本發(fā)明實(shí)施例涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種顯示面板及其裝置。
背景技術(shù):
OLED,即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode),又稱(chēng)為有機(jī)電致發(fā)光器件,是指發(fā)光材料在電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)下,通過(guò)載流子注入和復(fù)合導(dǎo)致發(fā)光的現(xiàn)象。OLED面板無(wú)論在畫(huà)質(zhì)、效能及成本上,都較薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)優(yōu)秀很多。然而一般OLED的生命周期易受周?chē)畾馀c氧氣所影響而降低,因此OLED面板需要良好的封裝來(lái)隔絕周?chē)畾馀c氧氣。
隔絕外界水氧采用的薄膜封裝層一般為兩層或兩層以上的多層薄膜堆疊結(jié)構(gòu),按照作用可以分為無(wú)機(jī)薄膜層和有機(jī)薄膜層,無(wú)機(jī)薄膜層的主要作用是阻隔外加環(huán)境中的水氣與氧氣,有機(jī)薄膜層的主要作用是為后續(xù)形成的無(wú)機(jī)薄膜層提供平坦化的薄膜沉積條件,緩解應(yīng)力,并覆蓋表面臺(tái)階及雜質(zhì)以提供優(yōu)異的微粒包裹性效果,但有機(jī)層的水氧阻隔性較差。
在制作有機(jī)電致發(fā)光器件時(shí),為了限定薄膜封裝層中有機(jī)層的邊界,在非顯示區(qū)一般設(shè)置有擋墻,用于阻擋薄膜封裝層中的有機(jī)層,而薄膜封裝層的無(wú)機(jī)層覆蓋非顯示區(qū)的擋墻,用于阻擋外界環(huán)境中水氧的側(cè)向腐蝕。但是,擋墻一般由多層有機(jī)物膜層堆疊而成,不具備水氧阻擋功能,當(dāng)覆蓋擋墻的薄膜封裝層中的無(wú)機(jī)層出現(xiàn)缺陷時(shí),外界水氧能夠快速通過(guò)擋墻進(jìn)入顯示區(qū)腐蝕有機(jī)電致發(fā)光器件,嚴(yán)重影響有機(jī)電致發(fā)光器件的顯示質(zhì)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明提供一種顯示面板及其裝置,以解決覆蓋擋墻的無(wú)機(jī)層存在缺陷時(shí),外界水氧通過(guò)擋墻鍵入顯示區(qū)腐蝕有機(jī)電致發(fā)光器件的問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)了對(duì)外界水汽的氧氣的有效阻擋,保護(hù)顯示區(qū)器件不受外界水氧的腐蝕。
第一方面,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種顯示面板,包括:
基板,包括顯示區(qū)和非顯示區(qū);
位于所述基板的所述顯示區(qū)中的顯示元件;
至少一擋墻,所述擋墻位于所述基板的非顯示區(qū),且圍繞所述顯示區(qū)設(shè)置;所述擋墻包括至少一無(wú)機(jī)層和至少一金屬層,且所述無(wú)機(jī)層包裹所述金屬層。
第二方面,本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種顯示裝置,包括第一方面所述的顯示面板。
本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)提供一種顯示面板及其裝置,通過(guò)非顯示區(qū)的基板周?chē)O(shè)置擋墻,擋墻包括至少一無(wú)機(jī)層和至少一金屬層,且使無(wú)機(jī)層包裹金屬層,當(dāng)覆蓋擋墻的薄膜封裝層的無(wú)機(jī)層存在缺陷時(shí),擋墻中包裹金屬層的無(wú)機(jī)層能夠有效阻擋外界環(huán)境中水氧的入侵,同時(shí),金屬層接觸到外界環(huán)境中的水氧時(shí),生成致密的氧化物薄膜,能夠進(jìn)一步阻擋外界環(huán)境中的水氧進(jìn)入顯示面板的顯示區(qū),提高了顯示面板對(duì)外界環(huán)境中水氧的阻擋能力,進(jìn)而提高了有機(jī)電致發(fā)光器件的壽命。
