻率為3.9×104[Ω·cm]。[比較例4]比較例4中，使用了沒有進行絕緣皮膜處理的瀝青碳纖維(導(dǎo)熱性纖維：日本石墨纖維株式會社制、平均纖維長度100μm、平均纖維直徑9μm)，除此之外，在與實施例4相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。關(guān)于比較例4涉及的導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為50、片的初始厚度為2.005mm、壓縮應(yīng)力為300N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于比較例4涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為0.87[K·cm2/W]、施加電壓1V時的體積電阻率為4.7×104[Ω·cm]。[比較例5]比較例5中，對于由比較例1所得的導(dǎo)熱片，涂布作為2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂的、由聚硅氧烷A液50質(zhì)量％和聚硅氧烷B液50質(zhì)量％混合而成的物質(zhì)，制成了導(dǎo)熱片樣品。關(guān)于比較例5涉及的導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為75、片的初始厚度為2.030mm、壓縮應(yīng)力為1050N。在片表面呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于比較例5涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為2.43[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為1.0×1012[Ω·cm]。[比較例6]比較例6中，作為所涂布的2液性的加成反應(yīng)型液狀硅樹脂，使用了將聚硅氧烷A液45質(zhì)量％和聚硅氧烷B液55質(zhì)量％混合而成的物質(zhì)，除此之外，在與比較例5相同的條件下，制成了導(dǎo)熱片樣品。關(guān)于比較例6涉及的導(dǎo)熱片樣品，邵氏OO硬度為75、片的初始厚度為2.015mm、壓縮應(yīng)力為1200N。在片表面未呈現(xiàn)微粘著性。此外，關(guān)于比較例6涉及的導(dǎo)熱片樣品，熱阻為2.56[K·cm2/W]、施加電壓100V時的體積電阻率為8.1×1011[Ω·cm]。[微粘著性的評價]此外，針對實施例1～16和比較例1～6涉及的各導(dǎo)熱片樣品，進行微粘著性的評價。關(guān)于微粘著性的評價，對實施例1～16和比較例1～6涉及的聚硅氧烷固化物進行切片，將所得的成型體片用沒有進行剝離處理的PET膜夾持后，放入厚度1.97mm的間隔物，在80℃、2.45MPa設(shè)定下按壓3min后，冷卻至常溫，從而得到了微粘著性評價用導(dǎo)熱片樣品。用手將該微粘著性評價用導(dǎo)熱片樣品的PET膜的端部剝離，用試驗機夾持該端部后，在90°以50mm/mm的速度拉伸，測定荷重，根據(jù)剝離力(荷重)而對微粘著性(膠粘性)進行了評價。關(guān)于各樣品的剝離力，保持預(yù)定的的寬度而進行測量。基于以下的評價基準進行評價。[評價基準]◎(最適)：剝離力在0.05～0.25(N/cm)的范圍內(nèi)變動的情況○(良好)：剝離力在0.02～0.05(N/cm)、0.20～0.30(N/cm)的范圍內(nèi)變動的情況△(普通)：剝離力在0～0.04(N/cm)的范圍內(nèi)變動的情況×(不良)：在片的一部分確認到不呈現(xiàn)微粘著性的位置的情況[表1]シリコ一ン樹脂我都改成硅樹脂了實施例1實施例2實施例3實施例4實施例5實施例6聚硅氧烷樹脂A液[％]505560655055聚硅氧烷樹脂B液[％]504540355045碳纖維的纖維長度[μm]100100100100150150絕緣皮膜的厚度[nm]777777775555微粘著性△○◎◎△○邵氏00硬度615550427058壓縮應(yīng)力[N]900700450300950800片的初始厚度[mm]1.9982.0312.0051.9822.0002