本發(fā)明實(shí)施例涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種有機(jī)發(fā)光顯示面板及其制備方法、顯示裝置。

背景技術(shù)：

有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示面板是指在基板上制備有機(jī)發(fā)光器件而得到的顯示面板。當(dāng)基板使用塑料等柔性基板，有機(jī)發(fā)光顯示器可以具有柔性的特點(diǎn)，并且由于有機(jī)發(fā)光顯示器功耗低、體積小，使有機(jī)發(fā)光顯示面板成為未來在多領(lǐng)域中使用的顯示面板。

目前，針對(duì)在柔性基板上制備光電器件獲得柔性顯示面板，通常采用貼附取下的方法，將柔性基板貼附在載體基板上制備顯示器件，制備完成顯示器件之后再使柔性基板從載體基板上剝離下來，得到柔性顯示器。

但是，采用貼附取下的方法取下載體基板時(shí)，在柔性基板與載體基板之間容易產(chǎn)生靜電，對(duì)柔性顯示面板形成干擾，影響柔性顯示面板顯示效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供一種有機(jī)發(fā)光顯示面板及其制備方法、顯示裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中剝離硬質(zhì)基板時(shí)產(chǎn)生的靜電對(duì)顯示面板形成干擾，柔性顯示面板良率不高的問題。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種有機(jī)發(fā)光顯示面板，包括：

金屬沉積層；

位于所述金屬沉積層上的無機(jī)層；

位于所述無機(jī)層上遠(yuǎn)離所述金屬沉積層一側(cè)的柔性基板；

位于所述柔性基板上遠(yuǎn)離所述無機(jī)層的有機(jī)發(fā)光顯示元件。

第二方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備方法，包括：

提供一載體基板；

在所述載體基板上沉積金屬，形成金屬沉積層；

在所述金屬沉積層上遠(yuǎn)離所述載體基板的一側(cè)形成無機(jī)層；

在所述無機(jī)層遠(yuǎn)離所述金屬沉積層的一側(cè)形成柔性基板，所述柔性基板覆蓋所述無機(jī)層的表面；

在所述柔性基板上遠(yuǎn)離所述無機(jī)層的一側(cè)形成有機(jī)發(fā)光顯示元件；

剝離所述載體基板，使所述載體基板與所述金屬沉積層分離，得到有機(jī)發(fā)光顯示面板，所述金屬沉積層為所述有機(jī)發(fā)光顯示面板的下保護(hù)膜層。

第三方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種顯示裝置，該顯示裝置包括本發(fā)明任意實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光顯示面板。

本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光顯示面板及其制備方法、顯示裝置，通過在有機(jī)發(fā)光顯示面板上設(shè)置金屬沉積層，實(shí)現(xiàn)屏蔽靜電的作用，避免靜電對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示面板造成干擾，提高有機(jī)發(fā)光顯示面板抗靜電性能，提升有機(jī)發(fā)光顯示面板顯示效果。

附圖說明

為了更加清楚地說明本發(fā)明示例性實(shí)施例的技術(shù)方案，下面對(duì)描述實(shí)施例中所需要用到的附圖做一簡(jiǎn)單介紹。顯然，所介紹的附圖只是本發(fā)明所要描述的一部分實(shí)施例的附圖，而不是全部的附圖，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖得到其他的附圖。

圖1是一種有機(jī)發(fā)光顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種有機(jī)發(fā)光顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備方法的流程示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的載體基板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的在載體基板上形成粘結(jié)層的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的在粘結(jié)層上形成金屬沉積層的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的在金屬沉積層上形成無機(jī)層的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8是本發(fā)明實(shí)施例提供的在無機(jī)層上形成柔性基板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9是本發(fā)明實(shí)施例提供的在柔性基板上形成有機(jī)發(fā)光顯示元件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10是本發(fā)明實(shí)施例提供的剝離載體基板，得到有機(jī)發(fā)光顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種顯示裝置的示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，以下將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，通過具體實(shí)施方式，完整地描述本發(fā)明的技術(shù)方案。顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例，基于本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下獲得的所有其他實(shí)施例，均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

