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      固體電解質(zhì)電容器的制作方法

      文檔序號:12787972閱讀:293來源:國知局
      固體電解質(zhì)電容器的制作方法與工藝

      本發(fā)明涉及一種固體電解質(zhì)電容器,尤其涉及一種將導(dǎo)電氧化鋅用作電解質(zhì)的固體電解質(zhì)電容器。



      背景技術(shù):

      以乙二醇或γ-丁內(nèi)酯等低分子量有機溶劑為主要成分并且含有溶解于該有機溶劑內(nèi)的己二酸、癸二酸、硼酸、磷酸或其鹽等電解質(zhì)的電解液通常用作電解質(zhì)電容器的電解質(zhì)。此外,還將使用聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺或其衍生物的導(dǎo)電聚合物,二氧化錳等用作其他種類的電解質(zhì)。

      公開號為4-240710的日本待審專利申請公開了一種涉及固體電解質(zhì)形成方法的技術(shù),其中,所述固體電解質(zhì)臨近閥金屬陽極體內(nèi)形成的介電膜設(shè)置。

      近年來,當電解質(zhì)電容器例如用于車輛時,需要提高該電解質(zhì)電容器可使用的溫度。然而,該電解質(zhì)電容器的電解液或?qū)щ娋酆衔锏扔袡C材料在高溫下會揮發(fā)或分解,從而導(dǎo)致所述電容器的功能下降。

      上述問題可通過將二氧化錳用作電解質(zhì)得到解決。然而,由于二氧化錳的低導(dǎo)電性,這又導(dǎo)致該電容器的等效串聯(lián)電阻(Equivalent Series Resistance,ESR)較高的問題。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      鑒于上述問題,本發(fā)明的目的在于提供一種具有耐熱及低ESR特性的固體電解質(zhì)電容器。

      本發(fā)明固體電解質(zhì)電容器包括:陽極體;介電層,設(shè)置于所述陽極體的表面;以及固體電解質(zhì)層,設(shè)置于所述介電層的表面且由導(dǎo)電率為1S/cm或更高的氧化鋅形成。

      根據(jù)本發(fā)明,可提供一種具有耐熱及低ESR特性的固體電解質(zhì)電容器。

      根據(jù)以下給出的具體描述及附圖,可更加充分地理解本發(fā)明的上述及其他目的、特征和優(yōu)點,所述附圖僅以說明的方式給出,因此不視為對本發(fā)明形成限制。

      附圖說明

      圖1為根據(jù)第一實施方式的固體電解質(zhì)電容器的截面圖;

      圖2為根據(jù)第二實施方式的固體電解質(zhì)電容器的截面圖;

      圖3為實施例1~21的電解質(zhì)、電解質(zhì)導(dǎo)電率、擴散抑制層、容量(120Hz)、容量(100kHz)以及漏電流缺陷百分比表;以及

      圖4為實施例22~42的電解質(zhì)、電解質(zhì)導(dǎo)電率、擴散抑制層、容量(120Hz)、容量(100kHz)及漏電流缺陷百分比表。

      具體實施方式

      〈第一實施方式〉

      以下,參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1為根據(jù)第一實施方式的固體電解質(zhì)電容器的截面圖。如圖1所示,本實施方式的固體電解質(zhì)電容器1包括陽極體11、設(shè)置于陽極體11表面的介電層12、形成于介電層12表面的固體電解質(zhì)層13以及陰極體16。陰極體16包括石墨層14和銀層15,而且該陰極體16用作連接固體電解質(zhì)層13和陰極(未圖示)的陰極引出層。

      陽極體11由閥金屬形成。所述閥金屬可例如為鋁、鉭、鈮、鈦、鋯、鉿、鎢以及含有這些金屬的合金。這些閥金屬材料僅為示例,任何只要能在形成于陽極體11上的所述介電層和導(dǎo)電氧化鋅電解質(zhì)之間產(chǎn)生整流效應(yīng)的材料,均可用于本實施方式的固體電解質(zhì)電容器。

      介電層12例如可通過對由閥金屬形成的陽極體11進行陽極氧化的方式形成。當鋁用于陽極體11時,可通過對陽極體11進行陽極氧化,在陽極體11的表面上形成氧化鋁膜(介電層12)。介電層12的厚度例如為約1nm~2μm。

