本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體閥串的壓裝裝置及壓裝方法。

背景技術(shù)：

目前，我國(guó)已建成南澳三端±160kV、舟山五端±200kV柔性直流輸電工程，但由于缺乏核心裝備——直流斷路器，其工程的優(yōu)勢(shì)并未發(fā)揮出來(lái)。直流斷路器是柔性直流輸電工程中的核心設(shè)備，主要由壓接式IGBT閥串構(gòu)成。

目前IGBT等大型半導(dǎo)體器件在進(jìn)行模塊化集成時(shí)，主要采用人工堆積、豎直壓裝的方式，授權(quán)公告號(hào)為CN204832258U，授權(quán)公告日為2015.12.02的中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利公開(kāi)了一種大功率壓接式IGBT封裝模塊壓裝測(cè)試夾具，包括由下至上依次壓接的第一固定板組套、第一導(dǎo)電板、第一水冷散熱組套、第二導(dǎo)電板、第二水冷散熱組套、第三導(dǎo)電板和第二固定板組套，該夾具是將待壓接封裝的IGBT、導(dǎo)電板以及散熱器等器件按照一定的順序堆疊放置在第一固定板和第二固定板之間，其中頂部的第二固定板上設(shè)置有頂壓柱，底部的第一固定板作為支撐板要求其底面必須具有一定的平面度。為了便于夾具的移動(dòng)及測(cè)試，在第二固定板上還開(kāi)設(shè)有縱向貫穿的圓周均布的吊裝固定孔，用于將夾具吊裝起來(lái)。使用時(shí)，利用液壓泵對(duì)頂壓柱施加向下的壓力，該壓力傳遞到導(dǎo)電板、散熱器以及IGBT等器件上，并利用墊片塞進(jìn)打壓時(shí)產(chǎn)生的間隙中，使得壓力能夠保持住，從而實(shí)現(xiàn)模塊的壓接封裝。

由于壓接式IGBT閥串在封裝時(shí)對(duì)裝配精度的要求極高，而上述封裝方式在操作時(shí)是將器件自下而上依次放置在底部的第一固定板上，眾所周知，壓接式IGBT閥串中待壓接的IGBT及散熱器的數(shù)量是比較多的，尤其是大功率的壓接式IGBT閥串，其數(shù)量更多。這時(shí)如果采用這種人工豎直堆積的方法，上部的器件以下部的器件為基準(zhǔn)進(jìn)行放置，隨著器件增多，將會(huì)形成公差累積，各器件的裝配中心不在同一豎直線上，裝配精度難以保證，從而造成同一型號(hào)的IGBT閥串之間差別較大，集成模塊的標(biāo)準(zhǔn)化程度較低。同時(shí)，由于器件的數(shù)量較多，隨著模塊高度的增加，必然會(huì)增加運(yùn)輸路徑，從而造成勞動(dòng)強(qiáng)度較大且裝配效率低。

另外，由于現(xiàn)有技術(shù)中采用的是豎直裝配，在裝配完成后還需要將整個(gè)裝置吊裝移動(dòng)至壓力機(jī)上，這樣就大大影響生產(chǎn)效率，同時(shí)IGBT閥串在移動(dòng)過(guò)程中可能會(huì)使各器件的裝配精度遭到破壞，從而影響壓裝后的精度，且由于IGBT閥串的高度較高，這樣在豎向加壓時(shí)，整個(gè)模塊在壓裝過(guò)程中存在不穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種無(wú)需吊裝移動(dòng)半導(dǎo)體閥串、壓裝效率高的半導(dǎo)體閥串的壓裝裝置；本發(fā)明的目的還在于提供一種上述半導(dǎo)體閥串的壓裝方法。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明中半導(dǎo)體閥串的壓裝裝置的技術(shù)方案為：

一種半導(dǎo)體閥串的壓裝裝置，包括設(shè)置在機(jī)架上的水平工作臺(tái)，水平工作臺(tái)上設(shè)置有用于對(duì)待壓裝的半導(dǎo)體閥串中各器件進(jìn)行導(dǎo)向和支撐的導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)，機(jī)架上于導(dǎo)向方向的一端設(shè)置有施力機(jī)構(gòu)，所述施力機(jī)構(gòu)的施力方向與導(dǎo)向方向相同。

