技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種提高氮化鎵基電子器件表面鈍化效果、降低電流崩塌的表面處理技術(shù)及實(shí)現(xiàn)方法，所述方法主要應(yīng)用于在氮化鎵基電子器件制備中，在常規(guī)鈍化層淀積之前，利用臭氧、氧等離子體等強(qiáng)氧化劑對(duì)氮化鎵表面進(jìn)行氧化，然后再用鹽酸去除薄層氧化物，重復(fù)該過程若干周期在表面鈍化之前達(dá)到徹底移除表面缺陷，得到一個(gè)相對(duì)完美的表面，提高表面鈍化效果，降低由于表面陷阱效應(yīng)引起的電流崩塌。

技術(shù)研發(fā)人員：王茂俊;林書勛;陶明;郝一龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.03
技術(shù)公布日：2017.09.12