附圖說(shuō)明
通過(guò)閱讀參照以下附圖所作的對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述,本申請(qǐng)的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:
圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為沿圖1AA’方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種顯示面板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種顯示裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明??梢岳斫獾氖?,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明,而非對(duì)本發(fā)明的限定。另外還需要說(shuō)明的是,為了便于描述,附圖中僅示出了與本發(fā)明相關(guān)的部分而非全部結(jié)構(gòu)。貫穿本說(shuō)明書(shū)中,相同或相似的附圖標(biāo)號(hào)代表相同或相似的結(jié)構(gòu)、元件或流程。需要說(shuō)明的是,在不沖突的情況下,本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種顯示面板,包括基板,包括顯示區(qū)和非顯示區(qū),位于基板的顯示區(qū)中的顯示元件,至少一擋墻,擋墻位于基板的非顯示區(qū),且圍繞顯示區(qū)設(shè)置;擋墻包括至少一無(wú)機(jī)層和至少一金屬層,且無(wú)機(jī)層包裹金屬層。
顯示面板的發(fā)光元件一般都會(huì)通過(guò)蒸鍍方式形成。發(fā)光元件可以具有多層結(jié)構(gòu),除了發(fā)光層以外,還可以包括用于平衡電子和空穴的電子傳輸層和空穴傳輸層,以及用于增強(qiáng)電子和空穴的注入的電子注入層和空穴注入層。
由于顯示面板中的發(fā)光元件層對(duì)水汽和氧氣等外部環(huán)境因素十分敏感,如果將顯示面板中的發(fā)光元件層暴露在有水汽或者氧氣的環(huán)境中,會(huì)使得顯示面板性能急劇下降或者完全損壞。為了提高顯示面板的使用壽命和穩(wěn)定性,需在發(fā)光元件層上覆蓋封裝層進(jìn)行密封。封裝層可以是一層或者多層結(jié)構(gòu),使用材料可以是有機(jī)膜層或者無(wú)機(jī)膜層,亦或者是有機(jī)膜層和無(wú)機(jī)膜層的疊層結(jié)構(gòu)。
有機(jī)層不具有阻擋外界水氧的作用,因此,薄膜封裝層中起到阻擋外界水氧進(jìn)入顯示面板顯示區(qū)作用的是無(wú)機(jī)層,但是無(wú)機(jī)層會(huì)出現(xiàn)存在缺陷的情況,外界環(huán)境中的水氧通過(guò)薄膜封裝層中無(wú)機(jī)層的缺陷進(jìn)入顯示面板的顯示區(qū),損壞顯示區(qū)中的元器件。
本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)在基板的非顯示區(qū)設(shè)置圍繞顯示區(qū)的擋墻,且設(shè)置擋墻至少包括一無(wú)機(jī)層和至少一金屬層,并使無(wú)機(jī)層包裹金屬層,當(dāng)覆蓋擋墻的薄膜封裝層的無(wú)機(jī)層存在缺陷時(shí),擋墻中包裹金屬層的無(wú)機(jī)層能夠有效阻擋通過(guò)薄膜封裝層中無(wú)機(jī)層的缺陷進(jìn)入的水氧,同時(shí),金屬層接觸到外界環(huán)境中的水氧時(shí),生成致密的氧化物薄膜,能夠進(jìn)一步地阻擋外界環(huán)境中的水氧對(duì)顯示面板的顯示區(qū)造成側(cè)向侵蝕,提高了顯示面板對(duì)外界環(huán)境中水氧的阻擋能力,進(jìn)而提升了有機(jī)電致發(fā)光器件的生命周期。
