本發(fā)明涉及供給裝置及供給方法。

背景技術：

目前，已知有如下的裝置，將被收納在第一收納單元及第二收納單元中的被搬送物取出，對該被搬送物進行處理(例如，參照文獻1：日本特開2014－3195號公報)。

但是，在文獻1記載的現(xiàn)有的裝置中，將框架部件(被搬送物)向規(guī)定的目的位置搬送的搬送單元也進行如下的移載動作，即，將框架部件從第二框架收納單元(第二收納單元)向第一框架收納單元(第一收納單元)移載，故而具有該搬送單元的控制變得復雜的不良情況。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠防止將被搬送物搬送到規(guī)定的目的位置的搬送單元的控制變得復雜的供給裝置及供給方法。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的供給裝置將被搬送物向規(guī)定的位置供給，其中，具有：第一收納單元及第二收納單元，其可收納所述被搬送物；取出單元，其對被收納在所述第一收納單元或者所述第二收納單元的被搬送物進行保持而在規(guī)定的取出方向上移動并將其取出，從而將該被搬送物配置在規(guī)定的交接位置，若在進行由所述取出單元將所述被搬送物從所述第一收納單元取出的動作期間輸入第一信號，則所述第二收納單元位于所述第一收納單元與所述交接位置之間，所述取出單元開始從該第二收納單元取出所述被搬送物的動作。

此時，在本發(fā)明的供給裝置中，優(yōu)選的是，具有分隔單元，在使所述第二收納單元位于所述第一收納單元與所述交接位置之間的狀態(tài)下，將所述第一收納單元與所述取出單元分隔開。

另外，在本發(fā)明的供給裝置中，優(yōu)選的是，在進行由所述取出單元從所述第二收納單元取出所述被搬送物的動作期間輸入第二信號的話，則所述第二收納單元從所述第一收納單元與所述交接位置之間退避，所述取出單元開始從該第一收納單元取出所述被搬送物的動作。

另一方面，本發(fā)明的供給方法，將被搬送物向規(guī)定的位置供給，其中，具有如下的工序：將所述被搬送物收納在第一收納單元及第二收納單元；通過由取出單元保持被收納在所述第一收納單元或所述第二收納單元的被搬送物而在規(guī)定的取出方向上移動并將其取出，從而將該被搬送物配置在規(guī)定的交接位置；若在進行由所述取出單元從所述第一收納單元取出所述被搬送物的動作期間輸入第一信號，則所述第二收納單元位于所述第一收納單元與所述交接位置之間，所述取出單元開始從該第二收納單元取出所述被搬送物的動作。

根據(jù)以上那樣的本發(fā)明，由于使第二收納單元位于第一收納單元與交接位置之間，取出單元開始從該第二收納單元取出被搬送物的動作，故而將被搬送物向規(guī)定的目的位置搬送的搬送單元僅由交接位置與規(guī)定的目的位置之間的往復動作即可，能夠防止其控制變得復雜。

此時，若具有分隔單元，使第一收納相對于取出單元取出被搬送物的位置離開、接近時，能夠防止操作者接觸取出單元。

附圖說明

圖1是本發(fā)明一實施方式的處理裝置的平面圖；

圖2是處理裝置的側(cè)面圖。

具體實施方式

以下，基于附圖對本發(fā)明一實施方式進行說明。

另外，本實施方式中的X軸、Y軸、Z軸為分別正交的關系，X軸及Y軸設為規(guī)定平面內(nèi)的軸，Z軸設為與所述規(guī)定平面正交的軸。另外，在本實施方式中，在從與Y軸平行的圖1中下側(cè)觀察到的情況為基準而表示方向的情況下，“上”為Z軸的圖1中的跟前方向，“下”為其相反方向，“左”為X軸的箭頭標記方向，“右”為其相反方向，“前”為Y軸的箭頭標記方向，“后”為其相反方向。

在圖1、2中，處理裝置10具有：第一收納單元20及第二收納單元30，其可收納作為被搬送物的環(huán)形框架RF；取出單元40，其對被收納在第一收納單元20或第二收納單元30的環(huán)形框架RF進行保持而使其向規(guī)定的取出方向DA移動并取出，從而將該環(huán)形框架RF配置在規(guī)定的交接位置PA；分隔單元50，其在使第二收納單元30位于第一收納單元20與交接位置PA之間的狀態(tài)下，將第一收納單元20與取出單元40分隔開，處理裝置10的整體被基座單元60支承，并且配置在由保持臂71接受配置在交接位置PA的環(huán)形框架RF，將該環(huán)形框架RF向作為規(guī)定的目的位置的操作臺72上搬送的搬送單元即作為驅(qū)動設備的多關節(jié)機械手73附近。另外，由第一、第二收納單元20、30和取出單元40和分隔單元50構(gòu)成本發(fā)明的供給裝置。

