本實(shí)用新型涉及晶圓的背面研磨和金屬鍍膜制程中的一種機(jī)臺(tái)，具體涉及一種具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)。

背景技術(shù)：

在晶圓的背面研磨和金屬鍍膜制程(Backside Grinding and Backside Metal Deposition，BGBM)中，首先為了保護(hù)晶圓(wafer)正面不在背面研磨和背面刻蝕的過程中受到損壞，會(huì)對晶圓正面貼覆藍(lán)膜進(jìn)行保護(hù)。在晶圓完成背面研磨和背面刻蝕后，需要在撕膠機(jī)臺(tái)(Protection Tape Remover，PTR機(jī)臺(tái))上使用剝離裝置(Peeling Unit)撕掉貼覆在晶圓正面的藍(lán)膜，撕膜過程為：先將待撕膜的晶圓真空吸附至工作臺(tái)上，使用剝離裝置上的撕膜滾輪從左至右的將藍(lán)膜從晶圓上撕下，使用機(jī)械手臂抓取撕膜完成的晶圓使其離開工作臺(tái)，再進(jìn)行下一片待撕膜晶圓的撕膜。在撕膜過程中，會(huì)有例如晶渣的殘留物掉落在工作臺(tái)上，由于此時(shí)待撕膜的晶圓厚度已經(jīng)減薄至120μm，當(dāng)將較薄的晶圓真空吸附至帶有殘留物的工作臺(tái)上時(shí)，殘留物會(huì)導(dǎo)致晶圓產(chǎn)生十字型裂痕，從而晶圓報(bào)廢無法使用。

現(xiàn)有技術(shù)中克服上述缺陷的方法是技術(shù)人員每日用無塵布擦拭工作臺(tái)一次以除去工作臺(tái)上的殘留物，但是這樣的方法無法做到在每一片晶圓撕膜完成后都對工作臺(tái)進(jìn)行清潔，這樣就會(huì)導(dǎo)致存在工作臺(tái)上留有殘留物損壞下一片晶圓的可能性，無法有效降低晶圓的報(bào)廢率，而且這樣的方法既耗費(fèi)人工又費(fèi)時(shí)費(fèi)力。因此，提供一種能夠及時(shí)、準(zhǔn)確、高效的對PTR機(jī)臺(tái)的工作臺(tái)清潔的裝置是十分必要的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對上述問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)。該具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)能夠及時(shí)、準(zhǔn)確、高效的清潔機(jī)臺(tái)的工作臺(tái)，杜絕了晶圓因工作臺(tái)上殘留物而產(chǎn)生的報(bào)廢，而且由于吹氣系統(tǒng)是機(jī)械自動(dòng)化裝置，節(jié)約了人力成本，省時(shí)省力。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)，包含：

剝離裝置，剝離裝置包括用于撕下晶圓的保護(hù)膜的撕膜滾輪；

工作臺(tái)，工作臺(tái)設(shè)置在剝離裝置下方，用于放置晶圓；

自動(dòng)吹氣系統(tǒng)，自動(dòng)吹氣系統(tǒng)包括傳感器、繼電器、電磁閥、CDA管路和氣嘴；傳感器設(shè)置在剝離裝置后部；繼電器與傳感器通過電路相連；繼電器與電磁閥通過電路相連，并且繼電器用于接通或斷開電磁閥；電磁閥一側(cè)連接到CDA管路，電磁閥另一側(cè)連接到氣嘴；CDA管路用于輸送壓縮干燥空氣，并且當(dāng)電磁閥接通時(shí)壓縮干燥空氣可以通過CDA管路從氣嘴中吹出；氣嘴設(shè)置在工作臺(tái)上方用于向工作臺(tái)吹掃壓縮干燥空氣。

進(jìn)一步地，其中傳感器為反射式光感傳感器，傳感器用于感測撕膜滾輪是否回到起始位置，其中當(dāng)傳感器感測到撕膜滾輪回到起始位置時(shí)產(chǎn)生用于使繼電器工作的信號。

進(jìn)一步地，其中繼電器為延時(shí)繼電器，其中當(dāng)繼電器工作時(shí)接通電磁閥，繼電器的工作時(shí)間為1-2s。

進(jìn)一步地，其中繼電器的工作時(shí)間為1.6s。

進(jìn)一步地，其中氣嘴的形狀為鴨嘴狀。

進(jìn)一步地，其中氣嘴的位置是與豎直方向呈30-45度夾角。

進(jìn)一步地，其中氣嘴吹出壓縮干燥空氣的壓力為60-80psi。

由于采用以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型提供的機(jī)臺(tái)在現(xiàn)有的機(jī)臺(tái)上增加了自動(dòng)吹氣系統(tǒng)，采用機(jī)械自動(dòng)化裝置，克服了現(xiàn)有技術(shù)中使用人工進(jìn)行擦拭清潔的缺陷，節(jié)約了人力成本，省時(shí)省力。

本實(shí)用新型提供的機(jī)臺(tái)的自動(dòng)吹氣系統(tǒng)能夠在每一片晶圓撕膜完成后都對機(jī)臺(tái)上的工作臺(tái)進(jìn)行自動(dòng)吹氣清潔，使得工作臺(tái)上始終不存在例如晶渣的殘留物，因此晶圓真空吸附至工作臺(tái)上時(shí)不會(huì)產(chǎn)生十字裂痕，使得晶圓的報(bào)廢率降為零。

本實(shí)用新型提供的自動(dòng)吹氣系統(tǒng)中氣嘴的形狀為鴨嘴，使得吹氣面更廣，確保壓縮干燥空氣能夠到達(dá)工作臺(tái)的每個(gè)位置。