所述導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在水平工作臺(tái)上的導(dǎo)軌以及導(dǎo)向移動(dòng)裝配在所述導(dǎo)軌上的半導(dǎo)體支撐座和散熱器支撐座，所述半導(dǎo)體支撐座和散熱器支撐座的個(gè)數(shù)和順序均與待壓裝的半導(dǎo)體閥串中相應(yīng)器件的個(gè)數(shù)和順序一致。

所述導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)還包括導(dǎo)向移動(dòng)裝配在導(dǎo)軌上的絕緣盤(pán)支撐座和壓力自適應(yīng)組件支撐座。

所述半導(dǎo)體支撐座、散熱器支撐座、絕緣盤(pán)支撐座以及壓力自適應(yīng)組件支撐座與導(dǎo)軌上設(shè)置有用于防止各支撐座脫出導(dǎo)軌的防脫結(jié)構(gòu)。

所述導(dǎo)軌的截面呈矩形，半導(dǎo)體支撐座、散熱器支撐座、絕緣盤(pán)支撐座以及壓力自適應(yīng)組件支撐座上均設(shè)置有與導(dǎo)軌導(dǎo)向滑動(dòng)配合的滑槽，所述防脫結(jié)構(gòu)包括穿設(shè)在各支撐座中的防脫件以及設(shè)置在導(dǎo)軌側(cè)面的與所述防脫件配合的防脫槽。

所述防脫件包括與各相應(yīng)支撐座螺紋連接的螺桿，螺桿的螺紋段端部連接有彈簧，彈簧的另一端連接有球，所述球與滑槽滑動(dòng)配合以防止各相應(yīng)支撐座脫出導(dǎo)軌。

本發(fā)明中半導(dǎo)體閥串的壓裝方法的技術(shù)方案為：

一種半導(dǎo)體閥串的壓裝方法，半導(dǎo)體閥串中的各器件按照順序放置在水平工作臺(tái)上，在導(dǎo)向方向上對(duì)半導(dǎo)體閥串進(jìn)行施壓，使其達(dá)到設(shè)定壓力，在施壓后半導(dǎo)體閥串中的空出部位裝上墊片，以保持所述設(shè)定壓力。

在水平工作臺(tái)上設(shè)置導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)，以對(duì)半導(dǎo)體閥串中各器件進(jìn)行導(dǎo)向和支撐。

采用液壓缸在導(dǎo)向方向上對(duì)半導(dǎo)體閥串進(jìn)行施壓，根據(jù)需要控制施壓的壓力大小和速度。

本發(fā)明的有益效果在于：機(jī)架上設(shè)置有水平工作臺(tái)，水平工作臺(tái)上設(shè)置有對(duì)半導(dǎo)體閥串中各器件進(jìn)行導(dǎo)向和支撐的導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)，這樣也就意味著，半導(dǎo)體閥串中的各器件可以水平放置在導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)上進(jìn)行裝配，相比豎直堆積的放置方法，這種放置方法減少了運(yùn)輸路徑，因此勞動(dòng)強(qiáng)度低，同時(shí)裝配效率高。機(jī)架上于導(dǎo)向方向的一端設(shè)置有施力機(jī)構(gòu)，所述施力機(jī)構(gòu)的施力方向與導(dǎo)向方向相同，這樣半導(dǎo)體閥串在裝配完成后就不需要再進(jìn)行吊裝移動(dòng)，直接利用施力機(jī)構(gòu)就可以進(jìn)行壓力加載，這樣不但大大提高了壓裝效率，同時(shí)還提高了整個(gè)壓裝操作的自動(dòng)化程度，另外還避免了半導(dǎo)體閥串在吊裝移動(dòng)過(guò)程中各器件的裝配精度遭到破壞，從而有效保證了壓裝后的精度。同時(shí)，水平放置的半導(dǎo)體閥串高度大大降低，從而使半導(dǎo)體閥串的壓裝穩(wěn)定性大大提高。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明中半導(dǎo)體閥串的壓裝裝置的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖2為半導(dǎo)體閥串的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖3為圖2的剖切圖；

