本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓固定裝置及具有所述晶圓固定裝置的晶圓盒。

背景技術(shù)：

在集成電路生產(chǎn)制造過程中，為了確保晶圓的安全儲存、搬運(yùn)，避免破損和污染，廣泛運(yùn)用晶圓盒作為晶圓的承載及運(yùn)輸工具。

通常，晶圓通過一晶舟存放于晶圓盒內(nèi)，所述晶舟的內(nèi)部設(shè)置有多個用于承載晶圓的槽位，通過所述槽位可將每一片晶圓單獨(dú)隔開擺放，避免產(chǎn)生晶圓與晶圓之間的摩擦，造成晶圓表面的磨損，同時減小晶圓在晶圓盒內(nèi)的晃動，最大程度上保證儲存及運(yùn)輸?shù)倪^程中晶圓是完好無損的。

然而，晶舟的內(nèi)部雖然設(shè)置有槽位，但是晶舟的底部為鏤空結(jié)構(gòu)。當(dāng)晶圓通過晶舟放置于晶圓盒內(nèi)時，晶舟內(nèi)的槽位可于晶圓的兩側(cè)支撐及固定晶圓，但是晶圓的底部卻無任何支撐。在晶圓的運(yùn)輸過程中，由于所采用的晶圓盒對晶圓的固定不佳，很容易發(fā)生晶圓晃動，尤其是當(dāng)發(fā)生有撞擊或野蠻操作時，常常出現(xiàn)晶圓脫離原來的槽位，甚至發(fā)生破片的現(xiàn)象。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓固定裝置，采用所述晶圓固定裝置可協(xié)助更好的固定住晶圓，防止晶圓發(fā)生劇烈晃動。

本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種具有所述晶圓固定裝置的晶圓盒，以解決現(xiàn)有的晶圓盒對晶圓固定不佳，從而導(dǎo)致于晶圓的存放及運(yùn)輸過程中，晶圓盒內(nèi)的晶圓脫離原來的槽位，甚至發(fā)生破片的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種晶圓固定裝置，包括框體及設(shè)置于所述框體內(nèi)的多個間隔排列的支撐部，相鄰的兩個支撐部形成用于固定一晶圓的卡槽。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述框體包括第一擋板、第二擋板以及連接所述第一擋板和第二擋板的連接部，所述第一擋板和第二擋板與所述連接部限定一容置空間，所述支撐部固定于所述容置空間內(nèi)。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述第一擋板包括第一平板部、由所述第一平板部的三邊向外延伸形成的第一延伸部以及兩個連接所述第一延伸部的支撐條。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述第二擋板包括第二平板部以及由所述第二平板部向外彎折形成的第二延伸部。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述連接部為兩根平行設(shè)置的支撐桿，所述第一擋板和第二擋板連接于所述兩根支撐桿的兩端。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述連接部為一平板，所述第一擋板和第二擋板連接于所述平板的兩端。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述支撐部平行設(shè)置于所述連接部上并與所述連接部連接。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述支撐部的形狀為梯形框架、三角形框架、橢圓形框架或矩形框架。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述支撐部的形狀為梯形平板、三角形平板、橢圓形平板或矩形平板。

可選的，在所述的晶圓固定裝置中，所述框體上還設(shè)置有固定卡口。

此外，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓盒，包括一盒體，還包括如上所述的晶圓固定裝置，所述晶圓固定裝置放置于所述盒體內(nèi)。

可選的，在所述的晶圓盒中，所述盒體內(nèi)部設(shè)置有一條狀凸起，所述晶圓固定裝置通過所述條狀凸起固定于所述盒體內(nèi)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的晶圓固定裝置，包括框體及設(shè)置于所述框體內(nèi)的多個間隔排列的支撐部，相鄰的兩個支撐部形成用于固定晶圓的卡槽，因此應(yīng)用所述晶圓固定裝置可協(xié)助固定晶圓，防止晶圓產(chǎn)生劇烈晃動。同時，所述晶圓固定裝置也可應(yīng)用于晶圓盒內(nèi)，增加晶圓盒對晶圓的固定強(qiáng)度。將晶圓固定裝置放置于晶圓盒底部，當(dāng)使用所述晶圓盒存放晶圓時，所述晶圓固定裝置中的卡槽可有效的固定住晶圓的底部，從而在晶圓的運(yùn)輸過程中，甚至發(fā)生撞擊時，也可避免晶圓脫離原來的槽位，進(jìn)而使晶圓的表面造成磨損，甚至破片的現(xiàn)象。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓固定裝置的框體的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓固定裝置的支撐部的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒中晶圓固定裝置的尺寸標(biāo)示圖；