以上是本發(fā)明的核心思想,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下,所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種顯示面板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖,圖2為沿圖1中AA’的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。結(jié)合圖1和圖2,顯示面板包括基板1,顯示元件2和至少一擋墻3,基板1包括顯示區(qū)和非顯示區(qū),顯示元件2位于基板1的顯示區(qū),擋墻3位于基板1的非顯示區(qū),圍繞顯示區(qū)設(shè)置,擋墻3包括至少一無(wú)機(jī)層30和至少一金屬層31,且無(wú)機(jī)層30包裹金屬層31,圖2示例性的設(shè)置擋墻3包括一無(wú)機(jī)層30和一金屬層31,且無(wú)機(jī)層30包裹金屬層31。
可選的,顯示面板還可以包括薄膜封裝層4,薄膜封裝層4覆蓋顯示元件2??蛇x的,薄膜封裝層4包括至少一無(wú)機(jī)層,示例性的,薄膜封裝層4可以包括多層無(wú)機(jī)層、也可以包括多層有機(jī)層,也可以是多層無(wú)機(jī)層和多層有機(jī)層形成的疊層結(jié)構(gòu),圖2示例性的設(shè)置薄膜封裝層4包括無(wú)機(jī)層40、無(wú)機(jī)層42和一層有機(jī)層41,且有機(jī)層41可以位于兩無(wú)機(jī)層之間,需要說(shuō)明的是,本發(fā)明實(shí)施例對(duì)薄膜封裝層4中有機(jī)層與無(wú)機(jī)層的數(shù)量不作限定,對(duì)無(wú)機(jī)層和有機(jī)層之間的相對(duì)位置也不作限定,可以根據(jù)實(shí)際產(chǎn)品的生產(chǎn)需求進(jìn)行設(shè)定。具體的,薄膜封裝層4能夠有效阻擋外界環(huán)境中的水汽和氧氣進(jìn)入顯示區(qū)損壞顯示面板的發(fā)光元件,因此,薄膜封裝層4的設(shè)定可以使得顯示面板處于有水汽或者氧氣的環(huán)境中時(shí),不會(huì)因?yàn)橥饨绛h(huán)境中水氧的入侵導(dǎo)致顯示區(qū)的發(fā)光元件等損壞進(jìn)而影響顯示面板的性能,提高了顯示面板的使用壽命和穩(wěn)定性。
示例性的,如圖2所示,薄膜封裝層4可以包括兩層無(wú)機(jī)層,無(wú)機(jī)層40和無(wú)機(jī)層42可以均包裹擋墻3。在進(jìn)行顯示面板的薄膜封裝層的制作工藝流程之前,首先在基板1的顯示區(qū)形成顯示元件2,在基板1的非顯示區(qū)形成擋墻3,以圖2為例,然后可以沿遠(yuǎn)離基板1的方向依次淀積薄膜封裝層4的無(wú)機(jī)層40、有機(jī)層41和無(wú)機(jī)層42,這樣形成的薄膜封裝層4在顯示區(qū)覆蓋了顯示元件2,但是,由于擋墻3對(duì)薄膜封裝層4中的有機(jī)層41具有阻擋作用,即在淀積薄膜封裝層4中的有機(jī)層41時(shí),擋墻3能夠阻擋薄膜封裝層4中的有機(jī)層41向擋墻3遠(yuǎn)離顯示元件2的一側(cè)擴(kuò)散,因此,薄膜封裝層4至少一無(wú)機(jī)層覆蓋擋墻3??蛇x的,擋墻3的厚度范圍可以為[200nm,4000nm],擋墻3中的無(wú)機(jī)層30的厚度范圍可以為[100nm,1000nm],擋墻3中的金屬層31的厚度范圍可以為[100nm,500nm]。擋墻3設(shè)置在基板1的非顯示區(qū),圍繞顯示區(qū)的擋墻3中的無(wú)機(jī)層30能夠避免外界環(huán)境的水氧對(duì)顯示面板的顯示區(qū)造成側(cè)向侵蝕,擋墻3中的金屬層31在接觸到水氧時(shí),能夠生成致密的金屬氧化物薄膜,進(jìn)一步阻擋外界環(huán)境中的水氧進(jìn)入顯示面板的顯示區(qū)損壞顯示元件2而影響顯示面板的性能和壽命,如果無(wú)機(jī)層30和金屬層31的厚度過(guò)小,則無(wú)法起到有效阻擋外界環(huán)境中水氧入侵的作用;如果無(wú)機(jī)層厚度過(guò)大,由于無(wú)機(jī)材料的延展性較差,使得無(wú)機(jī)層的應(yīng)力增大,在對(duì)顯示面板進(jìn)行切割或是彎折時(shí),容易出現(xiàn)裂紋,同樣影響擋墻的阻水氧效果。