      固體電解質(zhì)層13形成于介電層12和陰極體16之間。雖然只要能保證導(dǎo)電率、產(chǎn)生整流效應(yīng)且實現(xiàn)容量,則不對固體電解質(zhì)層的厚度作出特別限制,但固體電解質(zhì)層13的厚度可例如為約10nm~500μm。固體電解質(zhì)層13將在下文中詳細描述。

      石墨層14形成于固體電解質(zhì)13的表面。石墨層14例如使用碳膏(例如由碳顆粒、石墨和樹脂形成)形成。石墨層14形成于固體電解質(zhì)層13上,從而使得石墨層14與固體電解質(zhì)層13直接接觸。銀層15形成于石墨層14的表面。銀層15,或稱銀膏層,可例如通過混合銀顆粒和環(huán)氧樹脂的方式形成。石墨層14的厚度例如為約10nm~100μm,銀層15的厚度例如為約1μm~300μm。

      陰極體(陰極引出層)16可僅由石墨層14和銀層15中的一種形成。也就是說,只要固體電解質(zhì)層13和所述陰極(未圖示)可相互電連接,陰極體(陰極引出層)16可具有所希望的結(jié)構(gòu)。

      本實施方式的固體電解質(zhì)電容器1通過將具有一定導(dǎo)電率的氧化鋅用作固體電解質(zhì)層13的方式形成。下文中,對含于本實施方式的固體電解質(zhì)電容器1內(nèi)的固體電解質(zhì)層13進行詳細描述。

      為了實現(xiàn)電荷在介電層12中的蓄積,需要在固體電解質(zhì)電容器1的固體電解質(zhì)層13和介電層12之間產(chǎn)生整流效應(yīng)。雖然氧化鋅(ZnO)是絕緣材料,但是可以通過添加摻雜劑或形成氧缺陷的方式使氧化鋅(ZnO)獲得導(dǎo)電性。雖然只要能提高導(dǎo)電率且產(chǎn)生整流效應(yīng),則不對所述摻雜劑的種類作出限制,但該摻雜劑可例如為第3族元素(如鈧(Sc)或釔(Y)),第4族元素(如鈦(Ti)、鈦(Zr)或鉿(Hf)),第13族元素(如硼(B)、鋁(Al)、鎵(Ga)或銦(In)),第14族元素(如硅(Si)、鍺(Ge)或錫(Sn)),釩(V)或氟(F)。在導(dǎo)電性方面,優(yōu)選使用硼(B)、鋁(Al)或鎵(Ga)。在導(dǎo)電氧化鋅和所述介電層之間產(chǎn)生整流效應(yīng),以及通過使用采用氧缺陷或含有上述摻雜劑的導(dǎo)電率為1S/cm或更高的導(dǎo)電氧化鋅實現(xiàn)電荷蓄積尚屬首次。

      順便提及,通過摻雜劑摻雜形成的導(dǎo)電氧化鋅的耐熱性高于因氧缺陷而獲得導(dǎo)電性的氧化鋅的耐熱性。也就是說,通過摻雜劑摻雜形成的導(dǎo)電氧化鋅為一種具有高導(dǎo)電率及高耐熱性的材料,而且也是一種當將其形成于介電層12上時可在其內(nèi)產(chǎn)生整流效應(yīng)的材料。所述因氧缺陷而獲得導(dǎo)電性的氧化鋅具有高至足以實現(xiàn)本發(fā)明目的的耐熱性。

      此外,為了進一步提高耐熱性,可防止氧進入用于所述電解質(zhì)的導(dǎo)電氧化鋅中。所述導(dǎo)電氧化鋅例如可由成型劑或電鍍層等覆蓋或密封,或者所述石墨層或銀層可含有幾乎不允許氧通過的物質(zhì),或含有捕獲氧的物質(zhì)。

