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      一種砷化銦基II類超晶格結構及制備方法與流程

      文檔序號:11136667閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種砷化銦基II類超晶格結構,其結構自下而上依次為InAs層(1)、GaAs層(2)、GaAsxSb1-x層(3)和GaAs層(4),其特征在于:

      所述的InAs層(1)的厚度為2.1nm-10.5nm;

      所述的GaAs層(2)的厚度為0.0nm-0.15nm;

      所述的GaAsxSb1-x層(3)的厚度為2.1nm-3.6nm,組分x為0.01-0.09;

      所述的GaAs層(4)的厚度為0.0nm-0.15nm。

      2.一種制備如權利要求1所述的一種砷化銦基II類超晶格結構的方法,其特征在于包括以下步驟::

      1)將In爐和Ga爐調至所需生長溫度;

      2)將InAs襯底裝入分子束外延真空系統(tǒng);

      3)將InAs襯底溫度升至InAs/GaSb II類超晶格生長溫度;

      4)將As閥和Sb閥開至II類超晶格生長所用閥位;

      5)采用分子束外延方法在InAs襯底上依次外延InAs層(1)、GaAs層(2)、GaAsxSb1-x層(3)和GaAs層(4)。

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