圖1是一種有機(jī)發(fā)光顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖1，有機(jī)發(fā)光顯示面板包括：

下保護(hù)膜110；

位于下保護(hù)膜110上的柔性基板120；

位于柔性基板120上遠(yuǎn)離下保護(hù)膜110一側(cè)的有機(jī)發(fā)光顯示元件130。

上述有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備過程中，需要在載體基板上制備有機(jī)發(fā)光顯示面板，有機(jī)發(fā)光顯示面板制備完成后，再把載體基板取下。但是在載體基板取下過程中，無論采用哪種取下方法，都容易產(chǎn)生靜電，靜電會(huì)對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示面板造成干擾，影響顯示面板的顯示效果。并且，在柔性基板120下需要貼附下保護(hù)膜110，用于對(duì)柔性基板120進(jìn)行保護(hù)，但是在下保護(hù)膜110的貼附壓合過程中容易對(duì)柔性基板120造成損傷，進(jìn)而對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示面板造成損傷，影響有機(jī)發(fā)光顯示面板的顯示效果。

針對(duì)上述問題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種有機(jī)發(fā)光顯示面板，圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種有機(jī)發(fā)光顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖2，本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光顯示面板可以包括：

金屬沉積層210；

位于金屬沉積層210上的無機(jī)層220；

位于無機(jī)層220上遠(yuǎn)離金屬沉積層210一側(cè)的柔性基板230；

位于柔性基板230上遠(yuǎn)離無機(jī)層220一側(cè)的有機(jī)發(fā)光顯示元件240。

其中，金屬沉積層210可以通過在載體基板上沉積金屬材料形成，其厚度可以為0.5-3nm，金屬沉積層210中包含大量自由導(dǎo)電粒子，因此在載體基板的取下過程中，金屬沉積層210可以用于屏蔽載體基板取下過程中產(chǎn)生的靜電，避免靜電對(duì)顯示面板造成干擾?？蛇x的，金屬沉積層210的材料可以為金、銀、銅、鋁、鋅、鐵以及鎳中的至少一種。

無機(jī)層220位于金屬沉積層210之上，無機(jī)層220的材料可以為氮化硅和/或氧化鋁，由于無機(jī)層220上形成有機(jī)發(fā)光顯示元件，水汽和氧氣會(huì)影響有機(jī)發(fā)光顯示元件的顯示效果，氮化硅和/或氧化鋁具有良好的致密性，因此無機(jī)層220選用氮化硅和/或氧化鋁可以用于隔絕水汽和/或氧氣，防止水汽和/或氧氣進(jìn)入有機(jī)發(fā)光顯示元件，避免水汽和/或氧氣侵蝕有機(jī)發(fā)光顯示元件，保證有機(jī)發(fā)光顯示元件的顯示效果。同時(shí)，由于在載體基板的取下過程中可能會(huì)產(chǎn)生大量熱量，熱量會(huì)通過金屬沉積層210傳向無機(jī)層220、柔性基板230和有機(jī)發(fā)光顯示元件240，由于無機(jī)層220具有良好的致密性，可以隔絕或者減少熱量向柔性基板230和有機(jī)發(fā)光顯示元件240傳導(dǎo)，保護(hù)柔性基板230和有機(jī)發(fā)光顯示元件240。

柔性基板230位于無機(jī)層220上遠(yuǎn)離金屬沉積層210的一側(cè)，柔性基板230作為有機(jī)發(fā)光顯示面板的基板，具備柔性可變形可彎曲的特點(diǎn)，其材料可以包括聚酰亞胺、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚芳酯以及聚醚砜中的至少一種。