      固體電解質(zhì)層13可例如由濺射法、離子鍍法、氣相沉積法、電鍍法、液相沉積法或?qū)Ψ稚⒅寥芤旱姆勰┻M行粘附等方法形成。當電介質(zhì)層12的形狀例如為蝕刻形成的形狀或粉末燒結(jié)體等具有較大不平整處的形狀時,為了實現(xiàn)容量,要求將所述電解質(zhì)形成至深入介電層12的所述不平整處內(nèi)。在此情況下,固體電解質(zhì)層13優(yōu)選例如由氣相沉積法、電鍍法或液相沉積法等可使該電解質(zhì)深度浸漬所述不平整處的方法。

      固體電解質(zhì)層13可在高溫(如約300℃)或室溫下形成。此外,在形成固體電解質(zhì)層13時,可在介電層12形成后,在加熱陽極體11的同時形成氧化鋅,或者可在氧化鋅形成后實施退火處理,以提高該氧化鋅的導(dǎo)電率。

      固體電解質(zhì)層13既可在空氣中形成,也可在惰性氣體中形成。當在氧化鋅中形成氧缺陷時,優(yōu)選在惰性氣體或微還原氣氛中形成固體電解質(zhì)層13。氬氣、氦氣、氮氣等可用作所述惰性氣體。氫等可用于還原氣氛內(nèi)。此外,固體電解質(zhì)層13形成后,可使用氫氣等對氧化鋅進行還原。舉例而言,氧化鋅形成后,可在氫氣氣氛下處理氧化鋅,從而可在氧化鋅內(nèi)形成氧缺陷。

      在本實施方式中,作為固體電解質(zhì)層13的氧化鋅具有1S/cm或更高的導(dǎo)電率,更優(yōu)選為10S/cm或更高的導(dǎo)電率,更加優(yōu)選為50S/cm或更高的導(dǎo)電率。該導(dǎo)電率可通過控制氧化鋅形成前后的氣氛、時間和溫度進行調(diào)節(jié)?;蛘?,也可通過調(diào)節(jié)所述摻雜劑濃度對所述導(dǎo)電率進行調(diào)節(jié)。在一種替代方案中,通過同時使用上述兩種方案實現(xiàn)所述導(dǎo)電率的調(diào)節(jié)。

      在本實施方式中,作為固體電解質(zhì)層13的氧化鋅可含有0.01%~20%原子百分比的摻雜劑,該摻雜劑包括B、Al和Ga中的至少一種。在此情況下,氧化鋅的導(dǎo)電率可以為5S/cm或更高。該摻雜劑以最終可納入所述氧化鋅固體電解質(zhì)即可。所述摻雜劑可例如在氧化鋅形成前混入,從而在形成時共存,或者也可在氧化鋅形成后擴散并納入。

      此外,在本實施方式中,作為固體電解質(zhì)層13的氧化鋅可含有0.1%~15.0%原子百分比的Al,作為所述摻雜劑。在此情況下,氧化鋅的導(dǎo)電率可以為10S/cm或更高。

      此外,在本實施方式中,作為固體電解質(zhì)層13的氧化鋅可含有0.1%~15.0%原子百分比的Ga,作為所述摻雜劑。在此情況下,氧化鋅的導(dǎo)電率可以為10S/cm或更高。

      此外,在本實施方式中,作為固體電解質(zhì)層13的氧化鋅可通過形成所述氧缺陷而獲得導(dǎo)電性。

      如上所述,本實施方式的固體電解質(zhì)電容器通過將所述固體電解質(zhì)(無機材料)作為電解質(zhì)而形成。因此,與將導(dǎo)電聚合物等有機材料作為電解質(zhì)的情形相比,該固體電解質(zhì)電容器實現(xiàn)了耐熱性的改善。此外,在本實施方式的固體電解質(zhì)電容器中,所述固體電解質(zhì)層由具有1S/cm或更高導(dǎo)電率的氧化鋅形成。因此,與使用具有低導(dǎo)電率的二氧化錳形成所述固體電解質(zhì)層的情形相比,該固體電解質(zhì)電容器可實現(xiàn)等效串聯(lián)電阻(ESR)特性的改善(即更低的ESR特性)。此外,ESR的降低還可使得高頻側(cè)的容量損失更小。