第一收納單元20具有可在上下方向上收納環(huán)形框架RF的第一盒21、設置在第一盒21的底面的車輪22。第一盒21具有：窗21A，其形成在第一盒21的下部，能夠確認收納的環(huán)形框架RF的剩余量減少、或者剩余量為變?yōu)榱?；定位銷21C，其形成將第一盒21固定的固定孔21B，可進行該第一盒21的定位。

第二收納單元30具有被支承在基座單元60的上面的作為驅(qū)動設備的線性電機31、被支承于線性電機31的滑塊31A的臂32支承且可在上下方向上收納環(huán)形框架RF的第二盒33，可使收納在該第二盒33內(nèi)的環(huán)形框架RF在相對于取出方向DA正交的左右方向上移動。

取出單元40具有：第一臂41，其從被支承在基座單元60的上面的作為驅(qū)動設備的線性電機41的滑塊41A向前方延伸；第二臂43，其從第一臂42的下面前端部向下方延伸；第三臂44，其被支承在第二臂43的下端，俯視為H形；多個吸附盤45，其被第三臂44支承，通過減壓泵及真空注射器等未圖示的減壓單元可吸附保持。

分隔單元50具有在被支承于基座單元60內(nèi)部的作為驅(qū)動設備的線性電機51的滑塊51A上支承的俯視コ形的側(cè)壁52。

基座單元60具有：第一盒21進入的口61；將進入到口61的第一盒21的定位銷21C插入的定位孔62；檢測第一盒21進入到口61中并可輸出第二信號的光學傳感器及撮像單元等第一盒檢測單元63；具有相對于基座單元60固定第一盒21的輸出軸64A的作為驅(qū)動設備的氣缸64；經(jīng)由窗21A檢測在第一盒21中收納的環(huán)形框架RF的剩余量減少或變?yōu)榱闱铱奢敵龅谝恍盘柕墓鈱W傳感器及撮像單元等剩余量檢測單元65。

在以上的處理裝置10中，對將環(huán)形框架RF向規(guī)定的位置供給并進行處理的順序進行說明。

首先，在經(jīng)由未圖示的操作面板及個人電腦等輸入單元輸入自動運轉(zhuǎn)開始的信號的狀態(tài)下，相對于各部件在初始位置待機的圖1、2中實線所示的處理裝置10，操作者將收納有規(guī)定個數(shù)的環(huán)形框架RF的第一盒21放入口61內(nèi)。于是，定位銷21C被插入定位孔62中，第一盒檢測單元63檢測該定位銷21C并輸出第二信號，將該第二信號向構(gòu)成處理裝置10的各部件輸入。若輸入第二信號，則基座單元60驅(qū)動氣缸64，將輸出軸64A插入固定孔21B而進行第一盒21的定位固定。此時，在第二盒33內(nèi)未收納有環(huán)形框架RF。另外，若輸入第二信號，則取出單元40驅(qū)動線性電機41及未圖示的減壓單元并使吸附盤45升降而吸附保持第一盒21內(nèi)的環(huán)形框架RF，如圖2中雙點劃線所示地，將該環(huán)形框架RF配置在交接位置PA。之后，搬送單元驅(qū)動多關節(jié)機械手73，使保持臂71與環(huán)形框架RF的下面接觸，取出單元40停止未圖示的減壓單元的驅(qū)動的話，則將環(huán)形框架RF交接到保持臂71。接著，搬送單元驅(qū)動多關節(jié)機械手73，將該環(huán)形框架RF配置在操作臺72上。在操作臺72上，未圖示的處理單元對環(huán)形框架RF實施規(guī)定的處理，實施了該規(guī)定的處理的環(huán)形框架RF通過未圖示的搬送單元被向另一工序搬送。

另外，取出單元40利用在將第一個環(huán)形框架RF交接到搬送單元之后直到搬送單元接受環(huán)形框架RF位置位置的空余時間，第二收納單元30及取出單元40進行從第一收納單元20將環(huán)形框架RF移載在第二收納單元30上的移載動作。即，與上述的動作同樣，取出單元40驅(qū)動線性電機41，將環(huán)形框架RF取出到第一盒21的外部之后，第二收納單元30驅(qū)動線性電機31，如圖2中雙點劃線所示地，使第二盒33位于第一盒21與交接位置PA之間。接著，取出單元40驅(qū)動線性電機41并將環(huán)形框架RF搬送到第二盒33的內(nèi)部之后，停止未圖示的減壓單元的驅(qū)動并使第三臂44回歸到初始位置，第二收納單元30驅(qū)動線性電機31，使第二盒33回歸到初始位置。該移載動作直到將規(guī)定個數(shù)的環(huán)形框架RF收納到第二盒33內(nèi)為止反復進行。另外，直到將規(guī)定個數(shù)的環(huán)形框架RF收納到第二盒33內(nèi)為止的期間，搬送單元接受環(huán)形框架RF的情況下，取出單元40將從第一盒21取出的環(huán)形框架RF交接到搬送單元。

