本發(fā)明屬于光伏設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種金剛線切片的制絨方法。

背景技術(shù)：

目前金剛線切割硅片逐漸替換了砂漿線切割方式，是因?yàn)榻饎偩€成本低，速度快，收益高，清潔污染小。

但是，金剛線切割硅片表面的損傷層少，硅片表面光滑，因此金剛線切割片無(wú)法利用常規(guī)酸制絨工藝獲得優(yōu)質(zhì)均勻的絨面結(jié)構(gòu)，而是需要利用RIE或者M(jìn)CT工藝進(jìn)行制絨。其中，RIE為干法刻蝕技術(shù)的一種，即反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)，需要利用射頻裝置和SF₆氣體，設(shè)備成本高，并且氣體對(duì)環(huán)境造成污染，MCT為濕法刻蝕的一種，即金屬誘導(dǎo)催化技術(shù)，需要利用重金屬離子(例如Ag離子)，從而對(duì)制程引入雜質(zhì)，對(duì)環(huán)境造成污染。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種金剛線切片的制絨方法，能夠避免對(duì)制程引入雜質(zhì)和對(duì)環(huán)境引入污染，且降低制絨成本。

本發(fā)明提供的一種金剛線切片的制絨方法，包括：

向金剛線切片的表面噴射微型顆粒，形成粗糙的表面，為制絨提供反應(yīng)活化點(diǎn)；

在所述金剛線切片的表面利用酸制絨工藝制備絨面結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，在上述金剛線切片的制絨方法中，

所述向金剛線切片的表面噴射微型顆粒為：

將噴射部件固定，移動(dòng)所述金剛線切片，直到所述金剛線切片的全部表面噴射完畢。

優(yōu)選的，在上述金剛線切片的制絨方法中，

所述向金剛線切片的表面噴射微型顆粒為：

以1.8kg至2.2kg的壓縮空氣噴射壓力向所述金剛線切片的表面噴射微型顆粒。

優(yōu)選的，在上述金剛線切片的制絨方法中，

所述向金剛線切片的表面噴射微型顆粒為：

向所述金剛線切片的表面噴射直徑范圍為5μm至20μm的微型顆粒。

優(yōu)選的，在上述金剛線切片的制絨方法中，

所述向金剛線切片的表面噴射微型顆粒為：

向金剛線切片的表面噴射氧化鋁微型顆粒、碳化硅微型顆粒、氧化硅微型顆粒或碳酸鈉微型顆粒。

優(yōu)選的，在上述金剛線切片的制絨方法中，

所述在所述金剛線切片的表面利用酸制絨工藝制備絨面結(jié)構(gòu)包括：

利用氫氟酸硝酸體系對(duì)所述金剛線切片的表面腐蝕，形成腐蝕坑；

利用去離子水清洗殘留的酸液；

堿洗去除多孔硅，水洗清除殘留的堿液；

利用氫氟酸鹽酸體系去除金屬雜質(zhì)和形成表面憎水層；

利用水去除表面殘留酸液，并干燥所述金剛線切片。

優(yōu)選的，在上述金剛線切片的制絨方法中，

所述移動(dòng)金剛線切片為以3.0mm/s至5.0mm/s的速度范圍移動(dòng)所述金剛線切片。

通過(guò)上述描述可知，本發(fā)明提供的上述金剛線切片的制絨方法，由于包括：向金剛線切片的表面噴射微型顆粒，形成粗糙的表面，為制絨提供反應(yīng)活化點(diǎn)；在所述金剛線切片的表面利用酸制絨工藝制備絨面結(jié)構(gòu)，因此能夠避免對(duì)制程引入雜質(zhì)和對(duì)環(huán)境引入污染，且降低制絨成本。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種金剛線切片的制絨方法的示意圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明的核心思想在于提供一種金剛線切片的制絨方法，能夠避免對(duì)制程引入雜質(zhì)和對(duì)環(huán)境引入污染，且降低制絨成本。

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種金剛線切片的制絨方法如圖1所示，圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種金剛線切片的制絨方法的示意圖，該方法包括如下步驟：

S1：向金剛線切片的表面噴射微型顆粒，形成粗糙的表面，為制絨提供反應(yīng)活化點(diǎn)；

需要說(shuō)明的是，金剛線切割具有半拋光作用，得到的切片表面的損傷層少，硅片表面光滑，因此無(wú)法得到均勻有效的絨面結(jié)構(gòu)，而只能采用RIE和MCT技術(shù)進(jìn)行制絨，但是成本較高，且污染環(huán)境，而本申請(qǐng)實(shí)施例采用噴射微型顆粒的方式來(lái)形成粗糙的表面，不會(huì)帶來(lái)任何環(huán)境污染，也不會(huì)給硅片引入雜質(zhì)，而且通過(guò)微型顆粒不斷擊打金剛線切片的表面，使表面變得粗糙，就利于制絨。

