本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

常用的接合焊盤(pán)(bonding pad)應(yīng)用于銅邦定(Cu bonding，或稱為銅接合)時(shí)，其壓應(yīng)力較大，容易使接合焊盤(pán)頂鋁(Top metal)下的層間介質(zhì)發(fā)生開(kāi)裂(top IMD crack)等可靠性問(wèn)題。其原因在于常用的圓孔狀頂層通孔(top VIA)提供的支撐力不足，而層間介質(zhì)多為氧化硅，質(zhì)地較脆，在較大的壓力下會(huì)發(fā)生開(kāi)裂。

因此，希望能夠提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，包括：頂層通孔網(wǎng)格版圖部分以及布置在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分中的網(wǎng)格內(nèi)的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分；其中頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分具有中心對(duì)稱結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分為由在橫向上和縱向上均對(duì)齊布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而且在每個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)或者部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中布置有矩形的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分為由在橫向和縱向中的一個(gè)方向上對(duì)齊布置而在橫向和縱向中的另一個(gè)方向上交錯(cuò)布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而且在每個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)或者部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中布置有矩形的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分為由在橫向上和縱向上均對(duì)齊布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；而且在第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有橫向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀，在第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有橫向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀，其中第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)和第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)交錯(cuò)布置。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分為由在橫向和縱向中的一個(gè)方向上對(duì)齊布置而在橫向和縱向中的另一個(gè)方向上交錯(cuò)布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；而且在第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有橫向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀，在第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有橫向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀，其中第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)和第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)交錯(cuò)布置。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分為由在橫向上和縱向上均對(duì)齊布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；而且在第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有第一斜向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀，在第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有第二斜向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀，其中第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)和第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)鄰接布置。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分為由在橫向和縱向中的一個(gè)方向上對(duì)齊布置而在橫向和縱向中的另一個(gè)方向上交錯(cuò)布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；而且在第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有第一斜向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀，在第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有第二斜向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀，其中第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)和第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)鄰接布置。

優(yōu)選地，邦定導(dǎo)線通過(guò)頂層通孔網(wǎng)格版圖部分鍵合在接合焊墊頂鋁之上，使得頂鋁通過(guò)頂層通孔與下層金屬相連。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的特征尺寸介于0.6um到0.8um之間。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的線寬與頂層通孔網(wǎng)格版圖部分中的網(wǎng)格尺寸之間的比值介于1:5～1:3之間。

在本發(fā)明中，在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的間隙填充具有中心對(duì)稱圖樣的支撐結(jié)構(gòu)，從而可以分散各方向的應(yīng)力；由此，本發(fā)明了提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

附圖說(shuō)明

結(jié)合附圖，并通過(guò)參考下面的詳細(xì)描述，將會(huì)更容易地對(duì)本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中：

圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第一示例。

圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第二示例。

圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第三示例。

圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第四示例。

圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第五示例。

圖6示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第六示例。

需要說(shuō)明的是，附圖用于說(shuō)明本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類(lèi)似的元件標(biāo)有相同或者類(lèi)似的標(biāo)號(hào)。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。

本發(fā)明通過(guò)改變頂層通孔版圖，可以有效改善接合焊墊在銅邦定時(shí)的表現(xiàn)。在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)中，頂層通孔版圖包括：頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100以及布置在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100中的網(wǎng)格內(nèi)的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分；其中頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分具有中心對(duì)稱結(jié)構(gòu)。

例如，邦定導(dǎo)線通過(guò)頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100鍵合在接合焊墊頂鋁之上，使得頂鋁通過(guò)頂層通孔與下層金屬相連。優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100的特征尺寸介于0.6um到0.8um之間。優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100的特征尺寸與頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分的特征尺寸相同。

而且，優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100與頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分的形成工藝采用同一張掩膜版。

優(yōu)選地，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100的線寬與頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100中的網(wǎng)格尺寸之間的比值介于1:5～1:3之間，例如比值為1:3，當(dāng)然該比值也可以是其它適當(dāng)數(shù)值。

下面將結(jié)合具體附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例的具體示例進(jìn)行詳細(xì)描述。

<第一示例>

圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第一示例。

具體地，如圖1所示，在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第一示例中，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100為由在橫向上和縱向上均對(duì)齊布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而且在每個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)或者部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中布置有矩形的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分200。

在本發(fā)明中，在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的間隙填充具有中心對(duì)稱圖樣的支撐結(jié)構(gòu)，從而可以分散各方向的應(yīng)力；由此，本發(fā)明了提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