在將規(guī)定個數(shù)的環(huán)形框架RF收納在第二盒33內(nèi)之后，進行由取出單元40從第一收納單元20取出環(huán)形框架RF的動作期間，若剩余量檢測單元65檢測到第一盒21內(nèi)的環(huán)形框架RF的剩余量減少或變?yōu)榱?，則該剩余量檢測單元65輸出第一信號，將該第一信號向構(gòu)成處理裝置10的各部件輸入。若輸入第一信號，則第二收納單元30位于第一收納單元20與交接位置PA之間，取出單元40開始從該第二收納單元30取出環(huán)形框架RF的動作，并且未圖示的警告單元驅(qū)動蜂鳴器及旋轉(zhuǎn)燈等警告設備，將環(huán)形框架RF的減少向操作者告知。即，若輸入第一信號，則在第三臂44位于初始位置的狀態(tài)下，第二收納單元30驅(qū)動線性電機31，如圖2中雙點劃線所示地，使第二盒33位于第一盒21與交接位置PA之間，取出單元40與上述同樣，使第二盒33內(nèi)的環(huán)形框架RF位于交接位置PA，將該環(huán)形框架RF交接給搬送單元。

若第二盒33位于第一盒21與交接位置PA之間，則分隔單元50驅(qū)動線性電機51，如圖2中雙點劃線所示地，使側(cè)壁52上升而使該側(cè)壁52的上端與臂32的下面抵接，將取出單元40和第一收納單元20分隔開。另外，基座單元60驅(qū)動氣缸64，將輸出軸64A從固定孔21B拔出而解除第一盒21的定位固定。之后，操作者將第一盒21從口61拔出，向該第一盒21補充新的環(huán)形框架RF并再次進入口61的話，與上述同樣，將第二信號向構(gòu)成處理裝置10的各部件輸入，進行第一盒21的定位固定。另外，若在進行由取出單元40從第二收納單元30取出環(huán)形框架RF的動作期間輸入第二信號，則第二收納單元30從第一收納單元20與交接位置PA之間退避，取出單元40開始從該第一收納單元20取出環(huán)形框架RF的動作，并且未圖示的警告單元停止警告設備的驅(qū)動。即，若輸入第二信號，則在第三臂44位于初始位置的狀態(tài)下，分隔單元50驅(qū)動線性電機51，使側(cè)壁52回歸到初始位置。之后，第二收納單元30驅(qū)動線性電機31，使第二盒33回歸到初始位置，取出單元40與上述同樣，使第一盒21內(nèi)的環(huán)形框架RF位于交接位置PA，將該環(huán)形框架RF交接到搬送單元，之后反復進行上述同樣的動作。

根據(jù)以上的實施方式，使第二盒33位于第一盒21與交接位置PA之間，取出單元40開始從該第二盒33取出環(huán)形框架RF的動作，故而將環(huán)形框架RF搬送到操作臺72上的搬送單元僅由交接位置PA與操作臺72上之間的往復動作即可，能夠防止其控制變得復雜。

以上，由上述記載公開了用于實施本發(fā)明的最佳的構(gòu)成、方法等，但本發(fā)明不限于此。即，本發(fā)明主要對特定的實施方式進行了特別地圖示和說明，但不脫離本發(fā)明的技術思想及目的的范圍，本領域技術人員能夠?qū)ι鲜龅膶嵤┓绞?，在形狀、材質(zhì)、數(shù)量、其他詳細的構(gòu)成上進行各種變形。另外，上述公開的限定了形狀、材質(zhì)等的記載是為了容易理解本發(fā)明而示例性的記載，不限定本發(fā)明，故而除了這些形狀、材質(zhì)等的限定的一部分或者全部的限定之外的部件的基于名稱的記載包含在本發(fā)明中。

例如，第一收納單元20可以設置兩臺以上，也可以不能從基座單元60離開而配置，該情況下，只要向固定在基座單元60的第一收納單元20補充新的環(huán)形框架RF即可。

第一收納單元20也可以為自行進到從口61到補充新的環(huán)形框架RF的補充位置的構(gòu)成。

第二收納單元30也可以設置兩臺以上。

第二收納單元30可以使收納有環(huán)形框架RF的第二盒33在與前后左右上下方向及包含這些成分的方向等的取出方向DA交叉的方向上移動而位于第一收納單元20與交接位置PA之間。

