本實(shí)用新型涉及一種自動替換料管裝置，尤其是一種一對多的自動替換半導(dǎo)體料管的裝置。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)中，在半導(dǎo)體器件加工過程中，常見的替換半導(dǎo)體料管的方法，要么是手動進(jìn)行替換，要么是一對一的自動替換料管裝置。采樣以上的方式都會存在工作效率低、工人的勞動量大、勞動成本高等缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種一對多的自動替換料管裝置，能夠提高工作效率，保證工作的穩(wěn)定性。

按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述一對多的自動替換料管裝置，其特征是：包括固定座，在固定座上安裝用于固定多個料管的旋轉(zhuǎn)固定裝置、用于推動料管至上料處的推送裝置、用于夾緊料管的夾緊裝置、用于帶動旋轉(zhuǎn)固定裝置、推送裝置和夾緊裝置在水平方向移動的移動裝置以及用于帶動旋轉(zhuǎn)固定裝置、推送裝置和夾緊裝置在豎直方向移動的推動裝置。

進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)固定裝置包括安裝在固定座上的料管固定板，在料管固定板的兩端安裝料管固定件和旋轉(zhuǎn)固定座，旋轉(zhuǎn)固定座上通過軸承安裝旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的上端安裝旋轉(zhuǎn)件，旋轉(zhuǎn)軸的下端與旋轉(zhuǎn)夾緊件連接，料管固定板兩端的旋轉(zhuǎn)夾緊件分別固定在旋轉(zhuǎn)桿的兩端；在所述料管固定板上安裝旋轉(zhuǎn)氣缸，旋轉(zhuǎn)氣缸的活塞桿通過旋轉(zhuǎn)氣缸連接件與旋轉(zhuǎn)桿連接件轉(zhuǎn)動接，旋轉(zhuǎn)連接件連接旋轉(zhuǎn)桿。

進(jìn)一步的，所述推送裝置包括安裝在料管固定板上的第一推送氣缸和第二推送氣缸，第一推送氣缸固定在推送氣缸固定座上，推送氣缸固定座與料管固定板之間設(shè)置滑塊和滑軌；所述第一推送氣缸的活塞桿連接第一料管夾緊件；所述第二推送氣缸的活塞桿與推送氣缸固定座連接。

進(jìn)一步的，所述夾緊裝置包括安裝在料管固定板上的夾緊氣缸，夾緊氣缸的活塞桿連接第二料管夾緊件。

進(jìn)一步的，所述移動裝置包括安裝在固定座上的移動軸，移動軸上設(shè)置能夠沿移動軸移動的移動軸連接塊，移動軸連接塊固定在移動固定板上，移動固定板與料管固定板連接；在所述固定座的兩端安裝第一同步帶輪和第二同步帶輪，在第一同步帶輪和第二同步帶輪上繞設(shè)同步帶；在所述移動固定板上固定同步帶固定座，同步帶固定座內(nèi)設(shè)置滑塊導(dǎo)軌，滑塊導(dǎo)軌上設(shè)置滑塊，滑塊上設(shè)置同步帶壓塊，同步帶壓塊上設(shè)置同步帶蓋板，同步帶設(shè)置在同步帶蓋板和同步帶壓塊之間。

進(jìn)一步的，所述推動裝置包括推動固定板，推動固定板與料管固定板之間連接線性導(dǎo)向軸，在移動固定板上安裝法蘭直線軸承，線性導(dǎo)向軸穿過法蘭直線軸承；在所述移動固定板和推動固定板上分別設(shè)置第一推動氣缸和第二推動氣缸，第一推動氣缸的活塞桿和第二推動氣缸的活塞桿連接。

進(jìn)一步的，還包括用于提供移動裝置的驅(qū)動力的馬達(dá)裝置，馬達(dá)裝置包括馬達(dá)，馬達(dá)的動力輸出端與第二同步帶輪的同步帶輪軸連接。