金屬層另外一個(gè)作用是緩解無(wú)機(jī)層間應(yīng)力,但是如果金屬層厚度太厚,會(huì)使中性面偏離有機(jī)發(fā)光層,彎折時(shí)會(huì)容易使有機(jī)發(fā)光層受損,影響顯示效果;金屬層厚度太厚也會(huì)使彎折半徑變大,擋墻3上的無(wú)機(jī)層容易發(fā)生彎折裂紋。因此,擋墻3中無(wú)機(jī)層30的厚度范圍可以是[100nm,1000nm],金屬層31的厚度范圍可以是[100nm,500nm]。同時(shí),擋墻3可以包括多層金屬層31和多層無(wú)機(jī)層30,綜合考慮半導(dǎo)體器件中膜層制作工藝的限制,擋墻3的厚度范圍可以是[200nm,4000nm]。
可選的,擋墻3中的無(wú)機(jī)層30的寬度范圍可以為[10μm,100μm],擋墻3中的金屬層31的寬度范圍可以為[1μm,50μm]。示例性的,如圖2所示,設(shè)置無(wú)機(jī)層30的寬度大于金屬層31的寬度能夠?qū)崿F(xiàn)擋墻3中無(wú)機(jī)層30對(duì)金屬層31充分包裹,在外界環(huán)境中的水氧沒(méi)有接觸到擋墻3中的金屬層31之前,位于金屬層31外部的無(wú)機(jī)層30能夠充分起到阻擋水氧的作用,增加了擋墻3阻擋外界水氧對(duì)顯示面板造成側(cè)向侵蝕的可靠性。
圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種顯示面板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示,顯示面板包括:基板1、顯示元件2和擋墻3,基板1包括顯示區(qū)和非顯示區(qū),顯示元件2位于基板1的顯示區(qū),擋墻3位于基板1的非顯示區(qū),圍繞顯示區(qū)設(shè)置。
可選的,擋墻3遠(yuǎn)離基板1依次設(shè)置第一無(wú)機(jī)層32、第一金屬層33、第二無(wú)機(jī)層34、第二金屬層35和第三無(wú)機(jī)層36,且第二無(wú)機(jī)層34包裹第一金屬層33,第三無(wú)機(jī)層36包裹第二金屬層35。第一絕緣層20、第二絕緣層22和第三絕緣層25能夠有效阻擋外界環(huán)境中的水氧對(duì)顯示面板顯示區(qū)中顯示元件2的側(cè)向侵蝕,第一金屬層33和第二金屬層35在接觸到水氧時(shí),能夠生成致密的金屬氧化物薄膜,生成的金屬氧化物薄膜同樣能夠阻擋外界環(huán)境中的水氧對(duì)顯示面板顯示區(qū)中顯示元件2的側(cè)向侵蝕,增加擋墻3阻擋外界環(huán)境中水氧入侵的可靠性,進(jìn)一步提高了顯示面板的性能和壽命。
表1不同堆疊結(jié)構(gòu)擋墻水汽透過(guò)率的對(duì)比實(shí)驗(yàn)表
表1為不同堆疊結(jié)構(gòu)擋墻水汽透過(guò)率的對(duì)比實(shí)驗(yàn)表,參見(jiàn)表1,對(duì)比第一組與第二組實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可知:采用本發(fā)明實(shí)施例提供的金屬層與無(wú)機(jī)層交替的堆疊結(jié)構(gòu),相對(duì)于采用在在金屬層上單純地堆疊多層無(wú)機(jī)層,且每層無(wú)機(jī)層的厚度相同,第二組實(shí)驗(yàn)中的兩層金屬層的厚度與第一組實(shí)驗(yàn)中的一層金屬層的厚度相同時(shí),本申請(qǐng)實(shí)施例提供的擋墻其水汽透過(guò)率遠(yuǎn)小于第一組實(shí)驗(yàn)所采用的擋墻的水汽透過(guò)率。對(duì)比第二組與第三組實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可知:采用本發(fā)明實(shí)施例提供的金屬層與無(wú)機(jī)層的堆疊結(jié)構(gòu),相對(duì)于采用在在金屬層上單純地堆疊多層無(wú)機(jī)層,且每層無(wú)機(jī)層的厚度相同,第二組實(shí)驗(yàn)中的每層金屬層的厚度與第三組實(shí)驗(yàn)中的每層金屬層的厚度相同時(shí),本申請(qǐng)實(shí)施例提供的擋墻其水汽透過(guò)率也遠(yuǎn)小于第三組實(shí)驗(yàn)所采用的擋墻的水汽透過(guò)率。