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      頂發(fā)射QLED器件及其制備方法與流程

      文檔序號:12614505閱讀:410來源:國知局
      頂發(fā)射QLED器件及其制備方法與流程

      本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種頂發(fā)射QLED器件及其制備方法。



      背景技術(shù):

      近年來,相對于有機(jī)發(fā)光染料或傳統(tǒng)無機(jī)熒光粉,膠體量子點(diǎn)(QDs)由于具有出色的光化學(xué)特性,如較寬的吸收范圍、高的熒光量子效率、良好的光和化學(xué)穩(wěn)定性、窄的發(fā)射帶寬、發(fā)射波長尺寸可調(diào)、卓越的發(fā)光效率和易加工性等,成為下一代顯示器最有力的競爭者。隨著技術(shù)的發(fā)展和知識的積累,量子點(diǎn)發(fā)光二極管(QLED)的性能得到了迅速的提高,對比有機(jī)發(fā)光二極管(OLED),QLED在節(jié)能性、成本控制上都表現(xiàn)出巨大的優(yōu)勢,顯示出巨大的應(yīng)用潛力。

      QLED按照光的出射方式可分為底發(fā)射型和頂發(fā)射型兩種。頂發(fā)射型的QLED的光是通過透明電極直接由頂端射出的,對比底發(fā)射型器件,具有大開口率、較少光損失、易與不透明基底結(jié)合的優(yōu)點(diǎn),受到了業(yè)界越來越多的關(guān)注。盡管QLED存在著巨大的應(yīng)用前景,但是現(xiàn)有的QLED器件仍然存在著不少問題,包括使用壽命短、量子效率低、高電流密度下效率衰減等。研究人員們試圖通過改進(jìn)QLED器件結(jié)構(gòu)、發(fā)掘更適用的載流子傳輸材料、對量子點(diǎn)表面進(jìn)行修飾等方式來改善這些問題,但這些方法對提高器件壽命、量子效率的效果仍然有限,且制備方法相對復(fù)雜。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的目的在于提供一種頂發(fā)射QLED器件及其制備方法,旨在解決現(xiàn)有技術(shù)制備的QLED器件的使用壽命短、量子效率低、高電流密度下效率衰減、且制備方法相對復(fù)雜的問題。

      本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的,一種頂發(fā)射QLED器件,包括依次設(shè)置的基板、圖案化像素電極、電子傳輸層、量子點(diǎn)發(fā)光層、空穴傳輸層、空穴注入層和陽極,所述電子傳輸層和所述量子點(diǎn)發(fā)光層之間層疊設(shè)置有傳輸中間層,所述圖案化像素電極的像素電極之間設(shè)置有陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層,所述絕緣層穿透所述電子傳輸層與所述傳輸中間層相連,且所述傳輸中間層和所述絕緣層均采用PMMA材料制成;在所述傳輸中間層上、且與所述絕緣層對應(yīng)區(qū)域設(shè)置有用于隔離不同顏色量子點(diǎn)材料的隔離柱。

      相應(yīng)的,一種頂發(fā)射QLED器件的制備方法,包括以下步驟:

      提供基板,在所述基板上制備圖案化像素電極;

      在所述圖案化像素電極上沉積同樣圖案的電子傳輸層,形成含有隔離槽的圖案化結(jié)構(gòu);

      在所述圖案化結(jié)構(gòu)的隔離槽中、以及電子傳輸層上沉積PMMA材料,同時制備具有陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層和設(shè)置在所述電子傳輸層上的傳輸中間層;

      在所述傳輸中間層上、且與所述絕緣層對應(yīng)區(qū)域制備用于形成不同像素區(qū)域的隔離柱;

      在所述傳輸中間層上依次沉積量子點(diǎn)發(fā)光層、空穴傳輸層、空穴注入層和陽極。

      以及,一種頂發(fā)射QLED器件的制備方法,包括以下步驟:

      提供基板,在所述基板上制備圖案化像素電極;

      在所述圖案化像素電極上沉積同樣圖案的電子傳輸層,形成含有隔離槽的圖案化結(jié)構(gòu);

      在所述圖案化結(jié)構(gòu)的隔離槽中、以及電子傳輸層上沉積PMMA材料,經(jīng)離子束刻蝕處理同時制備具有陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層、設(shè)置在所述電子傳輸層上的傳輸中間層、以及設(shè)置在所述傳輸中間層上、且與所述絕緣層所在區(qū)域?qū)?yīng)的隔離柱;