S2：在所述金剛線切片的表面利用酸制絨工藝制備絨面結(jié)構(gòu)。

需要說(shuō)明的是，正是由于上一步驟形成了反應(yīng)活化點(diǎn)，因此無(wú)需采用RIE和MCT技術(shù)，而是采用常規(guī)的酸制絨工藝，就能夠在金剛線切片的表面制備絨面結(jié)構(gòu)，這種技術(shù)比較成熟，而且成本低。

通過(guò)上述描述可知，本申請(qǐng)實(shí)施例提供的上述第一種金剛線切片的制絨方法，由于包括向金剛線切片的表面噴射微型顆粒，形成粗糙的表面，為制絨提供反應(yīng)活化點(diǎn)；在所述金剛線切片的表面利用酸制絨工藝制備絨面結(jié)構(gòu)，因此能夠避免對(duì)制程引入雜質(zhì)和對(duì)環(huán)境引入污染，且降低制絨成本。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第二種金剛線切片的制絨方法，是在上述第一種金剛線切片的制絨方法的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述向金剛線切片的表面噴射微型顆粒為：

將噴射部件固定，移動(dòng)所述金剛線切片，直到所述金剛線切片的全部表面噴射完畢。

也就是說(shuō)，噴射部件固定不動(dòng)，硅片橫向移動(dòng)，移動(dòng)速度與制絨設(shè)備保持一致，直到將整個(gè)金剛線切片的全部表面形成粗糙面，便于利用常規(guī)工藝進(jìn)行制絨。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第三種金剛線切片的制絨方法，是在上述第二種金剛線切片的制絨方法的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述向金剛線切片的表面噴射微型顆粒為：

以1.8kg至2.2kg的壓縮空氣噴射壓力向所述金剛線切片的表面噴射微型顆粒。

需要說(shuō)明的是，利用這種優(yōu)選的壓力范圍進(jìn)行噴射，既不會(huì)對(duì)金剛線切片造成損傷，又能夠保證表面具有足夠的粗糙度，方便制絨。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第四種金剛線切片的制絨方法，是在上述第三種金剛線切片的制絨方法的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述向金剛線切片的表面噴射微型顆粒為：

向所述金剛線切片的表面噴射直徑范圍為5μm至20μm的微型顆粒。

這種尺寸范圍的微型顆粒能夠在金剛線切片的表面擊打出足夠深的坑，且歷經(jīng)一段時(shí)間之后，可以保證坑的分布均勻性，從整體上來(lái)看，成為一個(gè)粗糙的表面，就能夠提供制絨的活化點(diǎn)，便于利用傳統(tǒng)工藝進(jìn)行制絨。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第五種金剛線切片的制絨方法，是在上述第四種金剛線切片的制絨方法的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述向金剛線切片的表面噴射微型顆粒為：

向金剛線切片的表面噴射氧化鋁微型顆粒、碳化硅微型顆粒、氧化硅微型顆?；蛱妓徕c微型顆粒。

需要說(shuō)明的是，這些種類的顆粒均具有足夠高的強(qiáng)度和剛性，保證噴射后在金剛線切片表面出坑的高效性，且獲得成本較低。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第六種金剛線切片的制絨方法，是在上述第一種至第五種金剛線切片的制絨方法中任一種的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述在所述金剛線切片的表面利用酸制絨工藝制備絨面結(jié)構(gòu)包括：

利用氫氟酸硝酸體系對(duì)所述金剛線切片的表面腐蝕，形成腐蝕坑，這些腐蝕坑對(duì)光具有反射效果，增加了光二次吸收的幾率，降低了反射率；

利用去離子水清洗殘留的酸液；

堿洗去除多孔硅，方便后續(xù)工藝生長(zhǎng)鍍膜，水洗清除殘留的堿液；

利用氫氟酸鹽酸體系去除金屬雜質(zhì)和形成表面憎水層，保護(hù)硅片表面，隔絕水汽影響；

利用水去除表面殘留酸液，并干燥所述金剛線切片。

上述這些步驟均是傳統(tǒng)的工藝步驟，利用成本較低的試劑，實(shí)現(xiàn)高效制絨。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第七種金剛線切片的制絨方法，是在上述第二種金剛線切片的制絨方法的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述移動(dòng)金剛線切片為以3.0mm/s至5.0mm/s的速度范圍移動(dòng)所述金剛線切片。

需要說(shuō)明的是，該速度范圍是與產(chǎn)線滾動(dòng)式制絨工藝匹配的數(shù)據(jù)，便于產(chǎn)線量產(chǎn)化處理。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。