由上述對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的分析,采用無(wú)機(jī)層與金屬層交替堆疊結(jié)構(gòu)擋墻的顯示面板,水汽透過(guò)率更低,阻水氧效果更明顯,相應(yīng)的,阻擋外界環(huán)境中的水氧對(duì)顯示面板的顯示區(qū)側(cè)向侵蝕的能力越強(qiáng),能夠更大程度上提升有機(jī)電致發(fā)光器件的生命周期。
同時(shí),采用如圖3所示的無(wú)機(jī)層與金屬層的堆疊結(jié)構(gòu),即擋墻3遠(yuǎn)離基板1依次設(shè)置的第一無(wú)機(jī)層32、第一金屬層33、第二無(wú)機(jī)層34、第二金屬層35和第三無(wú)機(jī)層36,且使第二無(wú)機(jī)層34包裹第一金屬層33,第三無(wú)機(jī)層36包裹第二金屬層35,對(duì)非顯示區(qū)域的擋墻3受到的應(yīng)力起到了良好的分散作用,避免了顯示面板在切割或彎折時(shí)發(fā)生斷裂,影響擋墻阻擋水氧的效果,同時(shí)提高了擋墻3耐應(yīng)力的能力,有利于顯示面板進(jìn)行柔性顯示。
可選的,第一無(wú)機(jī)層32、第二無(wú)機(jī)層34和第三無(wú)機(jī)層36的厚度可以均為1000nm,所述第一無(wú)機(jī)層32、第二無(wú)機(jī)層34和第三無(wú)機(jī)層36的寬度可以均為50μm,且所述第一金屬層33和第二金屬層35的厚度可以均為300nm,所述第一金屬層33和所述第二金屬層35的寬度可以均為30μm。
表2不同膜層厚度擋墻水汽透過(guò)率的對(duì)比實(shí)驗(yàn)表
表2為不同膜層厚度擋墻水汽透過(guò)率的對(duì)比實(shí)驗(yàn)表,參見(jiàn)表2,對(duì)比第一組、第二組與第三組的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以得出無(wú)機(jī)層厚度對(duì)擋墻水汽透過(guò)率的影響,即無(wú)機(jī)層厚度為1000nm時(shí),擋墻的水汽透過(guò)率最小,即阻水氧效果最好。無(wú)機(jī)層厚度過(guò)小,外界環(huán)境中的水氧容易透過(guò)無(wú)機(jī)層進(jìn)入顯示面板的顯示區(qū);而過(guò)大的無(wú)機(jī)層厚度則會(huì)增加應(yīng)力,在對(duì)顯示面板進(jìn)行切割或彎折時(shí)容易出現(xiàn)裂紋,影響擋墻的阻水氧效果。
對(duì)比第二組、第五組與第七組的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以得出金屬層厚度對(duì)擋墻水汽透過(guò)率的影響,即金屬層厚度為300nm時(shí),擋墻的水汽透過(guò)率最小,即阻水氧效果最好。金屬層厚度過(guò)小,外界環(huán)境中的水氧容易滲透進(jìn)入顯示面板的顯示區(qū);同時(shí),金屬層的厚度越大,金屬層上的無(wú)機(jī)層距離中性面越遠(yuǎn),該無(wú)機(jī)層的彎折半徑越大,容易造成彎折裂紋,影響擋墻的阻水氧效果。
對(duì)比第二組、第四組與第六組的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以得出無(wú)機(jī)層寬度對(duì)擋墻水汽透過(guò)率的影響,即無(wú)機(jī)層寬度為50μm時(shí),擋墻的水汽透過(guò)率最小,即阻水氧效果最好。無(wú)機(jī)層的寬度過(guò)大,容易在對(duì)顯示面板進(jìn)行切割時(shí)出現(xiàn)裂紋,影響擋墻的阻水氧效果;而寬度過(guò)小的無(wú)機(jī)層對(duì)金屬層的包裹效果較差,外界環(huán)境中的水氧容易從擋墻的側(cè)面滲透,影響擋墻的阻水氧效果。