      在所述傳輸中間層上依次沉積量子點(diǎn)發(fā)光層、空穴傳輸層、空穴注入層和陽極。

      本發(fā)明提供的頂發(fā)射QLED器件,在所述電子傳輸層和所述量子點(diǎn)發(fā)光層之間設(shè)置傳輸中間層、同時在所述圖案化像素電極的像素電極之間設(shè)置與所述傳輸中間層相連的陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層,且所述傳輸中間層和所述絕緣層均采用PMMA材料制成。一方面,通過使用PMMA材料作為所述傳輸中間層,可以有效優(yōu)化載流子平衡,提高QLED器件的量子效率,從而獲得高顯示亮度、高分辨率、高量子產(chǎn)率的QLED電致發(fā)光器件。另一方面,所述絕緣層的設(shè)置,可以有效防止像素內(nèi)短路情況的發(fā)生,同時,所述絕緣層能夠與所述隔離柱一起,隔離不同顏色的像素區(qū)域,從而提高QLED器件的顯示效果,并更好地阻止像素內(nèi)電極間短路情況的發(fā)生。

      本發(fā)明提供的頂發(fā)射QLED器件的制備方法,工藝簡單,其中,所述傳輸中間層和所述絕緣層可以一次制備成型,簡化了QLED器件的制備工藝,降低制備成本,可適用于商業(yè)化批量生產(chǎn)。

      附圖說明

      圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的頂發(fā)射QLED器件結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的在所述基板上制備圖案化像素電極后的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的制備光刻膠掩模后的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的利用掩膜板在圖案化像素電極上制備電子傳輸層后的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的在圖案化像素電極上制備電子傳輸層后的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的在圖案化結(jié)構(gòu)的隔離槽中、以及電子傳輸層上沉積PMMA材料后的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的刻蝕出隔離柱后的結(jié)構(gòu)示意圖。

      具體實(shí)施方式

      為了使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白,以下結(jié)合實(shí)施例,對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。

      結(jié)合圖1,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種頂發(fā)射QLED器件,包括依次設(shè)置的基板1、圖案化像素電極2、電子傳輸層3、量子點(diǎn)發(fā)光層5、空穴傳輸層7、空穴注入層8和陽極9,所述電子傳輸層3和所述量子點(diǎn)發(fā)光層5之間層疊設(shè)置有傳輸中間層5,所述圖案化像素電極2的像素電極之間設(shè)置有陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層4,所述絕緣層4穿透所述電子傳輸層3與所述傳輸中間層5相連,且所述傳輸中間層5和所述絕緣層4均采用PMMA材料制成;在所述傳輸中間層5上、且與所述絕緣層4對應(yīng)區(qū)域設(shè)置有用于隔離不同顏色量子點(diǎn)材料的隔離柱。

      本發(fā)明實(shí)施例QLED器件為頂發(fā)射QLED器件,不僅具有較好的發(fā)光效率,而且有利于與所述QLED器件相連的底部驅(qū)動電路或不透明基底集成。

      具體的,所述基板1的選擇沒有明確限制,可采用本領(lǐng)域常規(guī)的基板1材料,包括柔性基板1和硬質(zhì)基板1,如玻璃基板1。

      所述圖案化像素電極2作為頂發(fā)射QLED器件的陰極,采用金屬制成,所述金屬包括但不限于Ni金屬、Al/Ni合金等,所述圖案化像素電極2的厚度為50-150nm。

      所述電子傳輸層3的選擇沒有明確限制,可采用本領(lǐng)域常規(guī)的電子傳輸材料,包括但不限于ZnO,所述電子傳輸層3的厚度為50-150nm。

      所述量子點(diǎn)發(fā)光層5可以采用本領(lǐng)域常規(guī)的量子點(diǎn)材料,包括但不限于CdSe/CdS核殼結(jié)構(gòu)量子點(diǎn)、CdSe/ZnS核殼結(jié)構(gòu)量子;所述量子點(diǎn)發(fā)光層5的厚度為30-60nm。

      本發(fā)明實(shí)施例在所述電子傳輸層3和所述量子點(diǎn)發(fā)光層5之間設(shè)置有傳輸中間層5,所述傳輸中間層5采用PMMA材料制成。所述PMMA材料具有優(yōu)異的電子阻擋作用,從而使得所述傳輸中間層5可以有效降低電子的注入效率,從而平衡載流子的傳輸效率,進(jìn)而提高量子效率。所述傳輸中間層5不易過厚或過薄。優(yōu)選的,所述傳輸中間層5的厚度為5-10nm,具體可為5nm、6nm、7nm、8nm、9nm、10nm。若所述傳輸中間層5的厚度過高,則對電子的注入阻擋效果過于明顯,從而無法實(shí)現(xiàn)載流子的平衡;若所述傳輸中間層5的厚度過薄,則不能充分實(shí)現(xiàn)其效果。