圖4為半導(dǎo)體閥串的壓裝裝置的主視圖；

圖5為半導(dǎo)體閥串中第一散熱器與導(dǎo)軌裝置的配合示意圖；

圖6為圖4中的局部放大圖；

圖7為半導(dǎo)體閥串中第二散熱器與導(dǎo)軌裝置的配合示意圖；

圖8為半導(dǎo)體閥串壓裝集成用導(dǎo)軌裝置中半導(dǎo)體支撐座的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為半導(dǎo)體閥串壓裝集成用導(dǎo)軌裝置中絕緣盤(pán)支撐座的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為半導(dǎo)體閥串壓裝集成用導(dǎo)軌裝置中壓力自適應(yīng)組件支撐座的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1.水平工作臺(tái)；2.機(jī)架；3.壓力自適應(yīng)組件支撐座；4.絕緣盤(pán)支撐座；5.散熱器支撐座；6.半導(dǎo)體支撐座；7.導(dǎo)軌；8.支撐橫梁；9.靜端固定板；10.碟簧；11.絕緣盤(pán)；12.絕緣拉桿；13.動(dòng)端固定板；14.動(dòng)端適配器；15.墊片；16.應(yīng)力錐；17.第二散熱器；18.IGBT；19.第一散熱器；191.接線端子；20.壓力自適應(yīng)錐窩；21.壓力自適應(yīng)錐頭；22.固定螺母；23.防脫件；231.螺桿；232.彈簧；233.鋼球；24.固定螺釘；251.微調(diào)手柄；252.固定座一；253.推桿；254.靜壓板；261.活塞桿；262.壓力傳感器；263.固定座二；264.液壓缸。

具體實(shí)施方式

半導(dǎo)體閥串的壓裝裝置的一個(gè)實(shí)施例如圖1~圖9所示，包括設(shè)置在機(jī)架2上的水平工作臺(tái)1，水平工作臺(tái)1上設(shè)置有用于對(duì)待壓裝的半導(dǎo)體閥串中各器件進(jìn)行導(dǎo)向和支撐的導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在水平工作臺(tái)1上的導(dǎo)軌7以及導(dǎo)向滑動(dòng)裝配在所述導(dǎo)軌7上的用于對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行定位支撐的半導(dǎo)體支撐座6，在該實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體為IGBT18，所述半導(dǎo)體閥串即為IGBT閥串，半導(dǎo)體支撐座6上具有與IGBT18的底部形狀相吻合的半導(dǎo)體支撐面。導(dǎo)軌7上還導(dǎo)向滑動(dòng)裝配有用于支撐半導(dǎo)體閥串中相應(yīng)散熱器的散熱器支撐座5，所述散熱器包括第一散熱器19和第二散熱器17，由于第一散熱器19和第二散熱器17的被支撐的底部外形和大小均相同，所以兩種散熱器的支撐座是相同的，均為散熱器支撐座5，散熱器支撐座5上具有與第一散熱器19和第二散熱器17的底部形狀相吻合的散熱器支撐面。

另外，由于第一散熱器19的底部具有接線端子191，為了方便散熱器支撐座5對(duì)于第一散熱器19的支撐，在散熱器支撐座5上還設(shè)置有用于接線端子191穿過(guò)的穿孔，由于所述接線端子191較長(zhǎng)且散熱器支撐座5的高度較小，接線端子191穿過(guò)所述穿孔后仍然有部分凸出于散熱器支撐座5的底部，因此在導(dǎo)軌7和水平工作臺(tái)1上也開(kāi)設(shè)有對(duì)應(yīng)的接線端子穿孔，以方便第一散熱器19能夠隨散熱器支撐座5沿導(dǎo)軌7滑動(dòng)。第二散熱器17在放置時(shí)其接線端子不會(huì)穿過(guò)散熱器支撐座5，由于具有穿孔的散熱器支撐座5并不影響對(duì)第二散熱器17的支撐，因此兩種散熱器采用相同的支撐座即可。

