本實用新型涉及太陽能電池的制備，尤其涉及一種用于管式PECVD的陶瓷桿及相應(yīng)的石墨舟。

背景技術(shù)：

常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續(xù)能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前，在所有的太陽電池中，晶體硅太陽電池是得到大范圍商業(yè)推廣的太陽能電池之一，這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲量，同時晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優(yōu)異的電學(xué)性能和機械性能，因此，晶體硅太陽電池在光伏領(lǐng)域占據(jù)著重要的地位。

在晶體硅太陽能電池生產(chǎn)過程中，需要在硅片表面通過PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）設(shè)備制備一層氮化硅減反射膜，石墨舟是其中的重要部件，直接影響到電場的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)等。在管式PECVD中，各石墨舟片通過陶瓷桿連接構(gòu)成石墨舟，而陶瓷桿在使用過程中極易斷裂，斷裂后無法使用，造成生產(chǎn)成本的增加及庫存壓力的增大。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種使用壽命長的用于管式PECVD的陶瓷桿及相應(yīng)的石墨舟。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：一種用于管式PECVD的陶瓷桿，包括一石墨芯棒，石墨芯棒外設(shè)有一陶瓷套，陶瓷套兩端的外周面上開設(shè)有螺紋；

所述石墨芯棒和陶瓷套之間至少在石墨芯棒的兩端設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。

為達到上述目的，本實用新型采用的另一技術(shù)方案是：一種石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片上開設(shè)有通孔，各石墨舟片通過貫穿在通孔內(nèi)的陶瓷桿固定連接成舟體，相鄰兩片石墨舟片之間的陶瓷桿上套裝有陶瓷管，每個陶瓷桿的兩端通過石墨螺母固定在最外側(cè)的兩片石墨舟片上；

所述陶瓷桿包括一石墨芯棒，石墨芯棒外設(shè)有一陶瓷套，陶瓷套兩端的外周面上對應(yīng)于所述石墨螺母開設(shè)有螺紋；

所述石墨芯棒和陶瓷套之間至少在石墨芯棒的兩端設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。

上述方案中，所述定位結(jié)構(gòu)包括卡齒和卡槽。

優(yōu)選地，所述卡齒設(shè)于石墨芯棒的兩端的外周面上，所述卡槽對應(yīng)于卡齒開設(shè)于陶瓷套上，卡齒與卡槽配合以實現(xiàn)石墨芯棒和陶瓷套之間的定位。

上述方案中，所述石墨芯棒的外表面與陶瓷套的內(nèi)表面貼合。

上述方案中，所述陶瓷套的厚度小于石墨芯棒的直徑。

上述方案中，所述石墨芯棒沿其軸向為兩端細中間粗的結(jié)構(gòu)，石墨芯棒與陶瓷套螺紋段對應(yīng)的兩端的直徑小于中間段的直徑。

由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點：

1．本實用新型在陶瓷套內(nèi)嵌入石墨芯棒，陶瓷套和石墨芯棒為一體結(jié)構(gòu)，兩者之間無縫隙，石墨芯棒不易斷裂，即便陶瓷套斷裂，由于卡齒存在，陶瓷套不會掉落，仍可繼續(xù)使用；

2. 本實用新型的使用壽命相較于現(xiàn)有的純陶瓷桿大大增加；

3. 本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用可靠、適于推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例一陶瓷桿結(jié)構(gòu)剖視圖。

圖2為本實用新型實施例二石墨舟片結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實用新型實施例二陶瓷管立體圖。

圖4為本實用新型實施例二石墨舟結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1、石墨芯棒；2、陶瓷套；3、螺紋；4、卡齒；5、石墨舟片；6、陶瓷管；7、石墨螺母；8、通孔。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：

實施例一：

參見圖1所示，一種用于管式PECVD的陶瓷桿，包括一石墨芯棒1，石墨芯棒1外設(shè)有一陶瓷套2，陶瓷套2兩端的外周面上開設(shè)有螺紋3；

所述石墨芯棒1和陶瓷套2之間設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。

所述定位結(jié)構(gòu)包括卡齒4和卡槽。

所述卡齒4設(shè)于石墨芯棒1的兩端的外周面上，所述卡槽對應(yīng)于卡齒4開設(shè)于陶瓷套2上，卡齒4與卡槽配合以實現(xiàn)石墨芯棒1和陶瓷套2之間的定位。

所述石墨芯棒1的外表面與陶瓷套2的內(nèi)表面貼合。

所述陶瓷套2的厚度小于石墨芯棒1的直徑。

所述石墨芯棒1沿其軸向為兩端細中間粗的結(jié)構(gòu)，石墨芯棒1與陶瓷套2螺紋段對應(yīng)的兩端的直徑小于中間段的直徑。

實施例二：

參見圖2~圖4所示，各石墨舟片5上開設(shè)有多個通孔8，各石墨舟片5通過貫穿在通孔8內(nèi)的陶瓷桿固定連接成舟體，相鄰兩片石墨舟片5之間的陶瓷桿上套裝有陶瓷管6，每個陶瓷桿的兩端通過石墨螺母7固定在最外側(cè)的兩片石墨舟片5上，以此構(gòu)成石墨舟。

所述石墨芯棒1和陶瓷套2之間設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。

所述定位結(jié)構(gòu)包括卡齒4和卡槽。

所述卡齒4設(shè)于石墨芯棒1的兩端的外周面上，所述卡槽對應(yīng)于卡齒4開設(shè)于陶瓷套2上，卡齒4與卡槽配合以實現(xiàn)石墨芯棒1和陶瓷套2之間的定位。

所述石墨芯棒1的外表面與陶瓷套2的內(nèi)表面貼合。

上述實施例中，在石墨芯棒1的兩端設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)，在實際應(yīng)用中，石墨芯棒1的中段也可以設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)，而定位結(jié)構(gòu)除了采用卡齒4以外，還可以采用定位銷或粘接定位等方式。

上述實施例中，卡齒4設(shè)于石墨芯棒1上，卡槽設(shè)于陶瓷套2上，在實際應(yīng)用中，若將卡齒4設(shè)于陶瓷套2上，卡槽設(shè)于石墨芯棒1上，也可達到相同效果，只要能夠?qū)崿F(xiàn)陶瓷套2斷裂后，兩端的陶瓷套2仍固定在石墨芯棒1上以阻止陶瓷套2從石墨芯棒1上脫落即可。