對(duì)比第二組、第八組與第九組的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以得出金屬層寬度對(duì)擋墻水汽透過(guò)率的影響,即金屬層寬度為30μm時(shí),擋墻的水汽透過(guò)率最小,即阻水氧效果最好。擋墻中的金屬層一方面在于水氧接觸時(shí),能夠生成致密的氧化物薄膜,充分阻擋外界環(huán)境中的水氧,另一方面,可以釋放覆蓋于金屬層上的無(wú)機(jī)層的應(yīng)力。金屬層的寬度過(guò)大,使得位于該金屬層上無(wú)機(jī)層較薄,影響擋墻的阻水氧效果;而寬度過(guò)小的金屬容易導(dǎo)致與無(wú)機(jī)層的接觸面積減小,不利于無(wú)機(jī)層應(yīng)力的釋放,容易在對(duì)顯示面板進(jìn)行切割或彎折時(shí)容易出現(xiàn)裂紋,影響擋墻的阻水氧效果。
由上述對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的分析,當(dāng)?shù)谝粺o(wú)機(jī)層32、第二無(wú)機(jī)層34和第三無(wú)機(jī)層36的厚度均為1000nm,第一無(wú)機(jī)層32、第二無(wú)機(jī)層34和第三無(wú)機(jī)層36的寬度均為50μm,且第一金屬層33和第二金屬層35的厚度均為300nm,第一金屬層33和所述第二金屬層35的寬度均為30μm時(shí),其對(duì)應(yīng)擋墻的水氧透過(guò)率最小,擋墻阻水氧效果最明顯,相應(yīng)的,阻擋外界環(huán)境中的水氧對(duì)顯示面板的顯示區(qū)側(cè)向侵蝕的能力越強(qiáng),能夠更大程度上提升有機(jī)電致發(fā)光器件的生命周期。
可選的,位于基板1顯示區(qū)的顯示元件2可以包括薄膜晶體管和發(fā)光元件,薄膜晶體管包括遠(yuǎn)離基板1依次設(shè)置的第一絕緣層20、柵電極21、第二絕緣層22、源電極23、漏電極24和第三絕緣層25。示例性的,在形成薄膜晶體管時(shí),可以通過(guò)物理或化學(xué)氣相沉積等方法在襯底基板1上方依次形成構(gòu)成薄膜晶體管的各膜層,例如可以通過(guò)等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積在襯底基板1上方依次形成構(gòu)成薄膜晶體管的各膜層,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積需要的沉積溫度較低,對(duì)膜層的結(jié)構(gòu)和物理性質(zhì)影響較小,形成的膜層厚度以及成分均勻性較好,且膜層較致密,附著力強(qiáng)。對(duì)各膜層進(jìn)行構(gòu)圖工藝,如依次進(jìn)行旋涂光刻膠、曝光、顯影和刻蝕等工藝,形成薄膜晶體管的第一絕緣層20、柵電極21、第二絕緣層22、源電極23、漏電極24和第三絕緣層25,示例性的,薄膜晶體管還可以包括金屬氧化物半導(dǎo)體層,即有源層,構(gòu)成有源層的材料例如可以是銦鎵鋅氧化物(Indium Gallium Zinc Oxide,IGZO),IGZO是一種含有銦、鎵和鋅的非晶氧化物,載流子遷移率較高,能夠提高薄膜晶體管對(duì)像素電極的充放電速率,提高像素的響應(yīng)速度,使得超高分辨率的實(shí)現(xiàn)成為可能。示例性的,薄膜晶體管的源電極23和漏電極24可以通過(guò)過(guò)孔(未示出)與有源層接觸。
可選的,擋墻3的至少一金屬層可以與柵電極21、源電極23或漏電極24同層設(shè)置,擋墻3的至少一無(wú)機(jī)層可以與第一絕緣層20、第二絕緣層22或第三絕緣同層設(shè)置。示例性的,如圖3所示,第一無(wú)機(jī)層32可以與第一絕緣層20同層設(shè)置,柵電極21可以與第一金屬層33同層設(shè)置,第二絕緣層22可以與第二無(wú)機(jī)層34同層設(shè)置,源電極23以及漏電極24可以與第二金屬層35同層設(shè)置,第三絕緣層25可以與第三無(wú)機(jī)層36同層設(shè)置。