進(jìn)一步的，在所述移動軸的兩端設(shè)置移動擋件。

進(jìn)一步的，在所述同步帶固定座上設(shè)置同步帶擋件。

進(jìn)一步的，所述馬達(dá)通過馬達(dá)連接件與馬達(dá)固定件連接，馬達(dá)固定件固定在固定座上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：采用本實(shí)用新型所述的一對多的自動換管裝置，不僅能增加整體裝置工作的穩(wěn)定性，而且提高工作效率，還可以減少工人的勞動量，降低生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型所述一對多的自動替換料管裝置的主視圖。

圖2為圖1的D-D剖視圖。

圖3為圖1的B-B剖視圖。

圖4為圖1的仰視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1～圖4所示：所述一對多的自動替換料管裝置包括移動固定板1、法蘭直線軸承2、線性導(dǎo)向軸3、推動固定板4、移動軸連接塊5、同步帶蓋板6、同步帶壓塊7、滑塊8、同步帶擋件9、滑塊導(dǎo)軌10、同步帶固定座11、第一推動氣缸12-1、第二推動氣缸12-2、同步帶輪座蓋板13、同步帶輪座14、同步帶輪軸15、軸承16、第一同步帶輪17、固定座18、移動擋件19、移動軸20、同步帶21、第二同步帶輪22、馬達(dá)23、馬達(dá)連接件24、馬達(dá)固定件25、料管固定件26、料管固定板27、旋轉(zhuǎn)固定座28、旋轉(zhuǎn)件29、旋轉(zhuǎn)軸30、旋轉(zhuǎn)夾緊件31、旋轉(zhuǎn)桿32、第一料管夾緊件33、第一推送氣缸34、旋轉(zhuǎn)桿連接件35、旋轉(zhuǎn)氣缸連接件36、推送氣缸固定座37、第二推送氣缸38、旋轉(zhuǎn)氣缸39、夾緊氣缸40、第二料管夾緊件41等。

如圖1～圖4所示，本實(shí)用新型所述一對多的自動替換料管裝置，包括固定座18，在固定座18上安裝用于固定多個料管的旋轉(zhuǎn)固定裝置、用于推動料管至上料處的推送裝置、用于夾緊料管的夾緊裝置、移動裝置、推動裝置和馬達(dá)裝置，移動裝置用于帶動旋轉(zhuǎn)固定裝置、推送裝置和夾緊裝置在水平方向移動，推動裝置用于帶動旋轉(zhuǎn)固定裝置、推送裝置和夾緊裝置在豎直方向移動，馬達(dá)裝置用于提供移動裝置的驅(qū)動力。

所述旋轉(zhuǎn)固定裝置包括安裝在固定座18上的料管固定板27，在料管固定板27的兩端安裝料管固定件26和旋轉(zhuǎn)固定座28，旋轉(zhuǎn)固定座28上通過軸承安裝旋轉(zhuǎn)軸30，旋轉(zhuǎn)軸30的上端安裝旋轉(zhuǎn)件29，旋轉(zhuǎn)軸30的下端與旋轉(zhuǎn)夾緊件31連接，料管固定板27兩端的旋轉(zhuǎn)夾緊件31分別固定在旋轉(zhuǎn)桿32的兩端；在所述料管固定板27上安裝旋轉(zhuǎn)氣缸39，旋轉(zhuǎn)氣缸39的活塞桿通過旋轉(zhuǎn)氣缸連接件36與旋轉(zhuǎn)桿連接件35轉(zhuǎn)動接，旋轉(zhuǎn)連接件35連接旋轉(zhuǎn)桿32。工作時，旋轉(zhuǎn)氣缸39的活塞桿伸出，由旋轉(zhuǎn)桿連接件35帶動旋轉(zhuǎn)桿32轉(zhuǎn)動，從而帶動旋轉(zhuǎn)桿32兩端的旋轉(zhuǎn)件29轉(zhuǎn)動，使一端料管被推出的同時，另一端料管進(jìn)入。