圖6為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓固定裝置固定晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，

100‐晶圓固定裝置；110‐框體；112‐第一擋板；113‐第二擋板；111‐連接部；112a‐第一平板；112b‐第一延伸部；112c、112d‐支撐條；113a‐第二平板部；113b‐第二延伸部；120‐支撐部；114‐固定卡口；

210‐盒體；211‐條狀凸起；

300‐晶舟；310‐槽位；

400‐晶圓。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型提出的晶圓盒作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

實(shí)施例一

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓固定裝置的支撐部的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1及圖2所示，所述晶圓固定裝置100包括框體110及設(shè)置于所述框體110內(nèi)的多個間隔排列的支撐部120，相鄰的兩個所述支撐部120形成用于固定晶圓的卡槽。由于晶圓固定裝置100具有用于固定晶圓的卡槽，因此可協(xié)助固定晶圓，防止晶圓產(chǎn)生劇烈晃動。

重點(diǎn)參考圖2，所述框體110包括第一擋板112、第二擋板113以及連接所述第一擋板112和第二擋板113的連接部111，所述第一擋板112和第二擋板113與所述連接部111限定一容置空間，所述支撐部120固定于所述容置空間內(nèi)。當(dāng)將所述晶圓固定裝置100放置于晶圓盒中時，所述第一擋板112和第二擋板113可用于固定所述晶圓固定裝置100，確保晶圓固定裝置100于晶圓盒或其他存放晶圓的結(jié)構(gòu)中不發(fā)生晃動。

本實(shí)施例中，所述第一擋板112包括第一平板部112a、由所述第一平板部112a的三邊向外延伸形成的第一延伸部112b以及兩個連接所述第一延伸部112b的支撐條112c、112d。所述第二擋板113包括第二平板部113a以及由所述第二平板部113a向外彎折一定角度形成的第二延伸部113b。在其他實(shí)施例中，所述第一擋板112和第二擋板113也可以是其它形狀，例如一平板狀結(jié)構(gòu)，只要與晶圓盒的形狀匹配。

繼續(xù)參考圖2所示，本實(shí)施例中，所述連接部111為兩個平行的支撐桿，所述第一擋板112和第二擋板113連接于所述兩根支撐桿的兩端，所述支撐桿用于固定支撐部120。此外，在其他實(shí)施例中，所述連接部111也可以為一平板，所述第一擋板112和第二擋板113連接于所述平板的兩端。

接著參考圖3所示，所述支撐部120平行設(shè)置于所述連接部111上并與所述連接部111連接。本實(shí)施例中，所述支撐部120為梯形框架。然而本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，所述支撐部120的形狀也可以為其他框架形狀，比如三角形框架，橢圓形框架，矩形框架。并且，所述支撐部120的形狀也可以為平板狀結(jié)構(gòu)，比如梯形平板、三角形平板、橢圓形平板、矩形平板等。

為能夠更好的將所述晶圓固定裝置100固定于晶圓盒或其他存放晶圓的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的，于所述框體110上還設(shè)置有固定卡口114，可通過所述固定卡口114將晶圓固定裝置100固定于一晶圓盒中，保證晶圓固定裝置100的穩(wěn)固。其中，所述固定卡口114的形狀及位置，可根據(jù)應(yīng)用所述晶圓固定裝置100的實(shí)際物件的結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)置。例如，所述固定卡口114設(shè)置于所述第一擋板112上。

其中，晶圓固定裝置的材料可以與晶圓盒的盒體的材料相同，例如為聚乙烯或聚丙烯。

實(shí)施例二

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓盒的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，其包括盒蓋及盒體210，并且還包括放置于所述盒體210底部的晶圓固定裝置100，所述晶圓固定裝置100包括框體110及設(shè)置于所述框體110內(nèi)的多個間隔排列的支撐部120，相鄰的兩個所述支撐部120形成用于固定晶圓的卡槽。另外，于所述晶圓盒的盒體210上，具有一條狀凸起211。對應(yīng)的，所述固定卡口114可設(shè)置于所述第一擋板112上，并且其位置與所述條狀凸起211相對應(yīng)。通過所述固定卡口114與所述條狀凸起211相互咬合，可避免所述晶圓固定裝置100于盒體210內(nèi)左右晃動。

