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      一種納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器及其制備方法與流程

      文檔序號(hào):11924720閱讀:來源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器,其特征在于,包括鈦基體、氮化鈦納米管陣列、氧化鈦電介質(zhì)膜、導(dǎo)電高分子薄膜,所述的氮化鈦納米管陣列設(shè)置在鈦基體上,所述的氧化鈦電介質(zhì)膜設(shè)置在氮化鈦納米管陣列上,所述的導(dǎo)電高分子薄膜設(shè)置在氧化鈦電介質(zhì)膜上。

      2.如權(quán)利要求1所述的納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器,其特征在于,導(dǎo)電高分子薄膜采用聚苯胺薄膜、聚吡咯薄膜或聚3,4-乙撐二氧噻吩薄膜。

      3.一種納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

      步驟1、在鈦基體上制備有序TiO2納米管陣列;

      步驟2、將有序TiO2納米管陣列在NH3氣氛下煅燒,得到氮化鈦納米管陣列;

      步驟3、對(duì)氮化鈦納米管陣列進(jìn)行陽極氧化,在其表面生成氧化鈦電介質(zhì)膜,得到氮化鈦/氧化鈦納米管陣列結(jié)構(gòu);

      步驟4、將氮化鈦/氧化鈦納米管陣列結(jié)構(gòu)浸入到導(dǎo)電高分子聚合溶液中,通過光引發(fā)電化學(xué)聚合反應(yīng)在氧化鈦電介質(zhì)膜表面生成導(dǎo)電高分子,即得到所述的氮化鈦/氧化鈦/導(dǎo)電高分子的納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器。

      4.如權(quán)利要求3所述的納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器的制備方法,其特征在于,步驟1中,在鈦基體上利用恒流法以10mA cm-2電流密度陽極氧化制備有序TiO2納米管陣列,陽極氧化時(shí)間為45min~2h。

      5.如權(quán)利要求3所述的納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器的制備方法,其特征在于,步驟2中,煅燒溫度為780-820℃,煅燒時(shí)間為3-6h。

      6.如權(quán)利要求3所述的納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器的制備方法,其特征在于,步驟3中,陽極氧化采用的電解液為5wt%五硼酸銨和1wt%硼酸組成的混合水溶液;陽極氧化電壓不超過35V。

      7.如權(quán)利要求3所述的納米結(jié)構(gòu)電介質(zhì)電容器的制備方法,其特征在于,步驟4中所述的導(dǎo)電高分子聚合溶液包括苯胺溶液、吡咯溶液和3,4-乙撐二氧噻吩溶液中的任意一種。

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