1.一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,包括如下步驟:
步驟一:在硅片表面通過(guò)旋涂或者絲網(wǎng)印刷的方式涂覆膠;
步驟二:使用預(yù)制模板通過(guò)熱固化壓印或者紫外固化壓印的方式,在掩膜膠上形成排列的孔并在對(duì)應(yīng)電極位置形成槽;
步驟三:使用混酸溶液或者堿溶液對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕,在掩膜膠上有孔的地方腐蝕硅片,形成坑狀絨面,同時(shí)在膠上有槽的硅片上腐蝕形成凹槽;
步驟四:使用膠的顯影液去膠;
步驟五:擴(kuò)撒制結(jié)、邊緣刻蝕、PECVD鍍減反射薄膜、絲網(wǎng)印刷背電極和背電場(chǎng);
步驟六:使用絲網(wǎng)印刷的方法,將漿料填充進(jìn)凹槽,并在其上堆積成有較大高寬比的電極柵線;
步驟七:高溫?zé)Y(jié),形成刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,步驟一中膠為熱固化膠或者紫外固化膠,膠的厚度為1μm~5μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,步驟二中的模板為金剛石、碳化硅、氮化硅、二氧化硅、硅、PDMS、PMMA、h-PDMS、PMV、PVC、PVA、PTFE和ETFE材料中的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,模板的電極柵線對(duì)應(yīng)位置的凸起部位寬度為5μm~50μm,深度為1μm~10μm,凸起之間的間隔為0.5mm~3mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,模板上凸起的柱狀圖形為內(nèi)切圓,內(nèi)切圓的直徑為10nm~4μm的正多邊形或者圓形柱體;柱體高度為1μm~6μm,柱體之間的間隔為1μm~20μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,膠的固化方法為熱固化壓印或者紫外固化壓印,熱固化壓印的固化溫度為60~200℃,壓力為1N~50N,固化時(shí)長(zhǎng)為5秒~300秒,紫外固化的燈光波長(zhǎng)為300nm~500nm,固化時(shí)長(zhǎng)為5秒~300秒。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,混酸溶液為49%的氫氟酸和69%的硝酸的混合溶液,氫氟酸和硝酸的比例在0%~80%之間,腐蝕溫度為5~8℃,腐蝕時(shí)間為40秒~100秒;堿溶液為氫氧化鈉或者氫氧化鉀,濃度為5%~20%,腐蝕溫度在50~70℃之間,腐蝕時(shí)間在120秒~1200秒之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,顯影液為膠所配套的顯影液,顯影溫度5~40℃,顯影時(shí)長(zhǎng)5秒~150秒。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜法制絨和刻槽填柵電極太陽(yáng)能電池的制備方法,其特征是,絲網(wǎng)印刷用網(wǎng)版柵線開(kāi)口在15μm~50μm之間,網(wǎng)版柵線間距在0.5mm~3mm之間;所用正面電極銀漿的粘度在180Pa·s~400 Pa·s之間。