由于半導(dǎo)體閥串中IGBT18位于相鄰的第一散熱器19和第二散熱器17之間，所以相應(yīng)的，半導(dǎo)體支撐座6位于相鄰的兩個(gè)散熱器支撐座5之間。一般情況下，半導(dǎo)體閥串中待壓裝器件的數(shù)量是比較多的，半導(dǎo)體支撐座6和散熱器支撐座5的個(gè)數(shù)和順序均與待壓裝的半導(dǎo)體閥串中相應(yīng)器件的個(gè)數(shù)和順序一致，即半導(dǎo)體支撐座6和散熱器支撐座5按照對(duì)應(yīng)的數(shù)量和位置關(guān)系設(shè)置在導(dǎo)軌7上，兩端最外側(cè)均為散熱器支撐座5。

根據(jù)半導(dǎo)體閥串的結(jié)構(gòu)，導(dǎo)軌7上于一側(cè)端部的散熱器支撐座5的外側(cè)還導(dǎo)向滑動(dòng)裝配有用于支撐絕緣盤(pán)11的絕緣盤(pán)支撐座4、導(dǎo)軌7上于另一側(cè)端部的散熱器支撐座5的外側(cè)還導(dǎo)向滑動(dòng)裝配有用于支撐壓力自適應(yīng)組件的壓力自適應(yīng)組件支撐座3，絕緣盤(pán)支撐座4上具有與絕緣盤(pán)11的底部形狀相吻合的絕緣盤(pán)支撐面，壓力自適應(yīng)組件支撐座3上具有與壓力自適應(yīng)組件的底部形狀相吻合的壓力自適應(yīng)組件支撐面。所述壓力自適應(yīng)組件包括壓力自適應(yīng)錐窩20和壓力自適應(yīng)錐頭21，壓力自適應(yīng)錐頭21上設(shè)置有錐形凸面，自適應(yīng)錐窩20上設(shè)置有與所述錐形凸面凹凸配合的錐形凹面，由于壓力自適應(yīng)錐窩20和壓力自適應(yīng)錐頭21的被支撐的底部外形和大小均相同，所以兩者的支撐座是相同的，均為壓力自適應(yīng)組件支撐座3，相應(yīng)的，壓力自適應(yīng)組件支撐座3有兩個(gè)。

所述半導(dǎo)體支撐座6、散熱器支撐座5、絕緣盤(pán)支撐座4、壓力自適應(yīng)組件支撐座3與導(dǎo)軌7上設(shè)置有用于防止各支撐座脫出導(dǎo)軌7的防脫結(jié)構(gòu)。導(dǎo)軌7的截面呈矩形，半導(dǎo)體支撐座6、散熱器支撐座5、絕緣盤(pán)支撐座4、壓力自適應(yīng)組件支撐座3上均設(shè)置有與導(dǎo)軌7導(dǎo)向滑動(dòng)配合的滑槽，所述防脫結(jié)構(gòu)包括穿設(shè)在各相應(yīng)支撐座中的防脫件23以及設(shè)置在導(dǎo)軌7側(cè)面的與所述防脫件23配合以防止各支撐座脫出導(dǎo)軌7的防脫槽。如圖5所示，在該實(shí)施例中，所述防脫件23包括與各相應(yīng)支撐座螺紋配合的螺桿231，螺桿231的螺紋段端部連接有彈簧232，彈簧232的另一端連接有鋼球233，所述滑槽為V形滑槽，鋼球233與V形滑槽滑動(dòng)配合以防止各相應(yīng)支撐座脫出導(dǎo)軌7。另外，導(dǎo)軌7是通過(guò)固定螺釘24固定在水平工作臺(tái)1上的，也就是說(shuō)，可以根據(jù)半導(dǎo)體閥串的長(zhǎng)度，選擇合適長(zhǎng)度的導(dǎo)軌7，導(dǎo)軌7可拆卸更換，這樣就使得壓裝裝置的適用范圍更加廣泛。

防脫件23的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不但可以實(shí)現(xiàn)防脫作用，同時(shí)由于彈簧232和鋼球233的存在，在安裝支撐座時(shí)，可以從上往下使鋼球233先與導(dǎo)軌7接觸，繼續(xù)往下施力時(shí)，彈簧232被壓縮，鋼球233縮回，當(dāng)支撐座安裝到導(dǎo)軌7后，鋼球233又被彈出，防止支撐座脫出導(dǎo)軌，這樣就實(shí)現(xiàn)了支撐座的快速安裝和拆卸，從而提高整個(gè)壓裝操作的效率。

