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      半導(dǎo)體裝置及其制造方法與流程

      文檔序號(hào):12478035閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括:

      一襯底,具有一第一導(dǎo)電型,且該襯底包括:

      一高電位區(qū);

      一低電位區(qū);及

      一隔離區(qū),設(shè)于該高電位區(qū)與該低電位區(qū)之間,其中該隔離區(qū)包括一電位轉(zhuǎn)換區(qū)以及一連接區(qū),其中該連接區(qū)設(shè)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)與該高電位區(qū)之間;

      一外延層,設(shè)于該襯底上,其中該外延層具有一第二導(dǎo)電型,且該第一導(dǎo)電型與該第二導(dǎo)電型不同;

      一第二導(dǎo)電型第一埋藏層,設(shè)于該高電位區(qū)中的該襯底與該外延層的一交界處,其中該第二導(dǎo)電型第一埋藏層具有該第二導(dǎo)電型;

      一第二導(dǎo)電型第二埋藏層,設(shè)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)中的該襯底與該外延層的該交界處,其中該第二導(dǎo)電型第二埋藏層具有該第二導(dǎo)電型;

      一第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū),設(shè)于該連接區(qū)中的該襯底與該外延層的該交界處,其中該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型;

      一第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū),設(shè)于該襯底與該外延層的該交界處,且該第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū)是對應(yīng)該電位轉(zhuǎn)換區(qū)與該低電位區(qū)的一交界設(shè)置,且該第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型;

      一第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū),設(shè)于該連接區(qū)的該外延層中,其中該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型且直接接觸該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū);

      一第一導(dǎo)電型第二頂摻雜區(qū),設(shè)于該外延層中,其中該第一導(dǎo)電型第二頂摻雜區(qū)是對應(yīng)該電位轉(zhuǎn)換區(qū)與該低電位區(qū)的一交界設(shè)置,且該第一導(dǎo)電型第二頂摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型且直接接觸該第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū);

      至少一個(gè)第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū),設(shè)于該連接區(qū)的該外延層中,其中該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)具有該第二導(dǎo)電型,且該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)或該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)中;

      一第一導(dǎo)電型體區(qū),設(shè)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)的該外延層中,其中該第一導(dǎo)電型體區(qū)具有該第一導(dǎo)電型;

      一第一導(dǎo)電型摻雜區(qū),設(shè)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)的該外延層中,其中該第一導(dǎo)電型摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型;

      一源極區(qū),設(shè)于該第一導(dǎo)電型體區(qū)中;

      一漏極區(qū),設(shè)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)的該外延層中;

      一第二導(dǎo)電型第二摻雜區(qū),設(shè)于該高電位區(qū)的該外延層中,且該第二導(dǎo)電型第二摻雜區(qū)具有該第二導(dǎo)電型;

      一柵極電極,設(shè)于該外延層上;

      一源極電極,電連接該源極區(qū);及

      一漏極電極,電連接該漏極區(qū),并自該電位轉(zhuǎn)換區(qū)延伸經(jīng)過該連接區(qū)至該高電位區(qū)。

      2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,至少一個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)直接接觸該外延層的上表面,且不接觸該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)的邊緣及該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)的邊緣。

      3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括多個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū),且該多個(gè)第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)皆設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)中。

      4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括多個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū),且至少一個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)中,而至少另一個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)中。

      5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)中的該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)的摻雜濃度與設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)中的該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)的摻雜濃度不同。

      6.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,包括:

      提供一襯底,該襯底具有一第一導(dǎo)電型,且該襯底包括:

      一高電位區(qū);

      一低電位區(qū);及

      一隔離區(qū),設(shè)于該高電位區(qū)與該低電位區(qū)之間,其中該隔離區(qū)包括一電位轉(zhuǎn)換區(qū)以及一連接區(qū),其中該連接區(qū)設(shè)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)與該高電位區(qū)之間;

      形成一第二導(dǎo)電型第一埋藏層于該高電位區(qū)的該襯底中,其中該第二導(dǎo)電型第一埋藏層具有一第二導(dǎo)電型,且該第一導(dǎo)電型與該第二導(dǎo)電型不同;

      形成一第二導(dǎo)電型第二埋藏層于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)的該襯底中,其中該第二導(dǎo)電型第二埋藏層具有該第二導(dǎo)電型;

      形成一第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)于該連接區(qū)的該襯底中,其中該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型;

      形成一第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū)于該襯底中,其中該第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū)是對應(yīng)該電位轉(zhuǎn)換區(qū)與該低電位區(qū)的一交界設(shè)置,且該第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型;

      形成一外延層于該襯底上,其中該外延層具有該第二導(dǎo)電型,且該第二導(dǎo)電型第一埋藏層、該第二導(dǎo)電型第二埋藏層、該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)及該第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū)延伸進(jìn)入該外延層中;

      形成至少一個(gè)第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)于該連接區(qū)的該外延層中,其中該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)具有該第二導(dǎo)電型;

      形成一第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)于該連接區(qū)的該外延層中,該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型且直接接觸該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū),其中該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)或該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)中;

      形成一第一導(dǎo)電型第二頂摻雜區(qū)于該外延層中,其中該第一導(dǎo)電型第二頂摻雜區(qū)是對應(yīng)該電位轉(zhuǎn)換區(qū)與該低電位區(qū)的一交界設(shè)置,且該第一導(dǎo)電型第二頂摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型且直接接觸該第一導(dǎo)電型第二底摻雜區(qū);

      形成一第一導(dǎo)電型體區(qū)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)的該外延層中,其中該第一導(dǎo)電型體區(qū)具有該第一導(dǎo)電型;

      形成一第一導(dǎo)電型摻雜區(qū)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)的該外延層中,其中該第一導(dǎo)電型摻雜區(qū)具有該第一導(dǎo)電型;

      形成一柵極電極于該外延層上;

      形成一源極區(qū)于該第一導(dǎo)電型體區(qū)中;

      形成一漏極區(qū)于該電位轉(zhuǎn)換區(qū)的該外延層中;

      形成一第二導(dǎo)電型第二摻雜區(qū)于該高電位區(qū)的該外延層中,其中該第二導(dǎo)電型第二摻雜區(qū)具有該第二導(dǎo)電型;

      形成一源極電極,電連接該源極區(qū);及

      形成一漏極電極,電連接該漏極區(qū),并自該電位轉(zhuǎn)換區(qū)延伸經(jīng)過該連接區(qū)至該高 電位區(qū)。

      7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,至少一個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)直接接觸該外延層的上表面,且不接觸該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)的邊緣及該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)的邊緣。

      8.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,該半導(dǎo)體裝置包括多個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū),且該多個(gè)第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)皆設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)中。

      9.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,該半導(dǎo)體裝置包括多個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū),且至少一個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)中,而至少另一個(gè)該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)中。

      10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一頂摻雜區(qū)中的該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)的摻雜濃度與設(shè)于該第一導(dǎo)電型第一底摻雜區(qū)中的該第二導(dǎo)電型第一摻雜區(qū)的摻雜濃度不同。

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