      如上所述,根據(jù)本實施方式中描述的發(fā)明,可提供一種具有耐熱性和低ESR特性的固體電解質(zhì)電容器。

      在本實施方式中,固體電解質(zhì)層13的材料可以為任何材料,只要其能在介電層12上沉積固體電解質(zhì)層13即可。例如,可使用含有所需組成元素的單質(zhì)、氧化物或化合物等?;蛘撸部墒褂闷浠旌衔?。當固體電解質(zhì)層13含有兩種及兩種以上元素時,可使用預(yù)先混入這些元素的材料。

      此外,固體電解質(zhì)層13既可以為單層,也可以為多層。當固體電解質(zhì)層13僅有氧化鋅形成時,該固體電解質(zhì)層13可具有雙層結(jié)構(gòu),其中,內(nèi)側(cè)(介電層12一側(cè))由液相沉積法形成,而固體電解質(zhì)層13的外側(cè)由氣相沉積法或濺射法形成。

      〈第二實施方式〉

      以下,將對本發(fā)明的第二實施方式進行描述。圖2為根據(jù)第二實施方式的固體電解質(zhì)電容器的截面圖。本實施方式的固體電解質(zhì)電容器2與第一實施方式中描述的固體電解質(zhì)電容器1的不同之處在于,介電層12和固體電解質(zhì)層13之間形成有擴散抑制層21。由于第二實施方式的固體電解質(zhì)電容器2的其他組成部分與第一實施方式的固體電解質(zhì)電容器1的其他組成部分類似/相同,因此這些類似/相同組成部分以相同附圖標記標注,且不再重復(fù)描述。

      如圖2所示,本實施方式的固體電解質(zhì)電容器2包括形成于介電層12和固體電解質(zhì)層13之間的擴散抑制層21。擴散抑制層21具有抑制介電層12和固體電解質(zhì)層13之間的相互擴散的功能。擴散抑制層21可例如由硅(Si)、硅酮(含硅化合物)、導(dǎo)電聚合物、二氧化錳或樹脂形成。

      當使用硅、硅酮或樹脂等無導(dǎo)電性的材料作為擴散抑制層21的材料時,擴散抑制層21厚度優(yōu)選盡可能小(例如,1μm或更小)。當擴散抑制層21的厚度大于1μm時,可導(dǎo)致所述固體電解質(zhì)電容器2的容量降低或?qū)е翬SR特性增大。此外,當在高溫下形成固體電解質(zhì)層13時,優(yōu)選使用具有耐熱性的硅、硅酮或二氧化錳作為擴散抑制層21的材料。此外,當將樹脂用于擴散抑制層21時,基于修復(fù)介電層12(氧化膜)的觀點,優(yōu)選使用具有磺基、羧基或羥基的樹脂形成擴散抑制層21。舉例而言,可通過在將介電層12形成于陽極體11的表面之后,反復(fù)浸入含有擴散抑制層21的材料的溶液并干燥的方式,形成擴散抑制層21。

      當將樹脂用作擴散抑制層21的材料時,可使用以下材料:聚乙烯醇、聚乙酸乙烯酯、聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚氨酯、聚丙烯腈、聚丁二烯、聚異戊二烯、聚醚、聚脂、聚乙烯對苯二甲酸酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚酰胺、聚酰亞胺、丁縮醛樹脂、三聚氰胺樹脂、醇酸樹脂、纖維素、硝基纖維素、雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、環(huán)脂族環(huán)氧樹脂、上述材料的改性產(chǎn)物等。這些材料僅為示例,任何只要允許在介電層12的表面形成薄的擴散抑制層21的材料均可使用。當使用粉末燒結(jié)體等要求將擴散抑制層21形成于細孔內(nèi)時,優(yōu)選使用可溶解的材料。此外,上述樹脂可通過在所述介電層上使原始單體或低聚物反應(yīng)的方式獲得。

      在本實施方式的固體電解質(zhì)電容器2中,擴散抑制層21形成于介電層12和固體電解質(zhì)層13之間,以抑制介電層12和固體電解質(zhì)層13之間的擴散。如此,可抑制介電層12和固體電解質(zhì)層13之間鋅、摻雜劑等從所述固體電解質(zhì)向所述介電體的擴散或抑制鉭(Ta)、Al等從該介電體向所述固體電解質(zhì)的擴散,或者抑制在當固體電解質(zhì)電容器2在高溫下使用時,該固體電解質(zhì)電容器2因所述介電體和固體電解質(zhì)之間的擴散而發(fā)生的劣化?!皵U散”在此處定義為表示原子擴散。

