本發(fā)明涉及晶圓清洗技術領域，尤其涉及一種晶圓掃描清洗擺臂裝置。

背景技術：

一般來說，芯片生產全部工藝過程中，高達20％的步驟為晶圓清洗，晶圓表面有四大常見類型的污染：微細顆粒、有機殘余物、無機殘余物、需要去除的氧化層，晶圓清洗的目的是為了去除附著于晶圓表面上的有機化合物、金屬雜質或微細顆粒、需要去除的氧化層，專利CN104810310A中提出了一種晶圓掃描清洗擺臂裝置，其解決了在晶圓清洗時，清洗效果差，存在清洗死角的問題，但其只能對晶圓的一面進行清洗，需要人工進行翻轉，清洗不方便，而且其對晶圓的清洗角度調整不方便，為此我們提出一種晶圓掃描清洗擺臂裝置，來解決上述問題。

技術實現要素：

本發(fā)明的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種晶圓掃描清洗擺臂裝置。

為了實現上述目的，本發(fā)明采用了如下技術方案：

一種晶圓掃描清洗擺臂裝置，包括第一殼體和支撐板，第一殼體的側壁上焊接有支撐板，所述支撐板的頂端設有固定座，固定座的內部設有第一電動機，第一電動機的輸出軸連接有偏心輪，偏心輪的頂端粘連有三個吸盤，所述第一殼體的內部設有第一連接臂，第一連接臂與第一殼體活動連接，第一連接臂的頂端延伸至第一殼體的上方，第一連接臂的頂端開有第一凹槽，第一凹槽的底端側壁上安裝有第一氣缸，第一氣缸的活塞桿焊接有第二連接臂，第二連接臂與第一凹槽的側壁滑動連接，第二連接臂的頂端焊接有水平設置的橫桿，橫桿的一側內部設有空腔，空腔內設有水平設置的第二電動機，第二電動機的輸出軸連接有噴嘴安裝座，噴嘴安裝座的底端連接有噴嘴裝置，所述橫桿的底端連接有翻轉夾持裝置，翻轉夾持裝置包括連接桿，連接桿的頂端焊接在橫桿上，連接桿的底端焊接有第二殼體，第二殼體的內部設有第三電動機，第三電動機的輸出軸連接有夾持箱，夾持箱的內部設有第二氣缸，第二氣缸的活塞桿鉸接有活動夾板，活動夾板延伸至夾持箱的外部，夾持箱遠離第二殼體的一側側壁上連接有固定夾板，固定夾板和活動夾板的中間位置相互鉸接，且夾持箱位于偏心輪的一側。

優(yōu)選的，所述第一殼體的內部設有第三電動機和垂直設置的轉軸，轉軸位于第三電動機與第一連接臂之間，轉軸與第一殼體的側壁活動連接，轉軸上安裝有第一齒輪和滾筒，滾筒位于第一齒輪的上方，滾筒與第一連接臂之間連接有傳動皮帶，第三電動機的輸出軸連接有第二齒輪，第二齒輪與第一齒輪相互嚙合。

優(yōu)選的，所述噴嘴裝置包括固定板、萬向管、噴嘴和導管，固定板和萬向管的內部均設有導管，導管連接有噴嘴，萬向管的一端連接有固定板，萬向管的另一端連接有噴嘴。

優(yōu)選的，所述第一殼體的內壁底端設有環(huán)形滑軌，第一連接臂的底端設有環(huán)形滑塊，環(huán)形滑軌與環(huán)形滑軌相配合。

優(yōu)選的，三個吸盤在偏心輪的頂端呈三角形設置。

優(yōu)選的，所述固定夾板和活動夾板相互靠近的一側均設有橡膠片，橡膠片上開有防滑紋。

優(yōu)選的，所述第三電動機為伺服電機，第二齒輪與第一齒輪的傳動比為1：3至1:5。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明設有翻轉夾持裝置，在第一連接臂、第二連接臂、橫桿、和第一氣缸的配合下，翻轉夾持裝置能夠對晶圓進行夾持翻轉，使得噴嘴裝置能夠對晶圓的雙面均進行清洗；通過第一電動機、偏心輪、第二電動機、萬向管、第三電動機的設置，能夠從多個角度對晶圓進行掃描清洗，清洗效果更好，通過伺服電機、第一齒輪、第二齒輪和傳動皮帶的配合，能夠精準的控制橫桿的擺動角度，清洗效果更好，本裝置能夠對晶圓的雙面均進行清洗，翻轉方便快捷，不需要手工操作，能從多個角度對晶圓進行掃描清洗，清洗效果好，工作效率高。

