技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種蝕刻噴灑模塊及使用該蝕刻噴灑模塊之濕式蝕刻裝置,該濕式蝕刻裝置包括一腔體以及該蝕刻噴灑模塊。該腔體包括一進(jìn)氣口、一出氣口、以及一蝕刻液入口。該蝕刻噴灑模塊設(shè)置于該腔體中以對(duì)一基板進(jìn)行蝕刻。該蝕刻噴灑模塊包括一本體以及若干個(gè)噴嘴。各噴嘴包括一第一入口、一第二入口、以及一噴嘴出口。該噴嘴出口之一口徑小于該第一入口之一口徑且小于該第二入口之一口徑。該濕式蝕刻裝置及該蝕刻噴灑模塊能將蝕刻液均勻地噴灑在基板上。
技術(shù)研發(fā)人員:黃榮龍;呂峻杰;陳瀅如
受保護(hù)的技術(shù)使用者:盟立自動(dòng)化股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.03.29
技術(shù)公布日:2017.10.10