      由于沉積的各功能層可能存在缺陷或孔洞,或存在邊緣放電,且陽極9在同一像素的邊界處可能穿透中間的量子點(diǎn)發(fā)光層5并與陰極(圖案化像素電極2)導(dǎo)通,造成像素內(nèi)短路。為了克服該缺陷,進(jìn)一步的,本發(fā)明實(shí)施例頂發(fā)射QLED器件在設(shè)置所述傳輸中間層5的基礎(chǔ)上,在所述圖案化像素電極2的像素電極之間設(shè)置有陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層4,防止這些像素內(nèi)短路情況的發(fā)生。所述絕緣層4穿透所述電子傳輸層3與所述傳輸中間層5相連,且所述絕緣層4也采用PMMA材料制成,用于解決同一像素間的短路問題。

      本發(fā)明實(shí)施例中,在所述傳輸中間層5上、且與所述絕緣層4對應(yīng)區(qū)域設(shè)置有用于隔離不同顏色量子點(diǎn)材料的隔離柱。優(yōu)選的,所述隔離柱穿透所述陽極9層。該優(yōu)選結(jié)構(gòu)設(shè)置可以更好地防止不同顏色的發(fā)光干擾,從而提高顯示效果。具體優(yōu)選的,所述隔離柱的高度為1-3um。所述隔離柱由負(fù)性光刻膠、聚酰亞胺或PMMA制成。優(yōu)選的,所述隔離柱由PMMA制成,采用PMMA制成的所述隔離柱,與所述絕緣層4、所述絕緣層4對應(yīng)區(qū)域的傳輸中間層5一起形成整體隔離體系,整體均勻的分隔不同顏色的像素區(qū)域,并防止同一像素或相鄰像素間發(fā)生短路問題,從而為頂發(fā)射QLED器件的發(fā)光均勻性和穩(wěn)定性提供保障。

      所述空穴傳輸層7的選擇沒有明確限制,可采用本領(lǐng)域常規(guī)的空穴傳輸材料,包括但不限于PVK、Poly-TPD、TFB,所述空穴傳輸層7的厚度為30-50nm。

      所述空穴注入層8可采用本領(lǐng)域常規(guī)的空穴注入材料制備,包括但不限于PEDOT:PSS,所述空穴注入層8的厚度30-40nm。

      所述陽極9采用金屬材料制成,包括但不限于Ag、Al。

      進(jìn)一步的,為了緩解內(nèi)應(yīng)力、隔絕水氧,在所述陽極9表面依次設(shè)置的緩沖層11。所述緩沖層11可采用MoO3制成,厚度為100-200nm。進(jìn)一步的,在所述緩沖層11上設(shè)置有玻璃層12。

      本發(fā)明實(shí)施例提供的頂發(fā)射QLED器件,在所述電子傳輸層和所述量子點(diǎn)發(fā)光層之間設(shè)置傳輸中間層、同時在所述圖案化像素電極的像素電極之間設(shè)置與所述傳輸中間層相連的陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層,且所述傳輸中間層和所述絕緣層均采用PMMA材料制成。一方面,通過使用PMMA材料作為所述傳輸中間層的共同作用,可以有效優(yōu)化載流子平衡,提高QLED器件的量子效率,從而獲得高顯示亮度、高分辨率、高量子產(chǎn)率的QLED電致發(fā)光器件。另一方面,所述絕緣層的設(shè)置,可以有效防止像素內(nèi)短路情況的發(fā)生,同時,所述絕緣層能夠與所述隔離柱一起,隔離不同顏色的像素區(qū)域,從而提高QLED器件的顯示效果,并更好地阻止像素內(nèi)電極間短路情況的發(fā)生。

      本發(fā)明實(shí)施例提供的頂發(fā)射QLED器件可以通過下述方法制備獲得。

      相應(yīng)的,結(jié)合圖1-5,本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種頂發(fā)射QLED器件的制備方法,包括以下步驟:

      S01.提供基板1,在所述基板1上制備圖案化像素電極2;

      S02.在所述圖案化像素電極2上沉積同樣圖案的電子傳輸層3,形成含有隔離槽的圖案化結(jié)構(gòu);

      S03.在所述圖案化結(jié)構(gòu)的隔離槽中、以及電子傳輸層3上沉積PMMA材料,同時制備具有陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層4和設(shè)置在所述電子傳輸層3上的傳輸中間層5;

      S04.在所述傳輸中間層5上、且與所述絕緣層4對應(yīng)區(qū)域制備用于形成不同像素區(qū)域的隔離柱;

      S05.在所述傳輸中間層5上依次沉積量子點(diǎn)發(fā)光層5、空穴傳輸層7、空穴注入層8和陽極9。

      具體的,上述步驟S01中,如圖2所示,所述基板1的選擇沒有限制,將所述基板1進(jìn)行清潔處理,以提高其附著性能。具體的,清洗方法可為,將所述基板1先用丙酮、乙醇清洗,然后用去離子水超聲清洗3次,每次5-15分鐘,烘干后用氮?dú)獯等ケ砻鏆埩纛w粒。