      此外,在本實施方式的固體電解質(zhì)電容器2中,導(dǎo)電聚合物或樹脂可用于擴散抑制層21的材料。也就是說,由于擴散抑制層21的厚度小于固體電解質(zhì)層13的厚度,即使當導(dǎo)電聚合物或樹脂用于擴散抑制層21的材料時,其對固體電解質(zhì)電容器的耐熱性也幾乎不具影響。

      [實施例]

      以下將對本發(fā)明的實施例進行描述。

      雖然以下將根據(jù)實施例對本發(fā)明進行具體描述,但是本發(fā)明不限于這些實施例。雖然以下實施例中對具有簡單構(gòu)造的電容器進行了評價,但即使在使用粉末燒結(jié)體、蝕刻箔等的情形中,預(yù)計仍可獲得與以下實施例類似的效果。

      〈實施例1〉

      將鉭板(閥金屬)用于所述固體電解質(zhì)電容器的陽極體。然后,在施加100V電壓的條件下,將該鉭板在磷酸水溶液中電解氧化,以在該鉭板的整個表面上形成厚度為約170nm的介電層(氧化膜層)。之后,利用濺射法,在所述介電層表面形成厚度約1μm的導(dǎo)電氧化鋅膜,作為所述固體電解質(zhì)層。該固體電解質(zhì)層的形成面積為70cm2。然后,再在所述固體電解質(zhì)層上形成石墨層(約1μm)和銀膏層(約10μm),從而獲得實施例1的固體電解質(zhì)電容器。

      使用LCR測試儀測量所制成固體電解質(zhì)電容器的容量。對120Hz下的容量值和100Hz下的容量值進行評價。此外,對所制成的固體電解質(zhì)電容器進一步實施1000個小時的125℃加壓試驗(1.0工作電壓(W.V)),以測定加壓試驗評價完成時該固體電解質(zhì)電容器的缺陷百分比(通過漏電流評價)。在此情況下,將0.1CV(0.1×初始容量×形成電壓)或更大的漏電流值確定為不達標。

      此外,還以與在所述鉭板表面上形成氧化鋅膜類似的方法,在玻璃基板上制成氧化鋅膜。之后,使用三菱化學(xué)分析技術(shù)有限公司(Mitsubishi Chemical AnalytechCo.,Ltd.)制造的Loresta GP MCT-T610測量所制成氧化鋅膜的電阻值,并根據(jù)該電阻值以及該氧化鋅膜的厚度,計算該氧化鋅膜的導(dǎo)電率。結(jié)果示于圖3的表中。

      〈實施例2〉

      制成以摻入0.1%原子百分比的鎵的氧化鋅為固體電解質(zhì)層的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例2的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1類似。

      〈實施例3〉

      制成以摻入0.1%原子百分比的鋁的氧化鋅為固體電解質(zhì)層的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例3的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1類似。

      〈實施例4〉

      制成以摻入3%原子百分比的鎵的氧化鋅為固體電解質(zhì)層的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例4的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1類似。

      〈實施例5〉

      制成以摻入3%原子百分比的鋁的氧化鋅為固體電解質(zhì)層的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例5的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1類似。

      〈實施例6〉

      制成以摻入15%原子百分比的鎵的氧化鋅為固體電解質(zhì)層的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例6的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1類似。

      〈實施例7〉

      制成以摻入15%原子百分比的鋁的氧化鋅為固體電解質(zhì)層的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例7的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1類似。

      〈實施例8~14〉

      制成在介電層和固體電解質(zhì)層之間含有以二氧化錳為材料的擴散抑制層(100nm)的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例8~14的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1~7類似。實施例8~14中的固體電解質(zhì)層分別對應(yīng)于實施例1~7中的固體電解質(zhì)層。

      〈實施例15~21〉

      制成在介電層和固體電解質(zhì)層之間含有以硅酮為材料的擴散抑制層(5nm)的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例15~21的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1~7類似。實施例15~21中的固體電解質(zhì)層分別對應(yīng)于實施例1~7中的固體電解質(zhì)層。

