本發(fā)明涉及半導(dǎo)體整流器件技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種整流二極管。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體整流二極管是一種應(yīng)用非常普遍的電子器件。整流二極管用于將交流電轉(zhuǎn)變?yōu)橹绷麟姷陌雽?dǎo)體器件。二極管最重要的特性就是單方向?qū)щ娦?。在電路中,電流只能從二極管的正極流入,負(fù)極流出。通常它包含一個(gè)PN結(jié),有正極和負(fù)極兩個(gè)端子。P區(qū)的載流子是空穴,N區(qū)的載流子是電子,在P區(qū)和N區(qū)間形成一定的位壘。外加電壓使P區(qū)相對(duì)N區(qū)為正的電壓時(shí),位壘降低,位壘兩側(cè)附近產(chǎn)生儲(chǔ)存載流子,能通過(guò)大電流,具有低的電壓降,稱為正向?qū)顟B(tài)。若加相反的電壓,使位壘增加,可承受高的反向電壓,流過(guò)很小的反向漏電流,稱為反向阻斷狀態(tài)。整流二極管具有明顯的單向?qū)щ娦浴U鞫O管可用半導(dǎo)體鍺或硅等材料制造。硅整流二極管的擊穿電壓高,反向漏電流小,高溫性能良好。通常高壓大功率整流二極管都用高純單晶硅制造。
現(xiàn)有技術(shù)整流二極管通常從芯片的正背兩面引出電極,使得二極管產(chǎn)品厚度大,電路連接工藝復(fù)雜,不利于現(xiàn)在日益增強(qiáng)的器件小型化需求。中國(guó)專(zhuān)利ZL201020522061.1公開(kāi)了一種引出電極位于芯片同一面的整流二極管,降低了整流二極管厚度,但是形成PN結(jié)的截面面積明顯減小,影響二極管的電學(xué)性能。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體整流二極管,二極管芯片厚度減小,利于器件的小型化。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)手段:
一種半導(dǎo)體整流二極管,包括:芯片、N區(qū)電極、N區(qū)引線、P區(qū)電極和P區(qū)引線,所述芯片包括:N區(qū)半導(dǎo)體層、P區(qū)半導(dǎo)體層,以及N區(qū)半導(dǎo)體層與P區(qū)半導(dǎo)體層之間形成的PN結(jié),所述N區(qū)電極一側(cè)形成在N區(qū)半導(dǎo)體層上,另一側(cè)連接N區(qū)引線,所述P區(qū)電極一側(cè)形成在P區(qū)半導(dǎo)體層上,另一側(cè)連接P區(qū)引線,N區(qū)半導(dǎo)體層包括輕摻雜N區(qū)半導(dǎo)體層與重?fù)诫sN區(qū)半導(dǎo)體層,重?fù)诫sN區(qū)半導(dǎo)體層與P區(qū)半導(dǎo)體層在輕摻雜N區(qū)半導(dǎo)體層同側(cè)摻雜擴(kuò)散形成,N區(qū)電極形成在重?fù)诫sN區(qū)半導(dǎo)體層上,PN結(jié)形成在輕摻雜N區(qū)半導(dǎo)體層與P區(qū)半導(dǎo)體層之間。
優(yōu)選的,所述P區(qū)半導(dǎo)體層包括輕摻雜P區(qū)半導(dǎo)體層與重?fù)诫sP區(qū)半導(dǎo)體層,P區(qū)電極形成在重?fù)诫sP區(qū)半導(dǎo)體層上。
優(yōu)選的,所述芯片為單晶硅芯片。
優(yōu)選的,單晶硅芯片形成過(guò)程包括:選取N型單晶硅片作為輕摻雜N半導(dǎo)體層,在N型單晶硅片一側(cè)一部分?jǐn)U散N型雜質(zhì),形成重?fù)诫sN區(qū)半導(dǎo)體層,在N型單晶硅片同側(cè)另一部分?jǐn)U散P型雜質(zhì),形成P區(qū)半導(dǎo)體層。
優(yōu)選的,所述N型雜質(zhì)為5價(jià)元素,所述P型雜質(zhì)為3價(jià)元素。
優(yōu)選的,所述N型雜質(zhì)為磷,所述P型雜質(zhì)為硼。
優(yōu)選的,所述重?fù)诫sN區(qū)電極與P區(qū)電極之間形成絕緣保護(hù)層。
優(yōu)選的,所述N區(qū)引線和P區(qū)引線為銅線。
優(yōu)選的,在所述芯片的未形成N區(qū)電極以及P區(qū)電極的一側(cè)直接形成散熱裝置。
優(yōu)選的,所述N區(qū)電極以及P區(qū)電極包括金屬鎳層,金屬鎳層形成過(guò)程為先形成一層鎳硅合金,再形成一層金屬鎳。
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