所述推送裝置包括安裝在料管固定板27上的第一推送氣缸34和第二推送氣缸38，第一推送氣缸34固定在推送氣缸固定座37上，推送氣缸固定座37與料管固定板27之間設(shè)置滑塊和滑軌；所述第一推送氣缸34的活塞桿連接第一料管夾緊件33；所述第二推送氣缸38的活塞桿與推送氣缸固定座37連接。在工作時，第二推送氣缸38的活塞桿伸出，實(shí)現(xiàn)推送料管的效果；第一推送氣缸34的活塞桿工作帶動第一料管夾緊件33夾緊氣缸，防止料管發(fā)生偏移。

所述夾緊裝置包括安裝在料管固定板27上的夾緊氣缸40，夾緊氣缸40的活塞桿連接第二料管夾緊件41。在工作時，第二料管夾緊件41在夾緊氣缸40的作用下，達(dá)到夾緊料管的效果。

所述移動裝置包括安裝在固定座18上的移動軸20，移動軸20上設(shè)置能夠沿移動軸20移動的移動軸連接塊5，移動軸連接塊5固定在移動固定板1上，移動固定板1與料管固定板27連接，在移動軸20的兩端設(shè)置移動擋件19，用于對移動軸連接塊5移動過程中進(jìn)行限位；在所述固定座18的兩端安裝第一同步帶輪17和第二同步帶輪22，在第一同步帶輪17和第二同步帶輪22上繞設(shè)同步帶21；在所述移動固定板1上固定同步帶固定座11，同步帶固定座11上設(shè)置同步帶擋件9，同步帶固定座11內(nèi)設(shè)置滑塊導(dǎo)軌10，滑塊導(dǎo)軌10上設(shè)置滑塊8，滑塊8上設(shè)置同步帶壓塊7，同步帶壓塊7上設(shè)置同步帶蓋板6，同步帶21設(shè)置在同步帶蓋板6和同步帶壓塊7之間。在工作時，同步帶21傳輸過程中，由同步帶固定座11帶動移動固定板1沿移動軸20移動，從而帶動旋轉(zhuǎn)固定裝置、推送裝置和夾緊裝置在水平方向移動。所述第一同步帶輪17和第二同步帶輪22分別安裝在同步帶輪軸15上，同步帶輪軸15通過軸承16安裝在同步帶輪座14中，同步帶輪座14固定在固定座18上，同步帶輪座14上設(shè)置同步帶輪座蓋板13。

所述推動裝置包括推動固定板4，推動固定板4與料管固定板27之間連接線性導(dǎo)向軸3，在移動固定板1上安裝法蘭直線軸承2，線性導(dǎo)向軸3穿過法蘭直線軸承2；在所述移動固定板1和推動固定板4上分別設(shè)置第一推動氣缸12-1和第二推動氣缸12-2，第一推動氣缸12-1的活塞桿和第二推動氣缸12-2的活塞桿連接。在工作時，第一推動氣缸12-1和第二推動氣缸12-2的活塞桿動作，將推動固定板4向上拉起，同時也將料管固定板27向上頂起，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)固定裝置的上下運(yùn)動。

所述馬達(dá)裝置包括馬達(dá)23，馬達(dá)23的動力輸出端與第二同步帶輪22的同步帶輪軸15連接；所述馬達(dá)23通過馬達(dá)連接件24與馬達(dá)固定件25連接，馬達(dá)固定件25固定在固定座18上。

本實(shí)用新型在工作時，料管固定板27在移動裝置、馬達(dá)裝置和推動裝置的作用下，實(shí)現(xiàn)水平上下運(yùn)動。將空料管水平移動到接料處下方，然后將空料管向上推到與接料口重合處進(jìn)行接料，若接料口已有接滿料的料管，當(dāng)推動裝置向上推空料管的時候，就可將接滿料的料管推到料管收集處，然后再這樣循環(huán)往復(fù)的替換料管。這樣不僅能增加整體裝置工作的穩(wěn)定性，而且可以提高工作效率，還能減少工人的勞動量，降低生產(chǎn)成本。