      〈實施例22~28〉

      制成在介電層和固體電解質(zhì)層之間含有以導(dǎo)電聚合物為材料的擴散抑制層(100nm)的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例22~28的固體電解質(zhì)電容器。該導(dǎo)電聚合物通過反復(fù)浸入溶于N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)溶液的聚苯胺并干燥的方式形成。其他步驟與實施例1~7類似。實施例22~28中的固體電解質(zhì)層分別對應(yīng)于實施例1~7中的固體電解質(zhì)層。

      〈實施例29~35〉

      制成在介電層和固體電解質(zhì)層之間含有以聚酯為材料的擴散抑制層(100nm)的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例29~35的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1~7類似。實施例29~35中的固體電解質(zhì)層分別對應(yīng)于實施例1~7中的固體電解質(zhì)層。

      〈實施例36~42〉

      制成在介電層和固體電解質(zhì)層之間含有以磺化聚酯為材料的擴散抑制層(100nm)的固體電解質(zhì)電容器,作為實施例36~42的固體電解質(zhì)電容器。其他步驟與實施例1~7類似。實施例36~42中的固體電解質(zhì)層分別對應(yīng)于實施例1~7中的固體電解質(zhì)層。

      〈評價結(jié)果研究〉

      比較實施例1~7可知,氧化鋅中未摻入摻雜劑的實施例1的電解質(zhì)導(dǎo)電率為8S/cm,氧化鋅中摻入摻雜劑的實施例2~7的電解質(zhì)導(dǎo)電率為11S/cm~562S/cm。由此可見,在作為電解質(zhì)的氧化鋅中摻入摻雜劑(鎵或鋁),可提高電解質(zhì)導(dǎo)電率。特別地,在摻雜劑摻入量為3%原子百分比的實施例4和5中,電解質(zhì)導(dǎo)電率的值很高,分別為562S/cm和545S/cm。

      此外,在100kHz下的容量方面,氧化鋅中未摻入摻雜劑的實施例1的容量為2.6μF,氧化鋅中摻入摻雜劑的實施例2~7的電解質(zhì)導(dǎo)電率為6.7μF~7.4μF。由此可見,在作為電解質(zhì)的氧化鋅中摻入摻雜劑(鎵或鋁),可提高100kHz下的容量。這是因為,由于電解質(zhì)的電阻降低,電荷更加靠近介電層。

      此外,為了驗證擴散抑制層的作用,制成了將二氧化錳用作擴散抑制層材料(實施例8~14)的固體電解質(zhì)電容器,將硅酮用作所述材料(實施例15~21)的固體電解質(zhì)電容器,將導(dǎo)電聚合物用作所述材料(實施例22~28)的固體電解質(zhì)電容器,將聚酯用作所述材料(實施例29~35)的固體電解質(zhì)電容器,以及將磺化聚酯用作所述材料(實施例36~42)的固體電解質(zhì)電容器。與此同時,還制成將氧化鋅用于固體電解質(zhì)層的樣品,將摻有鎵的氧化鋅用于固體電解質(zhì)層的樣品,以及將摻有鋁的氧化鋅用于固體電解質(zhì)層的樣品,以對實施例8~42和實施例1~7進行比較。

      通過比較實施例8~42和實施例1~7可知,與未形成擴散抑制層的情況(實施例1~7)相比,形成擴散抑制層時(實施例8~42)可降低漏電流缺陷百分比。具體而言,未形成擴散抑制層時(實施例1~7)的漏電流缺陷百分比為7%~8%,形成擴散抑制層后(實施例8~42),可實現(xiàn)低的漏電流缺陷百分比1%~5%。特別地,當將硅酮(實施例15~21)及磺化聚酯(實施例36~42)用于擴散抑制層時,漏電流缺陷百分比為1%~2%,這說明獲得了優(yōu)異的特性。

      根據(jù)上述本發(fā)明,容易理解的是,本發(fā)明實施方式可以以多種方式變化。此類變化并不視作脫離了本發(fā)明的精神和范圍,而且對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言為容易理解的所有此類修飾旨在包含于權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。

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