<第二示例>

圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第二示例。

具體地，如圖2所示，在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第二示例中，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100為由在橫向和縱向中的一個(gè)方向上對(duì)齊布置而在橫向和縱向中的另一個(gè)方向上交錯(cuò)布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而且在每個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)或者部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中布置有矩形的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖部分200。

在本發(fā)明中，在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的間隙填充具有中心對(duì)稱圖樣的支撐結(jié)構(gòu)，從而可以分散各方向的應(yīng)力；由此，本發(fā)明了提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

<第三示例>

圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第三示例。

具體地，如圖3所示，在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第三示例中，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100為由在橫向上和縱向上均對(duì)齊布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；而且在第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有橫向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀10，在第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有橫向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀20，其中第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)和第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)交錯(cuò)布置。

在本發(fā)明中，在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的間隙填充具有中心對(duì)稱圖樣的支撐結(jié)構(gòu)，從而可以分散各方向的應(yīng)力；由此，本發(fā)明了提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

<第四示例>

圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第四示例。

具體地，如圖4所示，在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第四示例中，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100為由在橫向和縱向中的一個(gè)方向上對(duì)齊布置而在橫向和縱向中的另一個(gè)方向上交錯(cuò)布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；而且在第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有橫向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀10，在第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有橫向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀20，其中第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)和第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)交錯(cuò)布置。

在本發(fā)明中，在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的間隙填充具有中心對(duì)稱圖樣的支撐結(jié)構(gòu)，從而可以分散各方向的應(yīng)力；由此，本發(fā)明了提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

<第五示例>

圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第五示例。

具體地，如圖5所示，在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第五示例中，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100為由在橫向上和縱向上均對(duì)齊布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；而且在第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有第一斜向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀30，在第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有第二斜向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀40，其中第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)和第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)鄰接布置。

在本發(fā)明中，在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的間隙填充具有中心對(duì)稱圖樣的支撐結(jié)構(gòu)，從而可以分散各方向的應(yīng)力；由此，本發(fā)明了提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

<第六示例>

圖6示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第六示例。

具體地，如圖6所示，在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的第六示例中，頂層通孔網(wǎng)格版圖部分100為由在橫向和縱向中的一個(gè)方向上對(duì)齊布置而在橫向和縱向中的另一個(gè)方向上交錯(cuò)布置的多個(gè)網(wǎng)格結(jié)構(gòu)形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；而且在第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有第一斜向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀30，在第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)中形成有第二斜向延伸的頂層通孔支撐結(jié)構(gòu)版圖形狀40，其中第一部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)和第二部分網(wǎng)格結(jié)構(gòu)鄰接布置。

在本發(fā)明中，在頂層通孔網(wǎng)格版圖部分的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的間隙填充具有中心對(duì)稱圖樣的支撐結(jié)構(gòu)，從而可以分散各方向的應(yīng)力；由此，本發(fā)明了提供一種能夠提供足夠支撐力的可用于銅邦定的接合焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。

此外，需要說(shuō)明的是，除非特別說(shuō)明或者指出，否則說(shuō)明書(shū)中的術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說(shuō)明書(shū)中的各個(gè)組件、元素、步驟等，而不是用于表示各個(gè)組件、元素、步驟之間的邏輯關(guān)系或者順序關(guān)系等。

可以理解的是，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然而上述實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。對(duì)于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。

而且還應(yīng)該理解的是，本發(fā)明并不限于此處描述的特定的方法、化合物、材料、制造技術(shù)、用法和應(yīng)用，它們可以變化。還應(yīng)該理解的是，此處描述的術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)描述特定實(shí)施例，而不是用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。必須注意的是，此處的以及所附權(quán)利要求中使用的單數(shù)形式“一個(gè)”、“一種”以及“該”包括復(fù)數(shù)基準(zhǔn)，除非上下文明確表示相反意思。因此，例如，對(duì)“一個(gè)元素”的引述意味著對(duì)一個(gè)或多個(gè)元素的引述，并且包括本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的它的等價(jià)物。類(lèi)似地，作為另一示例，對(duì)“一個(gè)步驟”或“一個(gè)裝置”的引述意味著對(duì)一個(gè)或多個(gè)步驟或裝置的引述，并且可能包括次級(jí)步驟以及次級(jí)裝置。應(yīng)該以最廣義的含義來(lái)理解使用的所有連詞。因此，詞語(yǔ)“或”應(yīng)該被理解為具有邏輯“或”的定義，而不是邏輯“異或”的定義，除非上下文明確表示相反意思。此處描述的結(jié)構(gòu)將被理解為還引述該結(jié)構(gòu)的功能等效物?？杀唤忉尀榻频恼Z(yǔ)言應(yīng)該被那樣理解，除非上下文明確表示相反意思。