本實用新型涉及一種干式刻蝕機的晶片托盤，屬于刻蝕機技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

托盤是使用在干式刻蝕設(shè)備中用來放置藍寶石晶片，設(shè)備內(nèi)部供給特殊氣體形成等離子，并按固定的規(guī)則、模樣來刻蝕放在托盤上的藍寶石晶片，現(xiàn)有技術(shù)的托盤上放置藍寶石晶片后用夾緊器將晶片固定住，避免刻蝕過程中藍寶石晶片的挪動，夾緊器嚴(yán)重妨礙了氣體流動，造成產(chǎn)品刻蝕品質(zhì)下降。為了解決上述困難，需要開發(fā)一款能使氣體順利流動的干式刻蝕機的晶片托盤。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種干式刻蝕機的晶片托盤。

本實用新型要解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)的托盤嚴(yán)重妨礙了氣體流動的問題。

為實現(xiàn)本實用新型的目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：

一種干式刻蝕機的晶片托盤，包括第二滑軌、控制器、支桿、第二滑塊、第三氣缸、夾槽、第一滑軌、第一氣缸、第二氣缸、第一滑塊、第一夾板、氦氣供給管、卡槽、底臺、第一抵板、第二抵板、第二夾板和第四氣缸，所述底臺上安裝卡槽，底臺和卡槽上均安裝氦氣供給管，卡槽左右兩側(cè)各安裝夾槽，夾槽內(nèi)安裝第一滑軌，第一滑軌上安裝第一滑塊，第一滑塊右側(cè)安裝第一夾板，第二氣缸安裝在卡槽內(nèi)，第二氣缸的活塞桿與第一夾板相連，卡槽內(nèi)安裝第一氣缸，第一夾板設(shè)有第一小洞，第一氣缸的活塞桿從第一小洞穿過第一夾板，第一氣缸的活塞桿上安裝第一抵板，卡槽上安裝第三氣缸，第三氣缸的活塞桿上安裝支桿，支桿右側(cè)安裝第二滑塊，第二滑塊安裝在第二滑軌上，第二滑軌安裝在卡槽右側(cè)，第二滑塊右側(cè)安裝第二夾板，第二夾板內(nèi)安裝第四氣缸，第二夾板上設(shè)有第二小洞，第四氣缸的活塞桿從第二小洞伸出第二夾板外，第四氣缸的活塞桿上安裝第二抵板，控制器安裝在夾槽上。

所述第一氣缸內(nèi)置第一電磁閥，第一電磁閥通過導(dǎo)線與控制器相連。

所述第二氣缸內(nèi)置第二電磁閥，第二電磁閥通過導(dǎo)線與控制器相連。

所述第三氣缸內(nèi)置第三電磁閥，第三電磁閥通過導(dǎo)線與控制器相連。

所述第四氣缸內(nèi)置第四電磁閥，第四電磁閥通過導(dǎo)線與控制器相連。

本實用新型的優(yōu)點是：將藍寶石晶片放置在卡槽上，控制器控制第二氣缸做收縮運動，使第一夾板向左移動，使第一滑塊向左移動，使第一夾板離開藍寶石晶片；控制器控制第一氣缸做伸展運動，使第一抵板向右移動，使第一抵板抵住藍寶石晶片，避免藍寶石晶片移動；控制器控制第三氣缸做伸展運動，使支桿向上移動，使第二滑塊向上移動，使第二夾板向上移動，使第二夾板離開藍寶石晶片；控制器控制第四氣缸做伸展運動，使第二抵板向下移動，使第二抵板抵住藍寶石晶片，避免藍寶石晶片移動；刻蝕過程中，階段性的使第一夾板和第二夾板離開藍寶石晶片，能使氣體順利流動。

附圖說明

圖1是本實用新型一種干式刻蝕機的晶片托盤整體結(jié)構(gòu)圖；

圖中：1、第二滑軌 2、控制器 3、支桿 4、第二滑塊 5、第三氣缸 6、夾槽 7、第一滑軌 8、第一氣缸 9、第二氣缸 10、第一滑塊 11、第一夾板 12、氦氣供給管 13、卡槽 14、底臺 15、第一抵板 16、第二抵板 17、第二夾板 18、第四氣缸。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步的說明。