利用本實(shí)用新型提供的底部具有晶圓固定裝置100的晶圓盒來存儲及運(yùn)輸晶圓時，由于所述晶圓固定裝置100設(shè)置有多個卡槽，所述卡槽可有效的固定住晶圓的底部，可增加晶圓盒對晶圓的固定強(qiáng)度，從而于晶圓的運(yùn)輸過程中，可有效防止晶圓發(fā)生劇烈晃動，使晶圓產(chǎn)生脫離原來的槽位的現(xiàn)象。并且，本實(shí)用新型提供的具有晶圓固定裝置的晶圓盒，其中所述晶圓固定裝置于晶圓盒內(nèi)可自由拆卸，從而可充分利用閑置的晶圓盒中的晶圓固定裝置，避免造成資源浪費(fèi)。

所述晶圓固定裝置可運(yùn)用于不同尺寸的晶圓盒中。以8英寸晶圓盒為例，參照圖1及圖5所示，所述晶圓固定裝置100的框體110的長度L優(yōu)選為180.1～182.1mm，所述晶圓固定裝置100的框體110的寬度W優(yōu)選為111.8～113.8mm，所述晶圓固定裝置100中支撐部120的高度H優(yōu)選為109.3～111.3mm，所述晶圓固定裝置300中卡槽區(qū)域的長度P為151.4～153.4mm。

圖6為晶圓固定裝置固定晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖。以下結(jié)合圖1至圖6所示，對本實(shí)用新型提供的晶圓固定裝置及具有所述晶圓固定裝置的晶圓盒進(jìn)一步說明。

首先，將晶圓固定裝置放置于晶圓盒中。參考圖4及圖6所示，通過固定卡扣114將晶圓固定裝置100固定于晶圓盒中。其中，所述晶舟300上具有多個沿X軸方向排布的槽位310，所述槽位310用于隔離及承載晶圓400。并且，如圖6所示，所述晶舟300是通過固定晶圓400的兩個邊緣位置，以此來承載及固定晶圓400的。

接著，將承載有晶圓的晶舟放置于晶圓盒中。具體參考圖6所示，將承載有晶圓300的晶舟400，準(zhǔn)確的插入到晶圓固定裝置100的卡槽中。具體的，所述晶圓固定裝置100中卡槽的位置與所述晶舟300中槽位310的位置相互對應(yīng)。進(jìn)一步的，所述卡槽的槽寬度與所述晶舟300的槽位310的槽寬度一致。如此，當(dāng)將承載有晶圓的晶舟放置于具有晶圓固定裝置的晶圓盒中時，所述晶圓可平滑并且準(zhǔn)確的放入到各個卡槽中。

如圖6所示，所述晶舟300于晶圓400的兩側(cè)承載晶圓400，并且于Y軸方向固定晶圓400，同時，X軸方向上分布的多個槽位310可用于隔離晶圓400。但是由于每個槽位310的深度較淺，從而，在晶圓的運(yùn)輸過程中，容易發(fā)生晶圓400脫離原來槽位310的問題。因此，本實(shí)施例中，使用所述晶圓固定裝置100進(jìn)一步的于X軸方向固定晶圓400，從而可防止晶圓脫離原有槽位的問題，進(jìn)一步防止刮傷晶圓表面。

綜上所述，本實(shí)用新型提供了一種可協(xié)助固定晶圓的晶圓固定裝置，應(yīng)用所述晶圓固定裝置可防止晶圓發(fā)生強(qiáng)烈晃動，保證晶圓的安全。將所述晶圓固定裝置應(yīng)用于晶圓盒內(nèi)，可加強(qiáng)晶圓盒對晶圓的固定強(qiáng)度，從而于晶圓的運(yùn)輸過程中，甚至發(fā)生撞擊時，也可避免晶圓盒內(nèi)的晶圓脫離原來的槽位，甚至發(fā)生破片的現(xiàn)象。

上述描述僅是對本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。