本實用新型涉及濕法刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體地說涉及一種濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳送裝置。

背景技術(shù)：

電池片在完成擴散工藝后，由于電池片的表面會形成PN結(jié)，由原來的半導體變?yōu)閷w，電池片的負極產(chǎn)生的光生電子會通過側(cè)面的PN結(jié)流到電池片的正極并復合，發(fā)生短路現(xiàn)象。因此，需要將電池片側(cè)面的PN結(jié)去除。

現(xiàn)有技術(shù)中，主要采用濕法刻蝕技術(shù)來去除電池片側(cè)面的PN結(jié)，一般采用懸浮的方式實現(xiàn)，電池片在滾輪上傳送，電池片的四周和下表面與刻蝕液體接觸，上表面保持干燥。在電池片經(jīng)過擴散后，表面被氧化為SIO₂層，SIO₂層具有較強的親水性。腐蝕液較容易沿著硅片四周爬升到上表面，并向內(nèi)延伸，破壞表層PN結(jié)，具體化學方程為:

SiO₂+HF＝SiF₄+H₂O

SiF₄+HF＝H₂[SiF₆]

HNO₃+Si＝SiO₂+NO_x+H₂O

因此在生產(chǎn)過程中需要盡可能避免藥液爬升到電池片的上表面。由于出槽第三根滾輪距離蝕刻槽很近，其表面始終會形成一層酸膜。當電池片尾部經(jīng)過滾輪并傳送到下一個工藝時，在電池片的尾部容易形成“拖液”的現(xiàn)象，酸液瞬間爬上上表面并向內(nèi)延伸，有很大幾率形成“過刻”的現(xiàn)象，過度刻蝕會直接減少電池片表面結(jié)面積，減少光生電流量；在使用過程中，如果覆蓋到過刻處，容易發(fā)生短路漏電，產(chǎn)生事故?，F(xiàn)有工藝生產(chǎn)中，電池片傳輸裝置的第三根滾輪大多采用表面微螺紋型的滾輪，電池片通過時，滾輪與電池片線接觸，很容易形成過度刻蝕的現(xiàn)象，破壞電池片的光生電流量，增加 了電池片使用的安全隱患。

鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，目前急需一種電池片的傳送裝置，減少電池片與傳輸裝置中出槽外第三根滾輪的接觸面積，降低電池片傳送到下一步工藝過程中產(chǎn)生的“過刻”的現(xiàn)象。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供的一種濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳送裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中因出槽外第三根滾輪與電池片接觸過多而形成的“拖液”現(xiàn)象，造成電池片過度刻蝕的問題。

根據(jù)本實用新型的一個方面，提供了一種濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳送裝置，所述傳送裝置包括第一滾輪、第二滾輪和第三滾輪，所述第一滾輪、第二滾輪和第三滾輪設(shè)置在所述電池片傳送裝置內(nèi)，且所述三個滾輪的軸向一致。

根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式，所述第一滾輪、第二滾輪和第三滾輪平行設(shè)置，且為等間距分布。

根據(jù)本實用新型的另一個具體實施方式，所述第一滾輪、第二滾輪和第三滾輪上設(shè)置有至少兩個滾子，且所述至少兩個滾子為等間距分布。

根據(jù)本實用新型的另一個具體實施方式，所述滾子為環(huán)形滾子。

采用本實用新型提供的一種濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳送裝置，傳送裝置上設(shè)置有三個滾輪，且所述三個滾輪平行設(shè)置；每個滾輪上均設(shè)置有至少兩個環(huán)形滾子，電池片通過滾輪上的滾子傳送，接觸面積由原來的線接觸變?yōu)榱爽F(xiàn)在的點接觸，傳送裝置內(nèi)的第三根滾輪用滾子型滾輪代替了螺紋型滾輪，大大降低了傳送過程中電池片過度刻蝕的比例，提高了刻蝕效率。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖所作的對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯：

圖1是根據(jù)本實用新型提供的一種濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳送裝置的一種具體實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖中相同或相似的附圖標記代表相同或相似的部件。

具體實施方式

為了更好地理解和闡釋本發(fā)明，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步的詳細描述。

本實用新型提供了一種濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳送裝置，請參考圖1，圖1是根據(jù)本實用新型提供的一種濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳送裝置的一種具體實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

所述濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳送裝置100包括第一滾輪101、第二滾輪102和第三滾輪103，所述第一滾輪101、第二滾輪102和第三滾輪103設(shè)置在所述電池片傳送裝置100內(nèi)，且所述三個滾輪的軸向一致。

所述第一滾輪101、第二滾輪102和第三滾輪103平行設(shè)置，且為等間距分布。

所述第一滾輪101、第二滾輪102和第三滾輪103上設(shè)置有至少兩個滾子104。且所述至少兩個滾子104為等間距分布。優(yōu)選地，所述滾子104為環(huán)形滾子104。

一種具體的實施方式中，當電池片完成刻蝕工藝后，通過刻蝕槽，移動到電池片傳送裝置100，所述傳送裝置100的下表面設(shè)置有小孔，由于通過刻蝕槽電池片的下表面會沾有刻蝕的液體，液體會通過刻蝕傳送滾輪帶入傳送裝置100。因此，所述小孔可以漏掉多余得刻蝕液體。所述傳送裝置100設(shè)置有第一滾輪101、第二滾輪102和第三滾輪103，且每個滾輪的軸向一致。所述第一滾輪101、第二滾輪102和第三滾輪103平行設(shè)置，且為等間距分布。每個滾輪上設(shè)置有至少兩個環(huán)形滾子104，且所述環(huán)形滾子104為等間距分布，所述第一滾輪101、第二滾輪102和第三滾輪103之間的距離小于需要傳輸?shù)碾姵仄膶挾?。在傳送過程中，電池片依次通過第一滾輪101、第二滾輪102和第三滾輪103，所述電池片只與設(shè)置在三個滾輪上的至少兩個環(huán)形滾子104相互接觸，并在所述至少兩個環(huán)形滾子104上移動，通過第三個滾輪103后，傳送到下一個工藝步驟。

本實用新型提供的一種濕法刻蝕設(shè)備的電池片傳輸裝置，采用在滾輪上 設(shè)置滾子的結(jié)構(gòu)來傳送電池片。與傳統(tǒng)的螺紋型滾輪傳送相比，電池片與滾輪接觸的面積大大減少，由原來的線接觸變?yōu)榱爽F(xiàn)在的點接觸，僅在滾子接觸點的位置上形成少量的“拖液”現(xiàn)象，從而減少了過度刻蝕產(chǎn)生的幾率，提高了刻蝕效率。

本實用新型的應(yīng)用范圍不局限于說明書中描述的特定實施例的工藝、機構(gòu)、制造、物質(zhì)組成及手段。從本實用新型的公開內(nèi)容，作為本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將容易地理解，對于目前已存在或者以后即將開發(fā)出的工藝、機構(gòu)、制造、物質(zhì)組成及手段，其中它們執(zhí)行與本實用新型描述的對應(yīng)實施例大體相同的功能或者獲得大體相同的結(jié)果，依照本實用新型可以對它們進行應(yīng)用。因此，本實用新型所附權(quán)利要求旨在將這些工藝、機構(gòu)、制造、物質(zhì)組成或手段包含在其保護范圍內(nèi)。