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      顯示器背板的制作方法及具有該顯示器背板的顯示器與流程

      文檔序號:11101555閱讀:989來源:國知局
      顯示器背板的制作方法及具有該顯示器背板的顯示器與制造工藝

      本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種顯示器背板的制作方法及具有該顯示器背板的顯示器。



      背景技術(shù):

      隨著智能手機及平板電腦等移動終端的興起,250ppi(每英寸所擁有的像素數(shù)目)以上的高精細度面板要求不斷增加,使更多的面板廠投入高精細度的LTPS(Low Temperature Poly-silicon,低溫多晶硅)的生產(chǎn)。

      LTPS雖然具有電子遷移率高、響應(yīng)快等優(yōu)點,但由于其制程比較復(fù)雜、生產(chǎn)成本較高,且高電子遷移率也導(dǎo)致耗電量巨大,使LTPS不適合做大尺寸的顯示器,限制了其應(yīng)用。

      因此,也有很多廠商投入了金屬氧化物半導(dǎo)體的研發(fā)工作,目前又以IGZO(indium gallium zinc oxide,銦鎵鋅氧化物)技術(shù)較為成熟。金屬氧化物半導(dǎo)體雖然具有耗電量低的優(yōu)勢,但由于其遷移率較低,用在外圍線路區(qū)會存在開關(guān)TFT的速度慢導(dǎo)致的驅(qū)動能力不足的問題。

      因此,有必要研究一種既具有較低的耗電量,又具有較快響應(yīng)速度的顯示器。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      有鑒于此,本發(fā)明提供了一種耗電量低且響應(yīng)速度快的顯示器背板的制作方法及具有該顯示器背板的顯示器。

      本發(fā)明提供的顯示器背板的制作方法,包括如下步驟:利用金屬氧化物半導(dǎo)體工藝制作帶顯示區(qū)像素電路的第一基板;利用柔性低溫多晶硅工藝在一第二基板上制造帶柔性襯底的驅(qū)動電路,并將制造好的帶柔性襯底的驅(qū)動電路由第二基板上剝離,形成柔性電路板;將柔性電路板邦定至第一基板,使柔性電路板上的驅(qū)動電路與第一基板上的像素電路相連。進一步地,利用金屬氧化物半導(dǎo)體工藝制作帶顯示區(qū)像素電路的第一基板的步驟包括:提供第一基板;利用金屬氧化物半導(dǎo)體工藝在對應(yīng)顯示器顯示區(qū)的位置制作像素電路。

      進一步地,所述金屬氧化物半導(dǎo)體工藝為銦鎵鋅氧化物工藝。

      進一步地,金屬氧化物半導(dǎo)體工藝包括:在第一基板上形成柵極層;在柵極層上形成柵極絕緣層;在柵極絕緣層上形成氧化物半導(dǎo)體層;在氧化物半導(dǎo)體層上形成刻蝕阻擋層;在刻蝕阻擋層上形成源極和漏極;以及在源極和漏極上形成鈍化層。

      進一步地,所述第一基板為玻璃基板。

      進一步地,在利用柔性低溫多晶硅工藝在第二基板上制造帶柔性襯底的驅(qū)動電路的步驟中,第二基板上同時制造有多個帶柔性襯底的驅(qū)動電路。

      進一步地,所述第二基板為玻璃基板。

      進一步地,柔性低溫多晶硅工藝包括:在第二基板上形成聚酰亞胺層;在聚酰亞胺層上形成阻擋層;在阻擋層上形成多晶硅層;圖形化多晶硅層而形成有源層;在有源層上形成柵極層;在柵極層上形成柵極絕緣層;在柵極絕緣層上形成層間絕緣層;在層間絕緣層上形成金屬層,并圖形化金屬層而形成金屬導(dǎo)線層;在金屬導(dǎo)線層上形成鈍化層;在鈍化層上形成平坦化層;以及在平坦化層上形成陽極層。

      進一步地,將柔性電路板邦定至第一基板,使柔性電路板上的驅(qū)動電路與第一基板上的像素電路相連的步驟包括:

