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      一種表面等離激元陷波濾波器的制作方法

      文檔序號(hào):11956878閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種表面等離激元陷波濾波器,其特征在于設(shè)有表面等離激元槽型波導(dǎo)和至少兩個(gè)長(zhǎng)方體共振腔,所述至少兩個(gè)長(zhǎng)方體共振腔嵌入表面等離激元槽型波導(dǎo)中,所述表面等離激元槽型波導(dǎo)設(shè)有金屬膜和兩條金屬帶,所述兩條金屬帶設(shè)有金屬膜上表面,兩條金屬帶相互平行,兩條金屬帶的寬度相同,兩條金屬帶的高度相同,表面等離激元槽型波導(dǎo)除金屬膜和兩條金屬帶以外,其它部分是空氣或介質(zhì)。

      2.如權(quán)利要求1所述一種表面等離激元陷波濾波器,其特征在于所述表面等離激元槽型波導(dǎo)的橫截面為開口矩形腔。

      3.如權(quán)利要求1所述一種表面等離激元陷波濾波器,其特征在于所述兩條金屬帶的寬度為0.6μm,兩條金屬帶的高度為0.8μm,兩條金屬帶的間距為0.5μm。

      4.如權(quán)利要求1所述一種表面等離激元陷波濾波器,其特征在于所述金屬帶的材料選自金、銀、鋁中的一種。

      5.如權(quán)利要求1所述一種表面等離激元陷波濾波器,其特征在于所述介質(zhì)的材料選自空氣、玻璃、水的一種。

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