本發(fā)明整流二極管N區(qū)電極以及P區(qū)電極在芯片的同側(cè),有效減小了二極管的厚度,有利于形成小型化的二極管器件,同時(shí)簡(jiǎn)化了二極管電路制備工藝過(guò)程,并且PN結(jié)的截面面積沒(méi)有明顯減小,保持了二極管的電學(xué)性能。
附圖說(shuō)明
圖1為本發(fā)明實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本發(fā)明實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本發(fā)明實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本發(fā)明實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖以及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步介紹,以下實(shí)施例僅限于對(duì)本發(fā)明進(jìn)行解釋?zhuān)⒉粚?duì)發(fā)明進(jìn)行任何限定作用。
實(shí)施例1
見(jiàn)圖1所示,一種半導(dǎo)體整流二極管,包括:芯片1、N區(qū)電極21、N區(qū)引線31、P區(qū)電極22和P區(qū)引線32,所述芯片1包括:N區(qū)半導(dǎo)體層11、P區(qū)半導(dǎo)體層12,以及N區(qū)半導(dǎo)體層11與P區(qū)半導(dǎo)體層12之間形成的PN結(jié),所述N區(qū)電極21一側(cè)形成在N區(qū)半導(dǎo)體層11上,另一側(cè)連接N區(qū)引線31,所述P區(qū)電極22一側(cè)形成在P區(qū)半導(dǎo)體層12上,另一側(cè)連接P區(qū)引線32,N區(qū)半導(dǎo)體層11包括輕摻雜N區(qū)111半導(dǎo)體層與重?fù)诫sN區(qū)半導(dǎo)體層112,重?fù)诫sN區(qū)半導(dǎo)體層112與P區(qū)半導(dǎo)體層12在輕摻雜N區(qū)半導(dǎo)體層111同側(cè)摻雜擴(kuò)散形成,N區(qū)電極21形成在重?fù)诫sN區(qū)半導(dǎo)體層112上,PN結(jié)形成在輕摻雜N區(qū)半導(dǎo)體層111與P區(qū)半導(dǎo)體層12之間,N區(qū)電極21與P區(qū)電極22之間形成二氧化硅絕緣保護(hù)層23,防止N區(qū)電極21與P區(qū)電極22之間形成短路漏電流,增加抗壓能力。
本實(shí)施例,芯片1為單晶硅芯片,選取N型單晶硅片作為輕摻雜N半導(dǎo)體層111,在N型單晶硅片一側(cè)一部分?jǐn)U散磷元素,形成重?fù)诫sN區(qū)半導(dǎo)體層112,在N型單晶硅片同側(cè)另一部分?jǐn)U散硼元素,形成P區(qū)半導(dǎo)體層12。N區(qū)引線31和P區(qū)引線32為銅線,銅線作為引線焊接牢固,并且成本低。N區(qū)電極21以及P區(qū)電極22包括金屬鎳層,金屬鎳層形成過(guò)程為先形成一層鎳硅合金,再形成一層金屬鎳,與硅片緊密結(jié)合,形成良好歐姆接觸。
實(shí)施例2
見(jiàn)圖2所示,在本實(shí)施例中,P區(qū)半導(dǎo)體層12經(jīng)過(guò)兩次摻雜擴(kuò)散,形成輕摻雜P區(qū)半導(dǎo)體層121與重?fù)诫sP區(qū)半導(dǎo)體層122,P區(qū)電極22形成在重?fù)诫sP區(qū)半導(dǎo)體層上122上,有效提高P區(qū)半導(dǎo)體層12的載流子濃度,降低P區(qū)半導(dǎo)體層12與P區(qū)電極22之間歐姆接觸的接觸電阻,提高整流二極管電學(xué)性能。其余部分結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例3
見(jiàn)圖3所示,在本實(shí)施例中,在芯片1的未形成N區(qū)電極21以及P區(qū)電極22的一側(cè),在輕摻雜N半導(dǎo)體層111上依次沉積硅絕緣層41、Ni金屬薄層42然后焊接無(wú)氧銅片43形成散熱裝置4,提高整流二極管的散熱性能,簡(jiǎn)化封裝工藝流程。其余部分結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例4
見(jiàn)圖4所示,在本實(shí)施例中,在芯片1的未形成N區(qū)電極21以及P區(qū)電極22的一側(cè),在輕摻雜N半導(dǎo)體層111上依次沉積硅絕緣層41、Ni金屬薄層42然后焊接無(wú)氧銅片43形成散熱裝置4,提高整流二極管的散熱性能,簡(jiǎn)化封裝工藝流程。其余部分結(jié)構(gòu)與實(shí)施例2相同。