各支撐座與導(dǎo)軌7依靠各自的加工精度保證導(dǎo)向滑動(dòng)配合的精度，半導(dǎo)體支撐面、散熱器支撐面、絕緣盤(pán)支撐面以及壓力自適應(yīng)組件支撐面也均靠加工精度來(lái)保證與相應(yīng)的被支撐器件的底部形狀相吻合，半導(dǎo)體支撐面、散熱器支撐面、絕緣盤(pán)支撐面以及壓力自適應(yīng)組件支撐面的高度滿足在IGBT18、第一散熱器19、第二散熱器17、絕緣盤(pán)11以及壓力自適應(yīng)組件放置在相應(yīng)支撐座上后，它們的裝配中心位于同一水平線上，其精度誤差≤1mm，通過(guò)裝配精度的控制，可以提高壓裝集成后模塊的標(biāo)準(zhǔn)化程度。

根據(jù)待壓裝半導(dǎo)體閥串中被支撐器件的大小，在該實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體支撐座6、散熱器支撐座5、絕緣盤(pán)支撐座4以及壓力自適應(yīng)組件支撐座3的厚度分別為26mm、28mm、35mm、23mm，當(dāng)然，各支撐座的形狀和規(guī)格并不局限于本實(shí)施例中的參數(shù)，因?yàn)椴煌陌雽?dǎo)體閥串中待壓裝器件的種類(lèi)、形狀和大小是不同的，因此可以根據(jù)實(shí)際需要，事先將相匹配的支撐座制作好，并準(zhǔn)備足夠的數(shù)量，這樣在使用時(shí)，就可以根據(jù)實(shí)際情況，直接選擇匹配的支撐座，利用彈簧和鋼球的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)支撐座的快速裝配。

半導(dǎo)體閥串的壓裝裝置還包括設(shè)置于水平工作臺(tái)1上于導(dǎo)向方向一端的用于對(duì)半導(dǎo)體閥串的一端施加水平壓裝力的施力機(jī)構(gòu)，該施力機(jī)構(gòu)為液壓機(jī)，所述液壓機(jī)包括液壓缸264和與液壓缸264相連的液壓泵（圖中未示出），所述液壓缸264通過(guò)固定座二263固定在水平工作臺(tái)1上，所述液壓機(jī)還包括用于調(diào)節(jié)液壓泵壓力和控制液壓缸264動(dòng)作的操縱臺(tái)（圖中未示出），液壓缸264的活塞桿261上設(shè)置有與操縱臺(tái)信號(hào)連接的壓力傳感器262。

為了保證半導(dǎo)體閥串在壓裝時(shí)閥串結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定，確保壓裝操作順利進(jìn)行，在水平工作臺(tái)1上于導(dǎo)向方向的另一端設(shè)置有用于在施力機(jī)構(gòu)對(duì)半導(dǎo)體閥串的一端施壓時(shí)、對(duì)半導(dǎo)體閥串的另一端進(jìn)行支撐的支撐機(jī)構(gòu)，該支撐機(jī)構(gòu)包括固定在水平工作臺(tái)1上的固定座一252，固定座一252上設(shè)置有推桿253，推桿253的一端連接靜壓板254、另一端連接有微調(diào)手柄251，通過(guò)旋轉(zhuǎn)微調(diào)手柄251可以調(diào)整靜壓板254的位置，使之與半導(dǎo)體閥串接觸。上述固定座一252和固定座二263的位置均是可調(diào)的，這樣就可以根據(jù)半導(dǎo)體閥串的長(zhǎng)度，將兩個(gè)固定座固定在合適的位置，從而保證靜壓板254能夠起到支撐作用，同時(shí)保證施力機(jī)構(gòu)能夠順利施加壓力。