      將柔性電路板放置于第一基板的顯示區(qū)外圍;調(diào)整柔性電路板的位置,使柔性電路板的引線與像素電路的引線對準;將柔性電路板的引線邦定至像素電路的引線。

      本發(fā)明提供的顯示器包括利用上述方法制造出的顯示器背板。

      本發(fā)明將顯示區(qū)的像素電路和外圍的驅(qū)動電路分別制作,利用金屬氧化物半導(dǎo)體工藝制作顯示區(qū)內(nèi)的像素電路,利用柔性低溫多晶硅工藝制作顯示區(qū)外圍的驅(qū)動電路,從而使顯示區(qū)像素電路具有耗電量低的優(yōu)點,使顯示區(qū)外圍的驅(qū)動電路具有響應(yīng)速度快的優(yōu)點,而使本發(fā)明制造出的顯示器兼具響應(yīng)速度快和耗電量低的優(yōu)點;并且,本發(fā)明制造出的顯示器背板集合了低溫多晶硅及金屬氧化物半導(dǎo)體的優(yōu)點,解決了當(dāng)前無法制作大尺寸AMOLED顯示屏的問題;進一步地,顯示區(qū)的像素電路和外圍的驅(qū)動電路可分別批量生產(chǎn),從而提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。

      上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段,而可依照說明書的內(nèi)容予以實施,并且為了讓本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂,以下特舉較佳實施例,并配合附圖,詳細說明如下。

      附圖說明

      圖1所示為本發(fā)明顯示器背板的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2所示為本發(fā)明顯示器背板的制作方法的流程示意圖;

      其中,10-顯示器背板,11-顯示區(qū),12-驅(qū)動電路區(qū),13-掃描線,14-數(shù)據(jù)線,15-像素區(qū),16-像素電路,17-顯示器驅(qū)動電路,18-柵極驅(qū)動電路。

      具體實施方式

      為更進一步闡述本發(fā)明為達成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實施例,對本發(fā)明詳細說明如下。

      本發(fā)明提供的顯示器包括圖1所示的顯示器背板10。如圖1所示,本發(fā)明的顯示器背板10包括顯示區(qū)11(Ative Area,AA區(qū))及位于顯示區(qū)11外圍的驅(qū)動電路區(qū)12。

      顯示區(qū)11大體呈矩形,且顯示區(qū)11內(nèi)設(shè)有沿顯示區(qū)11橫向延伸的若干條掃描線13和沿顯示區(qū)11縱向延伸的若干條數(shù)據(jù)線14,這些掃描線13和數(shù)據(jù)線14相互交叉,劃分出若干像素區(qū)15,這些像素區(qū)15內(nèi)以一一對應(yīng)的方式設(shè)有像素,像素通過設(shè)于其下方的像素電路16驅(qū)動。為了方便顯示,圖1中僅畫出部分掃描線13、數(shù)據(jù)線14和像素區(qū)15。

      驅(qū)動電路區(qū)12內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動電路,該驅(qū)動電路包括顯示器驅(qū)動電路17和柵極驅(qū)動電路18。柵極驅(qū)動電路18設(shè)于顯示區(qū)11的左右兩側(cè),或僅位于顯示區(qū)11的左側(cè)或右側(cè)。顯示器驅(qū)動電路17可設(shè)于顯示區(qū)11的上側(cè)或下側(cè)。在本發(fā)明中,左側(cè)、右側(cè)、上側(cè)、下側(cè)僅是針對圖1所示的方向進行描述,具體地,圖1中的左右方向與掃描線13的延伸方向一致,上下方向與數(shù)據(jù)線14的延伸方向一致。

      如圖2所示,本發(fā)明的顯示器背板10的制作方法主要包括如下步驟:

      步驟S1:利用金屬氧化物半導(dǎo)體(例如IGZO)工藝制作帶顯示區(qū)11像素電路16的第一基板。

      具體地,該步驟可以包括:

