本發(fā)明涉及一種平板顯示器制作方法，具體涉及一種碳納米管冷陰極的制備方法。

背景技術(shù)：

碳納米管是一種非常優(yōu)良的場(chǎng)發(fā)射材料。它具有開(kāi)啟電壓低、長(zhǎng)徑比大、穩(wěn)定性高的特點(diǎn)，在較低的電壓下就可以發(fā)射電子，而且長(zhǎng)時(shí)間經(jīng)受較大的電流也不容易被破壞，很適合用于平板顯示器。

碳納米管場(chǎng)發(fā)射性能主要體現(xiàn)在碳納米管尖端場(chǎng)發(fā)射，碳納米管尖端密度過(guò)大時(shí)就會(huì)出現(xiàn)電磁場(chǎng)屏蔽現(xiàn)象，導(dǎo)致影響場(chǎng)發(fā)射電流密度。改變碳納米管陣列的整體取向，可以改變碳納米管尖端電場(chǎng)分布，從而達(dá)到場(chǎng)發(fā)射顯示器高亮度的要求。

場(chǎng)發(fā)射顯示器的核心部件是冷陰極結(jié)構(gòu)，如何在單位空間內(nèi)增加碳納米管冷陰極結(jié)構(gòu)的場(chǎng)發(fā)射強(qiáng)度，一直是本領(lǐng)域研究的重點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
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本發(fā)明是針對(duì)上述技術(shù)的問(wèn)題，提出以下發(fā)明內(nèi)容：

一種碳納米管冷陰極的制備方法，包括如下步驟：

步驟1：將待沉積的柔性導(dǎo)電材料加熱至70-90℃，并且保持恒定溫度；

步驟2：柔性導(dǎo)電材料表面沉積1-3μm厚金屬薄膜；

步驟3：采用CVD法在金屬薄膜表面生長(zhǎng)碳納米管；

步驟4：將沉積好的陰極材料取出，常溫冷卻并且封裝。

優(yōu)選地，柔性導(dǎo)電材料可以選用PDMS。

優(yōu)選地，陰極材料常溫冷卻2-5天。

優(yōu)選地，冷卻后的冷陰極材料金屬表面呈U型褶皺狀屈曲結(jié)構(gòu)，碳納米管垂直于金屬表面生長(zhǎng)。

本發(fā)明的有益效果：褶皺層碳納米管結(jié)構(gòu)，增加了單位空間的場(chǎng)發(fā)射面積，而且降低了電磁屏蔽對(duì)場(chǎng)發(fā)射性能的影響。

附圖說(shuō)明

圖1碳納米管冷陰極平面結(jié)構(gòu)

圖2碳納米管冷陰極褶皺結(jié)構(gòu)

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1：將處理好的PDMS3放入真空濺射設(shè)備，恒溫加熱到所需溫度70-90℃，PDMS3表面濺射所需金屬薄膜2，通過(guò)時(shí)間控制得到所需薄膜厚度1-3μm。采用CVD法在金屬薄膜 2表面生長(zhǎng)碳納米管1，催化劑采用鐵、鈷、鎳等納米顆粒。如圖1所示，控制催化劑的陣列及碳納米管1的密度，同時(shí)控制得到所需碳納米管1高度。

實(shí)施例2：將陰極材料常溫冷卻2-5天，在應(yīng)力作用下，PDMS3會(huì)產(chǎn)生有規(guī)律的褶皺，金屬薄2膜由于粘附PDMS3表面，也會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的屈曲形變，得到如圖2所示的形狀效果，同時(shí)碳納米管1垂直所在的金屬薄膜2微小平面。

褶皺層碳納米管結(jié)構(gòu)，增加了單位空間的場(chǎng)發(fā)射面積，而且降低了電磁屏蔽對(duì)場(chǎng)發(fā)射性能的影響。