有機(jī)發(fā)光顯示元件240位于柔性基板230上遠(yuǎn)離無機(jī)層220的一側(cè)，有機(jī)發(fā)光顯示元件240可以包括薄膜晶體管(Thin-film Transistor)驅(qū)動(dòng)電路241、有機(jī)發(fā)光器件層242和封裝層243。可選的，TFT驅(qū)動(dòng)電路241可以是頂柵結(jié)構(gòu),從下到上依次包括有源層、柵極絕緣層、柵極、層間絕緣層、源極和漏極；TFT驅(qū)動(dòng)電路241還可以為底柵結(jié)構(gòu)，從下到上依次包括柵極、柵絕緣層、有源層、源極和漏極，本發(fā)明實(shí)施例中不對(duì)TFT驅(qū)動(dòng)電路241具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行限制?？蛇x的，有機(jī)發(fā)光器件層242可以包括陽極層、陰極層以及位于陽極層與陰極層之間的有機(jī)發(fā)光材料層。封裝層243可以包括有機(jī)封裝層和無機(jī)封裝層，封裝層243用于對(duì)有機(jī)發(fā)光器件層242進(jìn)行封裝保護(hù)。

需要說明的是，圖2中所示的有機(jī)發(fā)光顯示元件240中的TFT驅(qū)動(dòng)電路241有機(jī)發(fā)光器件層242和封裝層243雖然以上下堆疊的形式體現(xiàn)，但是圖2僅以示意圖的形式說明了有機(jī)發(fā)光顯示元件的位置關(guān)系，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白有機(jī)發(fā)光顯示元件的在有機(jī)顯示面板中的位置關(guān)系，這里不再贅述。

本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光顯示面板，金屬沉積層可以用于在載體基板的取下過程中，屏蔽載體基板取下過程中產(chǎn)生的靜電，避免靜電對(duì)顯示面板造成干擾，保證有機(jī)發(fā)光顯示面板的顯示質(zhì)量，并且，金屬沉積層位于柔性基板下方，可以直接作為有機(jī)發(fā)光顯示面板的下保護(hù)膜，不必再次貼附下保護(hù)膜，可以避免下保護(hù)膜的貼附壓合過程中對(duì)柔性基板造成損傷，進(jìn)而避免對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示面板造成損傷。進(jìn)一步的，本發(fā)明實(shí)施例中提供的有機(jī)發(fā)光顯示面板還包括無機(jī)層，無機(jī)層可以起到隔絕水汽和/或氧氣的作用，避免水汽和/或氧氣對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示面板造成侵蝕，同時(shí)無機(jī)層還可以隔絕或者減少載體基板取下過程中產(chǎn)生的熱量，避免熱量向有機(jī)發(fā)光顯示元件傳導(dǎo)，保證有機(jī)發(fā)光顯示面板的顯示效果。

可選的，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備方法，圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備方法的流程示意圖，參考圖3，本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備方法可以包括：

S310、提供一載體基板。

示例性的，圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的載體基板的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖4所示，載體基板200的形狀與實(shí)際應(yīng)用相關(guān)，可以為矩形或者圓形，本發(fā)明實(shí)施例中不對(duì)載體基板200的形狀進(jìn)行限定。載體基板200為硬質(zhì)基板，可選的，載體基板200可以為玻璃基板，也可以是其他剛性材料制備而形成的基板。

S320、在所述載體基板上沉積金屬，形成金屬沉積層。

可選的，在載體基板200上沉積金屬，形成金屬沉積層210之前，還可以包括：

在載體基板200上涂布粘結(jié)劑，形成粘結(jié)層201，金屬沉積層210沉積在粘結(jié)層201上。

如圖5所示，如5是本發(fā)明實(shí)施例提供的在載體基板上形成粘結(jié)層的結(jié)構(gòu)示意圖，在載體基板200形成粘結(jié)層201，粘結(jié)層201的厚度較小，具體可以是小于載體基板的厚度。可選的，可以采用涂布粘結(jié)劑的形式形成粘結(jié)層，例如采用噴涂或者旋轉(zhuǎn)涂布的方式形成粘結(jié)層，還可以是其他方式，例如直接在載體基板200上貼附粘結(jié)層201，本發(fā)明實(shí)施例不對(duì)粘結(jié)層的形成方式進(jìn)行限定，只需在載體基板200上形成粘結(jié)層201即可，通過粘結(jié)層201沉積金屬，這樣，既可以保證金屬沉積層210與載體基板200形成良好粘結(jié)關(guān)系，又可以在載體基板200的取下過程中避免對(duì)金屬沉積層210造成損傷?？蛇x的，所述粘結(jié)劑可以為聚酰亞胺，還可以為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚芳酯或者聚醚砜中的至少一種。

