本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓匣。

背景技術(shù)：

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)晶圓的需求越來(lái)越旺盛。一般來(lái)說(shuō)，晶圓匣是在晶圓的制造工序中，于晶圓的切割、烘烤等工藝流程中用來(lái)盛放、運(yùn)送晶圓的裝置。圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓匣結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓匣一般包括第一側(cè)壁12、第二側(cè)壁13和連接桿11，所述第一側(cè)壁12和第二側(cè)壁13分別連接于所述連接桿11相對(duì)的兩側(cè)，所述第一側(cè)壁12與第二側(cè)壁13上橫向?qū)盈B設(shè)置有多條滑槽14，所述第一側(cè)壁12與第二側(cè)壁13的滑槽兩兩對(duì)應(yīng)并用于承載晶圓，當(dāng)一晶圓被放置于晶圓匣中時(shí)，所述晶圓被插入第一側(cè)壁12與第二側(cè)壁13上兩兩對(duì)應(yīng)的滑槽中，所述兩兩對(duì)應(yīng)的滑槽是指使得所述晶圓在同一平面內(nèi)的滑槽。在所述晶圓匣的第一側(cè)壁12和/或第二側(cè)壁13上沿豎直方向還設(shè)置有鋼條15，所述鋼條15可以沿第一側(cè)壁12或第二側(cè)壁13轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)將所述晶圓置于晶圓匣的滑槽之后，翻轉(zhuǎn)鋼條15至晶圓匣內(nèi)部，由于每一滑槽14沿橫向延伸，而鋼條15沿豎直方向，因而翻轉(zhuǎn)鋼條15可以防止晶圓滑落。然而，由于鋼條15易于轉(zhuǎn)動(dòng)，在運(yùn)送或盛裝晶圓的過(guò)程中，容易造成鋼條15損壞或意外旋動(dòng)，或是工作人員忘記翻轉(zhuǎn)鋼條至晶圓匣內(nèi)部，或是提取晶圓匣時(shí)不注意方向性等，這些都容易導(dǎo)致晶圓在晶圓匣中錯(cuò)位滑動(dòng)，甚至從晶圓匣中掉落出來(lái)，從而導(dǎo)致晶圓損壞，嚴(yán)重影響后續(xù)工序的進(jìn)行，使得生產(chǎn)成本大幅度升高，生產(chǎn)效率大大降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種晶圓匣，用以防止晶圓從晶圓匣中滑落，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種晶圓匣，包括兩相對(duì)設(shè)置的側(cè)壁，兩側(cè)壁相對(duì)的內(nèi)側(cè)面分別對(duì)應(yīng)設(shè)置有多條晶圓槽；其特征在于，至少一所述側(cè)壁的邊緣處沿豎直方向設(shè)置有一開(kāi)口，所述開(kāi)口內(nèi)設(shè)置有沿豎直方向滑動(dòng)的限位件，所述限位件上設(shè)置有多個(gè)凸塊，所述凸塊的數(shù)量與所述晶圓槽數(shù)量相等，且相鄰?fù)箟K之間的距離與相鄰晶圓槽之間的距離相等；當(dāng)所述晶圓匣處于裝卸晶圓的第一狀態(tài)時(shí)，所述限位件上相鄰?fù)箟K之間的間隙與晶圓槽對(duì)應(yīng)；當(dāng)所述晶圓匣處于運(yùn)輸晶圓的第二狀態(tài)時(shí)，所述限位件上的凸塊與所述晶圓槽對(duì)應(yīng)。

優(yōu)選的，所述限位件包括第一基板以及位于第一基板上的第二基板，所述凸塊位于所述第二基板上，所述第一基板的兩端各設(shè)置有一缺口，兩固定件分別在兩個(gè)缺口處與所述第二基板連接，所述固定件將所述限位件固定于一所述側(cè)壁上。

優(yōu)選的，所述固定件呈矩形，且兩端各具有一通孔，所述固定件在兩通孔之間的部位與所述第二基板連接，在所述通孔內(nèi)設(shè)置螺絲連接所述固定件與一所述側(cè)壁。

優(yōu)選的，所述缺口的寬度大于所述固定件的寬度。

優(yōu)選的，所述固定件與所述第二基板通過(guò)焊接的方式連接。

優(yōu)選的，相鄰所述凸塊之間的間隙距離不小于所述晶圓的厚度。

優(yōu)選的，所述限位件和所述固定件采用金屬或有機(jī)高分子材料構(gòu)成。

優(yōu)選的，當(dāng)所述晶圓匣處于所述第一狀態(tài)時(shí)，所述限位件的一側(cè)與所述開(kāi)口的邊緣卡合固定。

本發(fā)明在傳統(tǒng)晶圓匣的基礎(chǔ)上增加了限位件，限位件上設(shè)置有一側(cè)壁上的晶圓槽數(shù)量相等的凸塊，由于相鄰?fù)箟K之間的距離與晶圓匣上相鄰晶圓槽之間的距離相等，晶圓匣處于運(yùn)輸晶圓的狀態(tài)時(shí)，所述限位件由于重力作用自然下滑，使得限位件上的每一凸塊位置恰好與晶圓槽的位置對(duì)應(yīng)，從而卡合晶圓，故不需要進(jìn)行鋼條的翻轉(zhuǎn)，就能有效的防止晶圓從晶圓匣中滑落，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓匣結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明具體實(shí)施方式的晶圓匣結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明具體實(shí)施方式的限位件結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明具體實(shí)施方式的固定件結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5A是本發(fā)明具體實(shí)施方式的限位件部位內(nèi)側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5B是本發(fā)明具體實(shí)施方式的限位件部位外側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作詳細(xì)說(shuō)明。

