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      一種絕緣柵雙極晶體管的制作方法

      文檔序號(hào):11136629閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開了一種絕緣柵雙極晶體管,包括:襯底;位于襯底的柵極、發(fā)射極和集電極;其中,所述集電極和所述發(fā)射極分別位于所述襯底的兩端;超結(jié)結(jié)構(gòu),位于所述襯底上靠近所述集電極一側(cè),以在所述晶體管關(guān)斷時(shí),通過所述超結(jié)結(jié)構(gòu)耗盡堆積在所述集電極側(cè)的過剩載流子。用以解決現(xiàn)有技術(shù)中的絕緣柵雙極晶體管器件,存在的未耗盡區(qū)域的載流子排出慢,故關(guān)斷速度慢的技術(shù)問題。實(shí)現(xiàn)了有效縮短拖尾電流時(shí)間,減小關(guān)斷時(shí)間的技術(shù)效果。

      技術(shù)研發(fā)人員:陸江
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院微電子研究所
      文檔號(hào)碼:201611087110
      技術(shù)研發(fā)日:2016.12.01
      技術(shù)公布日:2017.02.15

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