附圖說明

圖1為本發(fā)明提出的一種晶圓掃描清洗擺臂裝置的結構示意圖；

圖2為本發(fā)明提出的一種晶圓掃描清洗擺臂裝置的翻轉夾持裝置的結構示意圖；

圖3為本發(fā)明提出的一種晶圓掃描清洗擺臂裝置的噴嘴裝置的結構示意圖；

圖4為本發(fā)明提出的一種晶圓掃描清洗擺臂裝置的偏心輪與吸盤的結構示意圖。

圖中：1第一殼體、2第一氣缸、3第一連接臂、4支撐板、5固定座、6第一電動機、7偏心輪、8吸盤、9翻轉夾持裝置、91連接桿、92第三電動機、93第二殼體、94第二氣缸、95夾持箱、96活動夾板、97固定夾板、10橫桿、11第二電動機、12噴嘴安裝座、13噴嘴裝置、14第三電動機、15第二齒輪、16第一齒輪、17滾筒、18轉軸、19傳動皮帶、20第二連接臂。

具體實施方式

下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。

參照圖1-4，一種晶圓掃描清洗擺臂裝置，包括第一殼體1和支撐板4，第一殼體1的側壁上焊接有支撐板4，支撐板4的頂端設有固定座5，固定座5的內部設有第一電動機6，第一電動機6的輸出軸連接有偏心輪7，偏心輪7的頂端粘連有三個吸盤8，第一殼體1的內部設有第一連接臂3，第一連接臂3與第一殼體1活動連接，第一連接臂3的頂端延伸至第一殼體1的上方，第一連接臂3的頂端開有第一凹槽，第一凹槽的底端側壁上安裝有第一氣缸2，第一氣缸2的活塞桿焊接有第二連接臂20，第二連接臂20與第一凹槽的側壁滑動連接，第二連接臂20的頂端焊接有水平設置的橫桿10，橫桿10的一側內部設有空腔，空腔內設有水平設置的第二電動機11，第二電動機11的輸出軸連接有噴嘴安裝座12，噴嘴安裝座12的底端連接有噴嘴裝置13，橫桿10的底端連接有翻轉夾持裝置9，翻轉夾持裝置9包括連接桿91，連接桿91的頂端焊接在橫桿10上，連接桿91的底端焊接有第二殼體93，第二殼體93的內部設有第三電動機92，第三電動機92的輸出軸連接有夾持箱95，夾持箱95的內部設有第二氣缸94，第二氣缸94的活塞桿鉸接有活動夾板96，活動夾板96延伸至夾持箱95的外部，夾持箱95遠離第二殼體93的一側側壁上連接有固定夾板97，固定夾板97和活動夾板96的中間位置相互鉸接，且夾持箱95位于偏心輪7的一側，第一殼體1的內部設有第三電動機14和垂直設置的轉軸18，轉軸18位于第三電動機14與第一連接臂3之間，轉軸18與第一殼體1的側壁活動連接，轉軸18上安裝有第一齒輪16和滾筒17，滾筒17位于第一齒輪16的上方，滾筒17與第一連接臂3之間連接有傳動皮帶19，第三電動機14的輸出軸連接有第二齒輪15，第二齒輪15與第一齒輪16相互嚙合，噴嘴裝置13包括固定板、萬向管、噴嘴和導管，固定板和萬向管的內部均設有導管，導管連接有噴嘴，萬向管的一端連接有固定板，萬向管的另一端連接有噴嘴，第一殼體1的內壁底端設有環(huán)形滑軌，第一連接臂3的底端設有環(huán)形滑塊，環(huán)形滑軌與環(huán)形滑軌相配合，三個吸盤8在偏心輪7的頂端呈三角形設置，固定夾板97和活動夾板96相互靠近的一側均設有橡膠片，橡膠片上開有防滑紋，第三電動機14為伺服電機，第二齒輪15與第一齒輪16的傳動比為1：3至1:5。

實施例：將晶圓放置在偏心輪7上的吸盤8上，吸盤8將偏心輪7固定住，第一電動機6帶動偏心輪7轉動，偏心輪7帶動晶圓做偏心運動，晶圓在轉動的同時，其一端與反復的經過固定夾板97和活動夾板96的中間位置，在需要進行翻轉時，控制第二氣缸94帶動活動夾板96運動，與固定夾板97相配合將晶圓夾持住，第一氣缸2帶動第二連接臂20和橫桿10上升，橫桿10帶動翻轉夾持裝置9上升，到達一定高度后，第三電動機92帶動夾持箱旋轉180度，對晶圓進行翻轉，翻轉完成后，第一氣缸2帶動第二連接臂20和橫桿10下降，橫桿10帶動翻轉夾持裝置9下降，第二氣缸94帶動活動夾板96運動，將晶圓松開，放置在吸盤8上，對其另一面進行清洗；通過第三電動機14帶動第二齒輪15運動，第二齒輪15與第一齒輪16相互嚙合，第一齒輪16帶動轉軸18和傳動皮帶19運動，帶動第一連接臂3、第二連接臂10和橫桿10轉動，第二電動機11帶動噴嘴安裝座12旋轉，對噴嘴裝置13角度進行調整，還可通過萬向管對兩個噴嘴角度進行調整，方便清潔。

以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內，根據本發(fā)明的技術方案及其發(fā)明構思加以等同替換或改變，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內。