本發(fā)明提供一種晶圓匣，圖2是本發(fā)明具體實(shí)施方式的晶圓匣結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，所述的晶圓匣包括相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)壁22和第二側(cè)壁23，以及用于連接所述第一側(cè)壁22和所述第二側(cè)壁23的連接件21。為了便于工作人員移動(dòng)晶圓匣，一般還在所述晶圓匣上所述連接件21的相對(duì)側(cè)設(shè)置有把手。在所述第一側(cè)壁22與所述第二側(cè)壁23之間形成一容置空間，用于容納晶圓。所述第一側(cè)壁22與第二側(cè)壁23的材料可以為金屬材料，也可以為有機(jī)高分子材料，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇。本發(fā)明對(duì)所述連接件21的形狀并不作限定，可以為連接板或連接桿，只需要將第一側(cè)壁22與第二側(cè)壁23連接為一體即可。所述連接件的數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，可以?xún)H在第一側(cè)壁22和第二側(cè)壁23的一側(cè)設(shè)置，也可以在第一側(cè)壁22和第二側(cè)壁23的兩側(cè)同時(shí)設(shè)置。

所述第一側(cè)壁22和所述第二側(cè)壁23相對(duì)的內(nèi)側(cè)面分別設(shè)置有多條晶圓槽24，所述第一側(cè)壁22與所述第二側(cè)壁23上的晶圓槽24兩兩對(duì)應(yīng)并用于承載晶圓。所述兩兩對(duì)應(yīng)是指，將晶圓置于兩側(cè)壁上的晶圓槽24后，所述晶圓在同一平面內(nèi)。晶圓槽24數(shù)量和深度的設(shè)置屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的技術(shù)手段，在此不再贅述。

為了防止晶圓滑落，如圖2所示，本發(fā)明在所述第一側(cè)壁22和/或所述第二側(cè)壁23的邊緣處沿垂直于晶圓槽24的方向設(shè)置有一開(kāi)口，用于防止晶圓滑落的限位件26安裝于所述開(kāi)口內(nèi)。

圖3是本發(fā)明限位件26的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，所述的限位件26呈矩形結(jié)構(gòu)，其上表面設(shè)置有多個(gè)凸塊37，相鄰所述凸塊37之間的距離與第一側(cè)壁22或第二側(cè)壁23上相鄰晶圓槽24之間的距離相等。相鄰所述凸塊37之間的距離優(yōu)選為0.4cm。為了便于承載晶圓，相鄰所述凸塊37之間的間隙距離不小于所述晶圓的厚度。所述凸塊37的高度可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，優(yōu)選為0.8cm。當(dāng)所述晶圓匣處于裝卸晶圓的第一狀態(tài)時(shí)，所述限位件26上相鄰?fù)箟K37之間的間隙與所述晶圓槽24的位置對(duì)應(yīng)；當(dāng)所述晶圓匣處于運(yùn)輸晶圓的第二狀態(tài)時(shí)，所述限位件26上的凸塊37與所述晶圓槽的位置對(duì)應(yīng)。因而，在使用本發(fā)明提供的晶圓匣時(shí)，當(dāng)將裝載晶圓的晶圓匣立起從而運(yùn)輸晶圓的過(guò)程中，所述限位件26因重力作用自動(dòng)下滑，所述限位件26上的凸塊恰好對(duì)應(yīng)于晶圓槽的位置，從而有效的卡合住晶圓，防止晶圓的滑落。

圖4是本發(fā)明具體實(shí)施方式的固定件結(jié)構(gòu)示意圖，圖5A是本發(fā)明具體實(shí)施方式的限位件部位內(nèi)側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖，圖5B是本發(fā)明具體實(shí)施方式的限位件部位外側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖。較佳的，為了便于將所述限位件26固定于所述第一側(cè)壁22或第二側(cè)壁23上，如圖4所示，所述限位件26可以包括第一基板381以及位于所述第一基板381上的第二基板382，所述凸塊37位于所述第二基板382上，在所述第一基板381上設(shè)置有缺口39，所述缺口39位于第一基板381的兩端部，兩個(gè)固定件40分別在兩個(gè)缺口39處與第二基板382連接，所述連接方式優(yōu)選為焊接。所述固定件40呈矩形結(jié)構(gòu)，其兩端分別設(shè)有一通孔，通過(guò)在所述通孔401內(nèi)設(shè)置螺絲來(lái)連接所述固定件40與第一側(cè)壁22或第二側(cè)壁23。即所述固定件40在其中部與第二基板連接，在其兩端分別與第一側(cè)壁22或第二側(cè)壁23螺接。其中，為了便于固定，所述固定件40的寬度小于所述缺口39的寬度。所述限位件26與所述固定件40的材料可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇，可以為金屬或有機(jī)高分子材料，優(yōu)選為鋼材。

優(yōu)選的，還可以在限位件26的一側(cè)設(shè)置卡合部件，當(dāng)所述晶圓匣處于裝卸晶圓的第一狀態(tài)時(shí)，所述限位件26一側(cè)的卡合部件與所述開(kāi)口的邊緣卡合固定，便于裝載晶圓。

本發(fā)明在傳統(tǒng)晶圓匣的基礎(chǔ)上增加了限位件，限位件上設(shè)置有一側(cè)壁上的晶圓槽數(shù)量相等的凸塊，由于相鄰?fù)箟K之間的距離與晶圓匣上相鄰晶圓槽之間的距離相等，晶圓匣處于運(yùn)輸晶圓的狀態(tài)時(shí)，所述限位件由于重力作用自然下滑，使得限位件上的每一凸塊位置恰好與晶圓槽的位置對(duì)應(yīng)，從而卡合晶圓，故不需要進(jìn)行鋼條的翻轉(zhuǎn)，就能有效的防止晶圓從晶圓匣中滑落，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。