本發(fā)明中半導(dǎo)體閥串的壓裝方法是結(jié)合上述壓裝裝置實(shí)施的，其具體步驟為：第一步，按照半導(dǎo)體閥串中各器件的圖紙順序，將相應(yīng)的支撐座放置在水平工作臺(tái)的導(dǎo)軌7上。其中兩個(gè)散熱器支撐座5中間是半導(dǎo)體支撐座6，兩端最外側(cè)均是散熱器支撐座5，然后將壓力自適應(yīng)組件支撐座3放在一端的散熱器支撐座5外側(cè)、將絕緣盤(pán)支撐座4放在另一端的散熱器支撐座5外側(cè)。

第二步，將各器件放置在對(duì)應(yīng)的支撐座上。其中，第一散熱器19、第二散熱器17、IGBT18、壓力自適應(yīng)錐窩20、壓力自適應(yīng)錐頭21以及絕緣盤(pán)11分別放置在對(duì)應(yīng)的支撐座上。

第三步，將半導(dǎo)體閥串兩端的端板即動(dòng)端固定板9和靜端固定板13分別通過(guò)各自板體上的固定孔固定在水平工作臺(tái)1上，并將絕緣拉桿12通過(guò)固定螺母22固定在兩端板之間，根據(jù)不同型號(hào)的半導(dǎo)體閥串，動(dòng)端固定板9和靜端固定板13之間的距離是不一樣的，該距離在500~1800mm可調(diào)，固定精度≤5mm。在兩端板固定的過(guò)程中，需將碟簧10套設(shè)在壓力自適應(yīng)錐頭21的圓柱段上，并使該圓柱段穿過(guò)動(dòng)端固定板9，同時(shí)將應(yīng)力錐16裝配在絕緣盤(pán)11內(nèi)，在應(yīng)力錐16的圓柱段上套設(shè)動(dòng)端適配器14，動(dòng)端適配器14具有臺(tái)階面，其小徑段穿過(guò)靜端固定板13，其大徑段與靜端固定板13擋止配合，至此完成了半導(dǎo)體閥串的裝配。

第四步，通過(guò)微調(diào)手柄251旋轉(zhuǎn)推桿253，從而調(diào)節(jié)靜壓板254的位置，使靜壓板254與靜端固定板13接觸，然后開(kāi)啟壓力機(jī)，通過(guò)操縱臺(tái)調(diào)節(jié)液壓泵的壓力，為下一步壓力加載做好準(zhǔn)備。根據(jù)半導(dǎo)體閥串的規(guī)格，使液壓泵的壓力調(diào)節(jié)至合適的檔位，其中壓力可調(diào)檔位有6T、6.5T、7T、7.5T、8T、8.5T，以適用于不同壓力等級(jí)的半導(dǎo)體閥串。另外，操縱臺(tái)上具有數(shù)顯壓力顯示，并能保證數(shù)顯壓力與實(shí)際壓力控制精度誤差不超過(guò)1%。

第五步，啟動(dòng)液壓機(jī)快速行程按鈕，待液壓缸的活塞桿261快接觸動(dòng)端適配器14時(shí)，啟動(dòng)慢速行程按鈕，使活塞桿261慢慢穿過(guò)動(dòng)端適配器14并與應(yīng)力錐16的端部接觸進(jìn)行壓裝，其中壓裝最慢速度≤1mm/S，壓裝最快速度為5mm/S。

第六步，隨著壓力的加載，各器件隨相應(yīng)的支撐座向靜端固定板13一側(cè)移動(dòng)，各器件之間的間隙被填滿，應(yīng)力錐16與動(dòng)端適配器14之間逐漸出現(xiàn)間隙，碟簧10被壓縮，壓力自適應(yīng)錐窩20和壓力自適應(yīng)錐頭21的凹凸配合能夠自適應(yīng)調(diào)整位置使壓力均勻，當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)置值后開(kāi)始保壓，這時(shí)在產(chǎn)生的間隙中塞入合適厚度的墊片15。

第七步，啟動(dòng)液壓機(jī)慢速回程按鈕，待液壓缸的活塞桿261退出動(dòng)端適配器14后，啟動(dòng)快速回程按鈕，使活塞桿261快速回到初始位置，其中泄壓最慢速度≤1mm/S，最快速度5mm/S。