      在所述基板1上制備圖案化像素電極2的方法可為:利用掩模板在所述基板1上蒸鍍金屬電極,蒸鍍速度為0.1-0.3nm/s。

      上述步驟S02中,優(yōu)選的,可像制作掩膜,然后在沉積電子傳輸層3。具體的,在所述圖案化像素電極2上沉積光刻膠(PR),將所述光刻膠曝光顯影,制作圖案與所述圖案化像素電極2互補(bǔ)的光刻膠掩模,制備光刻膠掩模后的結(jié)構(gòu)如圖3所示。然后再沉積與所述圖案化像素電極2具有同樣圖案的電子傳輸層3,得到如圖4所示結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步的,去除所述光刻膠掩膜,得到如圖5所示的含有隔離槽的圖案化結(jié)構(gòu)。其中,沉積所述電子傳輸層3的方法為溶液加工法,包括但不限于噴涂。

      上述步驟S03中,沉積PMMA材料可采用溶液加工法實(shí)現(xiàn),例如采用噴涂實(shí)現(xiàn),當(dāng)然,不限于此。

      上述步驟S04中,在所述傳輸中間層5上、且與所述絕緣層4對應(yīng)區(qū)域制備用于形成不同像素區(qū)域的隔離柱。作為一個優(yōu)選實(shí)施例,在所述傳輸中間層5上沉積負(fù)性光刻膠或聚酰亞胺,經(jīng)光刻蝕處理得到所述隔離柱。作為另一個優(yōu)選實(shí)施例,在所述傳輸中間層5上繼續(xù)沉積PMMA材料,經(jīng)電子束曝光處理得到所述隔離柱。

      上述步驟S05中,在隔離柱與隔離柱之間的子像素區(qū)域間分別噴涂藍(lán)/紅/綠量子點(diǎn)制備量子點(diǎn)發(fā)光層5,在所述量子點(diǎn)發(fā)光層5上依次制備空穴傳輸層7、空穴注入層8和陽極9。所述空穴傳輸層7、所述空穴注入層8采用溶液加工法制備獲得,包括但不限于噴涂;所述陽極9采用蒸鍍制備獲得。

      進(jìn)一步的,在制備完所述陽極9后,優(yōu)選在所述陽極9上蒸鍍緩沖層11,點(diǎn)膠,玻璃蓋板封裝,得到如圖1所示的頂發(fā)射QLED器件。

      以及,結(jié)合圖1、5-7,本發(fā)明實(shí)施例還提供了另一種頂發(fā)射QLED器件的制備方法,包括以下步驟:

      Q01.提供基板1,在所述基板1上制備圖案化像素電極2;

      Q02.在所述圖案化像素電極2上沉積同樣圖案的電子傳輸層3,形成含有隔離槽的圖案化結(jié)構(gòu);

      Q03.在所述圖案化結(jié)構(gòu)的隔離槽中、以及電子傳輸層3上沉積PMMA材料,經(jīng)離子束刻蝕處理同時制備具有陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層4、設(shè)置在所述電子傳輸層3上的傳輸中間層5、以及設(shè)置在所述傳輸中間層5上、且與所述絕緣層4所在區(qū)域?qū)?yīng)的隔離柱;

      Q04.在所述傳輸中間層5上依次沉積量子點(diǎn)發(fā)光層5、空穴傳輸層7、空穴注入層8和陽極9。

      具體的,上述步驟Q01與步驟S01相同。

      上述步驟Q02與步驟S02相同。經(jīng)過步驟Q02處理后的結(jié)構(gòu)如圖5所示。

      上述步驟Q03中,在所述圖案化結(jié)構(gòu)的隔離槽中、以及電子傳輸層3上沉積PMMA材料,得到如圖6所示結(jié)構(gòu)。經(jīng)離子束刻蝕處理后,得到陣列結(jié)構(gòu)的絕緣層4、設(shè)置在所述電子傳輸層3上的傳輸中間層5、以及設(shè)置在所述傳輸中間層5上的隔離柱,其中,所述隔離柱的位置與所述絕緣層4所在區(qū)域?qū)?yīng),由此得到如圖7所示結(jié)構(gòu)。沉積方法為溶液加工法,包括但不限于噴涂。

      上述步驟Q04與步驟S04相同。

      本發(fā)明實(shí)施例提供的頂發(fā)射QLED器件的制備方法,工藝簡單,其中,所述傳輸中間層和所述絕緣層可以一次制備成型,簡化了QLED器件的制備工藝,降低制備成本,可適用于商業(yè)化批量生產(chǎn)。

      以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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