可選的,擋墻3中無(wú)機(jī)層的材料可以包括SiNX、SiO2和Al2O3中的至少一種,擋墻3中金屬層的材料可以包括Mo、Cr、Ti或Al中的至少一種。示例性的,同層制作的膜層可以采用同一種材料,例如第一無(wú)機(jī)層32和第一絕緣層20可以均采用SiO2材料或均采用SiNx材料或均采用Al2O3材料或采用三者形成的疊層結(jié)構(gòu),在顯示面板的制作過(guò)程中,形成同層制作的第一無(wú)機(jī)層32與第一絕緣層20時(shí),可以先形成一層SiO2材料膜層,再通過(guò)掩膜版經(jīng)光刻工藝形成所需的第一無(wú)機(jī)層32和第一絕緣層20。示例性的,第一金屬層33與柵電極21也可以均采用Mo、Cr、Ti或Al材料中的一種,或上述材料形成的疊層結(jié)構(gòu)。這樣,將擋墻3的至少一金屬層可以與柵電極21、源電極23或漏電極24同層設(shè)置,擋墻3的至少一無(wú)機(jī)層可以與第一絕緣層20、第二絕緣層22或第三絕緣同層設(shè)置,簡(jiǎn)化了顯示面板的制作工藝,提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。
需要說(shuō)明的是,本發(fā)明實(shí)施例示附圖只是示例性的表示各元件的大小以及各膜層的厚度,并不代表顯示面板中各元件以及各膜層實(shí)際尺寸。
本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)在基板1的非顯示區(qū)設(shè)置圍繞顯示區(qū)的擋墻3,且設(shè)置擋墻3至少包括一無(wú)機(jī)層和至少一金屬層,并使無(wú)機(jī)層包裹金屬層,當(dāng)覆蓋擋墻3的薄膜封裝層4的無(wú)機(jī)層存在缺陷時(shí),擋墻3中包裹金屬層的無(wú)機(jī)層能夠有效阻擋通過(guò)薄膜封裝層4中無(wú)機(jī)層的缺陷進(jìn)入的水氧,同時(shí),金屬層接觸到外界環(huán)境中的水氧時(shí),生成致密的氧化物薄膜,能夠進(jìn)一步地阻擋外界環(huán)境中的水氧對(duì)顯示面板的顯示區(qū)造成側(cè)向侵蝕,提高了顯示面板對(duì)外界環(huán)境中水氧的阻擋能力,進(jìn)而提升了有機(jī)電致發(fā)光器件的生命周期。
本發(fā)明實(shí)施例還提供的一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置,圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示,有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括上述任意實(shí)施例中的有機(jī)發(fā)光顯示面板5。本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括上述實(shí)施例中的有機(jī)發(fā)光顯示面板,因此本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光顯示裝置也具備上述實(shí)施例中所描述的有益效果,此處不再贅述。
注意,上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用技術(shù)原理。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)理解,本發(fā)明不限于這里所述的特定實(shí)施例,對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)能夠進(jìn)行各種明顯的變化、重新調(diào)整和替代而不會(huì)脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此,雖然通過(guò)以上實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了較為詳細(xì)的說(shuō)明,但是本發(fā)明不僅僅限于以上實(shí)施例,在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的情況下,還可以包括更多其他等效實(shí)施例,而本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求范圍決定。