第八步，為了保證壓裝的效果，在動(dòng)端固定板9和靜端固定板13之間固定支撐橫梁8，用于對(duì)各器件進(jìn)行支撐和定位。

由于各器件是在水平方向上依次放置，相比豎直堆積的放置方法，這種放置方法減少了運(yùn)輸路徑，因此勞動(dòng)強(qiáng)度低，同時(shí)裝配效率高。而且裝配后的半導(dǎo)體閥串不需要再進(jìn)行吊裝移動(dòng)，直接利用水平工作臺(tái)上的施力機(jī)構(gòu)就可以進(jìn)行壓力加載，這樣不但將低了勞動(dòng)強(qiáng)度，還大大提高了整個(gè)壓裝操作的自動(dòng)化程度以及壓裝效率，同時(shí)還避免了半導(dǎo)體閥串在吊裝移動(dòng)過(guò)程中各器件的裝配精度遭到破壞，從而有效保證了壓裝后的精度。同時(shí)，各器件水平放置，并利用施力機(jī)構(gòu)水平試壓，整個(gè)模塊的高度大大降低，使模塊在壓裝過(guò)程中的穩(wěn)定性大大提高。

另外，每一個(gè)器件均依靠與之相匹配的支撐座來(lái)保證裝配精度，并最終保證半導(dǎo)體閥串的裝配精度，相比豎直堆積時(shí)上部的器件以下部的器件為基準(zhǔn)進(jìn)行放置而言，本發(fā)明不會(huì)形成公差累積，有效保證了裝配精度，同一型號(hào)的半導(dǎo)體閥串差別小，集成模塊的標(biāo)準(zhǔn)化程度高。

此外，由于不同型號(hào)的半導(dǎo)體閥串其壓裝壓力是不同的，而本發(fā)明中施力機(jī)構(gòu)的加載壓力以及加載速度均可以調(diào)節(jié)，這樣就很好地保證了不同半導(dǎo)體閥串的壓裝壓力可調(diào)，防止壓力過(guò)高時(shí)損壞半導(dǎo)體元件，壓力過(guò)低時(shí)造成均壓不一致，影響電子器件的使用性能。

在半導(dǎo)體閥串壓裝集成用導(dǎo)軌裝置的其他實(shí)施例中：所述半導(dǎo)體也可以是晶閘管，此時(shí)半導(dǎo)體閥串即為晶閘管閥串；施力機(jī)構(gòu)可以不和導(dǎo)向支撐結(jié)構(gòu)固定在同一水平工作臺(tái)上，施力機(jī)構(gòu)也可以直接固定在機(jī)架上；施力機(jī)構(gòu)也可以是氣動(dòng)缸；支撐結(jié)構(gòu)可以不是導(dǎo)軌和支撐座，也可以是固定在水平工作臺(tái)上的支撐導(dǎo)向桿，支撐導(dǎo)向桿與各器件支撐導(dǎo)向配合，在壓裝時(shí)，各器件直接在支撐桿上導(dǎo)向滑動(dòng)；導(dǎo)軌與各支撐座也可以是導(dǎo)向滾動(dòng)配合；導(dǎo)軌和水平工作臺(tái)上可以不設(shè)置供第一散熱器的接線端子穿過(guò)的接線端子穿孔，可以只在散熱器支撐座上設(shè)置穿孔，此時(shí)需要將散熱器支撐座的高度適當(dāng)增加，使接線端子不穿出散熱器支撐座；防脫件中球的材質(zhì)也可以是塑料的；防脫件可以只是一個(gè)螺桿，螺桿的端部直接與滑槽配合以防止相應(yīng)支撐座脫出導(dǎo)軌；防脫結(jié)構(gòu)也可以是設(shè)置在導(dǎo)軌上的燕尾塊結(jié)構(gòu)以及設(shè)置在各支撐座上的燕尾槽；根據(jù)半導(dǎo)體閥串的實(shí)際結(jié)構(gòu)，絕緣盤(pán)支撐座和壓力自適應(yīng)組件支撐座也可以是用于支撐其他相應(yīng)器件的支撐座，或者半導(dǎo)體閥串壓裝集成用導(dǎo)軌裝置根本不包括絕緣盤(pán)支撐座和壓力自適應(yīng)組件支撐座。