如圖6所示，圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的在粘結(jié)層上形成金屬沉積層的結(jié)構(gòu)示意圖，在粘結(jié)層201上沉積金屬，形成金屬沉積層210?？蛇x的，金屬沉積層210的厚度可以為0.5-3nm，金屬沉積層210的材料可以為、銀、銅、鋁、鋅、鐵以及鎳中的至少一種。由于金屬沉積層210中包含大量的自由導(dǎo)電粒子，導(dǎo)電粒子可以將載體基板200剝離過程中產(chǎn)生的靜電導(dǎo)走，避免靜電對(duì)顯示面板造成干擾。

S330、在所述金屬沉積層上遠(yuǎn)離所述載體基板的一側(cè)形成無機(jī)層。

圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的在金屬沉積層上形成無機(jī)層的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖7所示，在金屬沉積層210遠(yuǎn)離載體基板200的一側(cè)形成無機(jī)層220，無機(jī)層220的材料可以為氮化硅和/或氧化鋁等致密性良好的材料，防止水汽和/或氧氣進(jìn)入有機(jī)發(fā)光顯示元件，對(duì)顯示元件造成侵蝕。

S340、在所述無機(jī)層遠(yuǎn)離所述金屬沉積層的一側(cè)形成柔性基板，所述柔性基板覆蓋所述無機(jī)層的表面。

圖8是本發(fā)明實(shí)施例提供的在無機(jī)層上形成柔性基板的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖8所示，在無機(jī)層220遠(yuǎn)離金屬沉積層210的一側(cè)形成柔性基板230，柔性基板230作為有機(jī)發(fā)光顯示面板的襯底基板，具備柔性可變形可彎曲的特點(diǎn)，可選的，柔性基板230的材料可以包括聚酰亞胺、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚芳酯以及聚醚砜中的至少一種。需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例不對(duì)柔性基板230的材料作具體限定，無論選擇何種材料，其必須具備一定的伸展性，才能形成柔性基板。

可選的，在無機(jī)層220遠(yuǎn)離金屬沉積層210的一側(cè)形成柔性基板230，可以包括:

在無機(jī)層220遠(yuǎn)離金屬沉積層210的一側(cè)涂布有機(jī)高分子材料；

固化所述有機(jī)高分子材料形成柔性基板230。

示例性的，可以在無機(jī)層220遠(yuǎn)離金屬沉積層210的一側(cè)采用涂布的方式沉積大量有機(jī)高分子材料，將所述有機(jī)高分子材料固化形成柔性基板230?？蛇x的，固化有機(jī)高分子材料可以是常溫固化也可以是中高溫固化，還可以是光固化，可以根據(jù)高分子材料的屬性特征選擇具體的固化方式，本發(fā)明實(shí)施例不對(duì)固化方式進(jìn)行限定。

可選的，所述有機(jī)高分子材料可以包括下述至少一種：

聚酰亞胺、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚芳酯以及聚醚砜。

S350、所述柔性基板上遠(yuǎn)離所述無機(jī)層的一側(cè)形成有機(jī)發(fā)光顯示元件。

圖9是本發(fā)明實(shí)施例提供的在柔性基板上形成有機(jī)發(fā)光顯示元件的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖9所示，有機(jī)發(fā)光顯示元件240可以包括TFT驅(qū)動(dòng)電路241、有機(jī)發(fā)光器件層242和封裝層243，可選的，在柔性基板230上遠(yuǎn)離無機(jī)層220的一側(cè)形成有機(jī)發(fā)光顯示元件240，可以包括：

在柔性基板230上遠(yuǎn)離無機(jī)層220的一側(cè)制作TFT驅(qū)動(dòng)電路層241；

在TFT驅(qū)動(dòng)電路層241上遠(yuǎn)離柔性基板230的一側(cè)制作有機(jī)發(fā)光器件層242；

在有機(jī)發(fā)光器件層242上遠(yuǎn)離TFT驅(qū)動(dòng)電路層241的一側(cè)制作封裝層243。

示例性的，TFT驅(qū)動(dòng)電路241可以是頂柵結(jié)構(gòu),還可以為底柵結(jié)構(gòu)，本發(fā)明實(shí)施例中不對(duì)TFT驅(qū)動(dòng)電路241具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行限制。有機(jī)發(fā)光器件層242可以包括陽極層、陰極層以及位于陽極層與陰極層之間的有機(jī)發(fā)光材料層。封裝層243可以包括有機(jī)封裝層和無機(jī)封裝層，封裝層243用于對(duì)有機(jī)發(fā)光器件層242進(jìn)行封裝保護(hù)。