本實用新型一種干式刻蝕機的晶片托盤，包括第二滑軌1、控制器2、支桿3、第二滑塊4、第三氣缸5、夾槽6、第一滑軌7、第一氣缸8、第二氣缸9、第一滑塊10、第一夾板11、氦氣供給管12、卡槽13、底臺14、第一抵板15、第二抵板16、第二夾板17和第四氣缸18，所述底臺14上安裝卡槽13，底臺14和卡槽13上均安裝氦氣供給管12，卡槽13左右兩側(cè)各安裝夾槽6，夾槽6內(nèi)安裝第一滑軌7，第一滑軌7上安裝第一滑塊10，第一滑塊10右側(cè)安裝第一夾板11，第二氣缸9安裝在卡槽13內(nèi)，第二氣缸9內(nèi)置第二電磁閥，第二電磁閥通過導(dǎo)線與控制器2相連，將藍寶石晶片放置在卡槽13上，控制器2控制第二氣缸9做收縮運動，使第一夾板11向左移動，使第一滑塊10向左移動，使第一夾板11離開藍寶石晶片；第二氣缸9的活塞桿與第一夾板11相連，卡槽13內(nèi)安裝第一氣缸8，第一氣缸8內(nèi)置第一電磁閥，第一電磁閥通過導(dǎo)線與控制器2相連，控制器2控制第一氣缸8做伸展運動，使第一抵板15向右移動，使第一抵板15抵住藍寶石晶片，避免藍寶石晶片移動；第一夾板11設(shè)有第一小洞，第一氣缸8的活塞桿從第一小洞穿過第一夾板11，第一氣缸8的活塞桿上安裝第一抵板15，卡槽13上安裝第三氣缸5，第三氣缸5內(nèi)置第三電磁閥，第三電磁閥通過導(dǎo)線與控制器2相連，控制器2控制第三氣缸5做伸展運動，使支桿3向上移動，使第二滑塊4向上移動，使第二夾板17向上移動，使第二夾板17離開藍寶石晶片；第三氣缸5的活塞桿上安裝支桿3，支桿3右側(cè)安裝第二滑塊4，第二滑塊4安裝在第二滑軌1上，第二滑軌1安裝在卡槽13右側(cè)，第二滑塊4右側(cè)安裝第二夾板17，第二夾板17內(nèi)安裝第四氣缸18，第四氣缸18內(nèi)置第四電磁閥，第四電磁閥通過導(dǎo)線與控制器2相連，控制器2控制第四氣缸18做伸展運動，使第二抵板16向下移動，使第二抵板16抵住藍寶石晶片，避免藍寶石晶片移動；第二夾板17上設(shè)有第二小洞，第四氣缸18的活塞桿從第二小洞伸出第二夾板17外，第四氣缸18的活塞桿上安裝第二抵板16，刻蝕過程中，階段性的使第一夾板11和第二夾板17離開藍寶石晶片，能使氣體順利流動，控制器2安裝在夾槽6上。

本實用新型使用方法：將藍寶石晶片放置在卡槽13上，控制器2控制第二氣缸9做收縮運動，使第一夾板11向左移動，使第一滑塊10向左移動，使第一夾板11離開藍寶石晶片；控制器2控制第一氣缸8做伸展運動，使第一抵板15向右移動，使第一抵板15抵住藍寶石晶片，避免藍寶石晶片移動；控制器2控制第三氣缸5做伸展運動，使支桿3向上移動，使第二滑塊4向上移動，使第二夾板17向上移動，使第二夾板17離開藍寶石晶片；控制器2控制第四氣缸18做伸展運動，使第二抵板16向下移動，使第二抵板16抵住藍寶石晶片，避免藍寶石晶片移動；刻蝕過程中，階段性的使第一夾板11和第二夾板17離開藍寶石晶片，能使氣體順利流動。