收納在第二收納單元30內(nèi)的環(huán)形框架RF的個數(shù)只要預計如下的時間適當決定即可，既可以為一張也可以為兩張以上，所述時間為，在取出單元40開始從第二收納單元30取出環(huán)形框架RF的動作之后，到操作者將收納有新的環(huán)形框架RF的第一盒21再次放入口61為止所需的時間。

取出單元40的吸附盤45既可以為三個以下，也可以為五個以上。

取出單元40也可以為利用機械夾具及夾具缸等夾具單元、庫侖力、粘接劑、粘著劑、磁力、伯努利吸附、驅(qū)動設備等保持環(huán)形框架RF的構(gòu)成。

取出單元40在進行移載動作時及將環(huán)形框架RF配置在交接位置PA時，一張張地或者多張多張地保持該環(huán)形框架RF。

分隔單元50的側(cè)壁52可以固定在基座單元60，該情況下，無需線性電機51。

也可以代替コ形的側(cè)壁52而設置三個平板狀的側(cè)壁，此時，既可以由一臺驅(qū)動設備使三個側(cè)壁移動，也可以由兩臺以上的驅(qū)動設備使其移動。

側(cè)壁52以與第一收納單元20的右面、左面、后面三個面相對的方式設置，但也可以僅與該三個面中的兩個面或一個面相對而設置，還可以為俯視U形、V形。

分隔單元50將第一收納單元20與取出單元40分隔開是指，操作者(人)的手指不進入被分隔的部件間的程度，也可以為使側(cè)壁52的上端與臂32的下面抵接。

側(cè)壁52既可以為板狀部件，也可以為網(wǎng)狀部件，還可以為形成有多個或單個的間隙及孔的板狀部件，不作任何限定。

分隔單元50也可以不具有第二收納單元30，將第一收納單元20單獨與取出單元40分隔開，也可以不分隔開。

基座單元60代替或并用第一盒檢測單元63及剩余量檢測單元65，如圖1、2中雙點劃線所示地，具有可輸出第一信號的第一按鈕66、可輸出第二信號的第二按鈕67。通過這樣地設置第一按鈕66及第二按鈕67，在操作者通過目視確認了第一盒21內(nèi)的環(huán)形框架RF的剩余量減少或者變?yōu)榱銜r，經(jīng)由第一按鈕66輸出第一信號，或?qū)⒀a充了新的環(huán)形框架RF的第一盒21放入口61之后，能夠經(jīng)由第二按鈕67輸出第二信號。另外，既可以具有第一按鈕66及第二按鈕的至少一方，也可以不具有。

也可以代替或者并用剩余量檢測單元65，在第一盒21的底面及口61的底面設置光學傳感器及重量傳感器、壓力傳感器、限制開關等構(gòu)成的剩余量檢測單元68。

處理單元既可以為將粘接片粘附在環(huán)形框架RF上的裝置、經(jīng)由粘接片將環(huán)形框架RF和半導體晶片一體化的裝置、對被搬送物進行表面處理、涂裝、印字等的裝置、將被搬送物切斷或研削或研磨的裝置、使環(huán)形框架RF移動到其他場所的傳送帶及驅(qū)動設備等搬送設備、收納環(huán)形框架RF的收納單元等，不作任何限定，作為搬送單元搬送環(huán)形框架RF的規(guī)定的目的位置，也可以為對應于這些處理裝置的位置等任何位置。

保持臂71也可以為利用機械夾具及夾具缸等夾具單元、庫侖力、粘接劑、粘著劑、磁力、伯努利吸附、驅(qū)動設備等保持環(huán)形框架RF的構(gòu)成。

另外，本發(fā)明中的被搬送物的材質(zhì)、類別、形狀等不作特別限定。例如，作為被搬送物，例如能夠?qū)⑹称?、樹脂容器、硅半導體晶片及化合物半導體晶片等半導體晶片、電路基板、光盤等信息存儲基板、玻璃板、鋼板、陶器、木板或樹脂板等任意方式的部件及物品等作為對象。

本發(fā)明的單元及工序只要能夠起到對上述單元及工序說明的動作、功能或工序，則不進行限定，而且，不完全限定在上述實施方式所示的簡單的一實施方式的構(gòu)成物及工序。例如，第一收納單元若為可收納被搬送物的構(gòu)成，則對照申請當初的技術常識，只要在其技術范圍內(nèi)，則不進行限定(省略對其他單元及工序的說明)。

另外，上述實施方式中的驅(qū)動設備不僅可采用轉(zhuǎn)動電機、直動電機、線性電機、單軸機械臂、多關節(jié)機械臂等電動設備、氣缸、油壓缸、無桿缸及旋轉(zhuǎn)缸等促動器等，而且還可采用將上述設備直接或間接組合的構(gòu)成(也與實施方式示例的重復)。