      步驟S11:提供一第一基板,該第一基板可以為玻璃基板;

      步驟S12:利用金屬氧化物半導(dǎo)體(例如IGZO)工藝在對應(yīng)顯示器顯示區(qū)11的位置制作像素電路16。

      在本實施例中,采用的金屬氧化物半導(dǎo)體工藝包括:

      在第一基板上形成柵極層;在柵極層上形成柵極絕緣層;在柵極絕緣層上形成氧化物半導(dǎo)體層(即IGZO層);在氧化物半導(dǎo)體層上形成刻蝕阻擋層(Etch stop layer,ESL層);在刻蝕阻擋層上形成源極和漏極;在源極和漏極上形成鈍化層等工藝。

      步驟S2:利用柔性低溫多晶硅(Low Temperature Poly-silicon,LTPS)工藝在一第二基板上制造帶柔性襯底的驅(qū)動電路(包括顯示器驅(qū)動電路17和柵極驅(qū)動電路18),并將制造好的帶柔性襯底的驅(qū)動電路由第二基板上剝離,形成柔性電路板。

      在本步驟中,第二基板為玻璃基板。為了增加生產(chǎn)效率,可在第二基板上同時制造多個帶柔性襯底的驅(qū)動電路。顯示器驅(qū)動電路17和柵極驅(qū)動電路18可以在同一個柔性低溫多晶硅工藝中制作,也可以在兩個不同的柔性低溫多晶硅工藝中制作。

      柔性低溫多晶硅工藝可以包括:

      在第二基板上形成聚酰亞胺層;在聚酰亞胺層上形成阻擋層;在阻擋層上沉積非晶硅層并通過ELA(Excimer Laser Annealing,準分子激光退火)工藝結(jié)晶化,形成多晶硅層;圖形化多晶硅層而形成有源層;在有源層上形成柵極層;在柵極層上形成柵極絕緣層;在柵極絕緣層上形成層間絕緣層;在層間絕緣層和柵極絕緣層上形成接觸孔;在層間絕緣層上形成金屬層(金屬層的一部分穿過接觸孔與有源層的源極和漏極接觸),并圖形化金屬層而形成金屬導(dǎo)線層;在金屬導(dǎo)線層上形成鈍化層;在鈍化層上形成通孔;在鈍化層上形成平坦化層;在平坦化層上形成陽極層;進行OLED蒸鍍及封裝等工藝。

      步驟S3:將柔性電路板邦定至第一基板,使柔性電路板上的驅(qū)動電路與第一基板上的像素電路相連。

      具體地,該步驟包括:

      將柔性電路板放置于第一基板的顯示區(qū)11外圍;

      調(diào)整柔性電路板的位置,使柔性電路板的引線與像素電路的引線對準;

      將柔性電路板的引線邦定至像素電路的引線。

      步驟S4:得到所需的顯示器背板10。

      綜上所述,本發(fā)明將顯示區(qū)的像素電路和外圍的驅(qū)動電路分別制作,利用金屬氧化物半導(dǎo)體工藝制作顯示區(qū)內(nèi)的像素電路,利用柔性低溫多晶硅工藝制作顯示區(qū)外圍的驅(qū)動電路,從而使顯示區(qū)像素電路具有耗電量低的優(yōu)點,使顯示區(qū)外圍的驅(qū)動電路具有響應(yīng)速度快的優(yōu)點,而使本發(fā)明制造出的顯示器兼具響應(yīng)速度快和耗電量低的優(yōu)點;并且,本發(fā)明制造出的顯示器背板集合了低溫多晶硅及金屬氧化物半導(dǎo)體的優(yōu)點,解決了當(dāng)前無法制作大尺寸AMOLED顯示屏的問題;進一步地,顯示區(qū)的像素電路和外圍的驅(qū)動電路可分別批量生產(chǎn),從而提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。

      以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實施例而已,并非對本發(fā)明作任何形式上的限制,雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上,然而并非用以限定本發(fā)明,任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi),當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例,但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。

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