S360、剝離所述載體基板，使所述載體基板與所述金屬沉積層分離，得到有機(jī)發(fā)光顯示面板，所述金屬沉積層為所述有機(jī)發(fā)光顯示面板的下保護(hù)膜層。

圖10是本發(fā)明實(shí)施例提供的剝離載體基板，得到有機(jī)發(fā)光顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖10所示，在制備完成有機(jī)發(fā)光顯示元件240之后，將載體基板200從有機(jī)發(fā)光顯示裝置上剝離開來，使載體基板200與金屬沉積層210分離，得到最終需要的有機(jī)發(fā)光顯示面板，金屬沉積層210可以直接作為有機(jī)發(fā)光顯示面板的下保護(hù)膜。

可選的，由于金屬沉積層210通過粘結(jié)層201與載體基板200連接，因此可以使用激光剝離技術(shù)剝離載體基板200，具體的，使用激光束掃描粘結(jié)層201，粘結(jié)層201經(jīng)過激光束掃描后會(huì)發(fā)生老化，粘著性能降低，使得載體基板200比較容易地從金屬沉積層210上剝離下來，可以避免載體基板200取下過程中對(duì)金屬沉積層210造成損傷?？蛇x的，還可以使用其他剝離方法將載體基板200從金屬沉積層210上剝離下來，例如通過刻蝕粘結(jié)層201的方法剝離載體基板200。

本發(fā)明實(shí)施例提供的有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備方法，在載體基板上沉積金屬形成金屬沉積層，在金屬沉積層上形成無機(jī)層，在無機(jī)層上形成有機(jī)發(fā)光顯示元件，通過金屬沉積層，將剝離載體基板過程中產(chǎn)生的靜電導(dǎo)走，避免剝離載體基板過程中產(chǎn)生的靜電對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示面板造成損傷，保證有機(jī)發(fā)光顯示面板的顯示質(zhì)量；并且，金屬沉積層可以直接作為有機(jī)發(fā)光顯示面板的下保護(hù)膜，不必再在有機(jī)發(fā)光顯示面板制備完成之后另外制備下保護(hù)膜，節(jié)省有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備流程，提升有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備效率；同時(shí)，金屬沉積層直接作為下保護(hù)膜可以避免下保護(hù)膜單獨(dú)制備壓合過程中對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示面板造成損傷，提升有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備良率；在金屬沉積層上制備無機(jī)層，無機(jī)層具備良好的水汽和/或氧氣的隔絕功能，可以避免水汽和/或氧氣進(jìn)入有機(jī)發(fā)光顯示元件內(nèi)部，對(duì)顯示元件造成侵蝕，保證有機(jī)發(fā)光顯示元件的顯示性能，進(jìn)而保證整個(gè)有機(jī)發(fā)光顯示面板的顯示性能，提升有機(jī)發(fā)光顯示面板的制備良率。

圖11是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種顯示裝置的示意圖，參考圖11，顯示裝置30可以包括本發(fā)明任意實(shí)施例所述的有機(jī)發(fā)光顯示面板20。顯示裝置30可以為圖11所示的手機(jī)，也可以為電腦、電視機(jī)、智能穿戴顯示裝置等，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不作特殊限定。

注意，上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用技術(shù)原理。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)理解，本發(fā)明不限于這里所述的特定實(shí)施例，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說能夠進(jìn)行各種明顯的變化、重新調(diào)整和替代而不會(huì)脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，雖然通過以上實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了較為詳細(xì)的說明，但是本發(fā)明不僅僅限于以上實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的情況下，還可以包括更多其他等效實(shí)施例，而本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求范圍決定。