.009熱阻[K·cm2/W]1.000.950.920.940.910.88體積電阻[Ω·cm]2.3x10102.7x10103.6x10104.4x10103.6x1094.7x109[表2]實施例7實施例8實施例9實施例10實施例11實施例12聚硅氧烷樹脂A液[％]606550556065聚硅氧烷樹脂B液[％]403550454035碳纖維的纖維長度[μm]15015090909090絕緣皮膜的厚度[nm]555595959595微粘著性◎◎△○◎◎邵氏00硬度575059535145壓縮應(yīng)力[N]550350900800500250片的初始厚度[mm]1.9912.0162.0172.0081.9821.996熱阻[K·cm2/W]0.860.881.891.831.791.85體積電阻[Ω·cm]6.7x1098.2x1091.2x10102.9x10104.2x10105.5x1010[表3]實施例13實施例14實施例15實施例16聚硅氧烷樹脂A液[％]60656060聚硅氧烷樹脂B液[％]40354040碳纖維的纖維長度[μm]110110110110絕緣皮膜的厚度[nm]65656565微粘著性◎◎◎◎邵氏00硬度52485049壓縮應(yīng)力[N]500330400350片的初始厚度[mm]2.0111.9782.0232.001熱阻[K·cm2/W]0.850.840.880.90體積電阻[Ω·cm]8.9x1098.3x1099.4x1091.2x1010[表4]比較例1比較例2比較例3比較例4比較例5比較例6聚硅氧烷樹脂A液[％]505560655045聚硅氧烷樹脂B液[％]504540355055碳纖維的纖維長度[μm]100100100100100100微粘著性△○◎◎∧×邵氏00硬度726359507575壓縮應(yīng)力[N]100090045030010501200片的初始厚度[mm]2.0101.9901.9992.0052.0302.015熱阻[K·cm2/W]0.880.850.840.872.432.56體積電阻[Ω·cm]3.4x1043.6x1043.9x1044.7x1041.0x10128.1x1011如表1～4所示，就實施例1～16涉及的導(dǎo)熱片樣品而言，熱阻最大為1.89[K·cm2/W]，體積電阻率最小為3.6×109[Ω·cm]，基本實現(xiàn)導(dǎo)熱性和絕緣性的兼顧。這是由于，導(dǎo)熱片樣品所含有的碳纖維被50nm以上且小于100nm的厚度的絕緣皮膜被覆，因此根據(jù)期望的膜厚形成絕緣皮膜，能夠具備良好的體積電阻率，并且抑制二氧化硅微粒的生成，能夠防止熱導(dǎo)率的降低。此外，就實施例1～16涉及的導(dǎo)熱片樣品而言，關(guān)于從片表面露出的碳纖維，由于在切片時，絕緣皮膜被切斷，碳纖維露出，但是被粘合劑樹脂的未固化成分被覆，因此不會損害熱導(dǎo)率，具有對周圍的部件的絕緣性。予以說明，實施例1～12、16中，如圖5所示那樣，得到了表面平滑的導(dǎo)熱片。實施例13～15中，如圖6所示，得到了表面具有來源于從片主體的表面露出的碳纖維的凸部的導(dǎo)熱片。另一方面，就比較例1～4涉及的導(dǎo)熱片樣品而言，因為使用了未形成絕緣皮膜的碳纖維，因此雖然熱阻被抑制得低，但是體積電阻率低，絕緣性不充分。此外，就比較例5和比較例6而言，通過對導(dǎo)熱片樣品進一步涂布粘合劑樹脂，雖然體積電阻率高、絕緣性優(yōu)異，但是由于碳纖維被掩埋于粘合劑樹脂內(nèi)，因此熱阻變高。予以說明，就比較例6涉及的導(dǎo)熱片樣品而言，涂布的硅樹脂中聚硅氧烷A液的構(gòu)成比率低、為45％，未固化成分殘留不充分，即使通過按壓也不能被覆至片的整個表面，在一部分中不呈現(xiàn)微粘著性。因此，關(guān)于比較例6涉及的導(dǎo)熱片樣品，在不呈現(xiàn)微粘著性的位置，無法進行向連接對象的臨時固定，操作性差。此外，關(guān)于比較例6涉及的導(dǎo)熱片樣品，缺乏柔軟性，并且對粘接對象的順應(yīng)性、密合性差，熱阻上升。符號說明1：導(dǎo)熱片；2：熱分散器；2a主表面；3：電子部件；3a上表面；4：放熱部件；5：散熱器；6：配線基板；7：片主體；8：未固化成分；9：樹脂成型體；10：間隔物；11：碳纖維；12：絕緣皮膜；13：切片裝置。當(dāng)前第1頁1 2 3