本實(shí)用新型提供的自動(dòng)吹氣系統(tǒng)中氣嘴的位置是與豎直方向呈30-45度夾角，以及氣嘴吹出壓縮干燥空氣的壓力為60-80psi，上述特殊設(shè)計(jì)的吹氣壓力和角度能夠保證工作臺(tái)上的殘留物能夠被吹離工作臺(tái)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)的示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)自動(dòng)清潔過程的流程圖。

附圖標(biāo)記說明：

1CDA儲(chǔ)氣裝置、2電磁閥、3氣嘴、4繼電器、5傳感器、6撕膜滾輪、7工作臺(tái)、R豎直方向

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

圖1顯示了本實(shí)用新型的具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)包括剝離裝置、工作臺(tái)7和自動(dòng)吹氣系統(tǒng)。剝離裝置包括用于撕下晶圓的保護(hù)膜的撕膜滾輪6。工作臺(tái)7設(shè)置在剝離裝置的撕膜滾輪6下方，撕膜時(shí)將待撕膜的晶圓放置在工作臺(tái)7上并使用真空裝置將待撕膜的晶圓吸附至工作臺(tái)7上。撕膜滾輪6的撕膜過程為：撕膜滾輪6從起始位置(如圖1中實(shí)線圓圈所示)沿動(dòng)作箭頭A₁方向滾動(dòng)，最終在結(jié)束位置(如圖1中虛線圓圈所示)停住，此時(shí)將晶圓上的保護(hù)膜已撕下；撕膜滾輪6在結(jié)束位置停留一定時(shí)間，待機(jī)械手將撕膜完成的晶圓從工作臺(tái)7上取走后，撕膜滾輪6沿著動(dòng)作箭頭A₂方向滾動(dòng)，最終回到起始位置。

自動(dòng)吹氣系統(tǒng)包括傳感器5、繼電器4、電磁閥2、CDA(Compressed Dry Air，壓縮干燥空氣)管路、CDA儲(chǔ)氣裝置1和氣嘴3；傳感器5設(shè)置在剝離裝置后部，且具體地傳感器5設(shè)置在撕膜滾輪6的起始位置對應(yīng)的剝離裝置后部位置；繼電器4與傳感器5通過電路相連；繼電器4與電磁閥2通過電路相連，并且繼電器4用于接通或斷開電磁閥2；電磁閥2一側(cè)連接到CDA管路和CDA儲(chǔ)氣裝置1，電磁閥2另一側(cè)通過CDA管路連接到氣嘴3；CDA管路用于輸送保存在CDA儲(chǔ)氣裝置1中的壓縮干燥空氣且當(dāng)電磁閥2接通時(shí)壓縮干燥空氣可以通過CDA管路從氣嘴3中吹出；氣嘴3設(shè)置在工作臺(tái)7上方用于向工作臺(tái)7吹掃壓縮干燥空氣。

傳感器5用于感測撕膜滾輪6是否回到起始位置，其中當(dāng)傳感器5感測到撕膜滾輪6回到起始位置時(shí)產(chǎn)生用于使繼電器4工作的信號。在一優(yōu)選的實(shí)施例中傳感器5可以是反射式光感傳感器。繼電器4為延時(shí)繼電器。當(dāng)繼電器4接收到傳感器5產(chǎn)生的上述信號時(shí)，繼電器4工作并接通電磁閥2，繼電器4的工作時(shí)間(即繼電器4接通電磁閥2的時(shí)間)可以為1-2s；從上述描述可知，繼電器4接通電磁閥2后，壓縮干燥空氣可以通過電磁閥2從氣嘴3中吹出，即繼電器4的工作時(shí)間就是氣嘴3的吹氣時(shí)間。優(yōu)選地，繼電器4的工作時(shí)間可以設(shè)置為1.6s。

本實(shí)用新型將氣嘴3的形狀設(shè)置為鴨嘴狀，由于鴨嘴特有的扁平形狀，使得氣嘴3的吹氣面更廣，確保壓縮干燥空氣能夠到達(dá)工作臺(tái)7的每個(gè)位置。而且氣嘴3的吹氣角度為以豎直方向R作為基準(zhǔn)，氣流方向(氣嘴3傾斜度)與豎直方向R呈30-45度夾角；從氣嘴3吹出壓縮干燥空氣的壓力為60-80psi；上述特殊設(shè)計(jì)的吹氣壓力和角度能夠保證工作臺(tái)7上的例如晶圓晶渣的殘留物被完全吹離工作臺(tái)7。

圖2顯示了本實(shí)用新型的具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)的自動(dòng)清潔過程。待撕膜的晶圓真空吸附在工作臺(tái)7上，剝離裝置進(jìn)行撕膜。剝離裝置的撕膜滾輪6的撕膜過程中，傳感器5檢測撕膜滾輪6是否回到起始位置：如果撕膜滾輪6沒有回到起始位置，則傳感器5不發(fā)出使繼電器4工作的信號；如果撕膜滾輪6回到起始位置，則傳感器5發(fā)出使繼電器4工作的信號。繼電器4接收信號后開始工作，接通電磁閥2。電磁閥2接通后將存儲(chǔ)在CDA儲(chǔ)氣裝置1的壓縮干燥空氣通過CDA管路輸送至氣嘴3，氣嘴3將壓力為60-80psi的壓縮干燥空氣以與豎直方向R呈30-45度夾角吹向工作臺(tái)7，對工作臺(tái)7上的殘留物進(jìn)行清潔。清潔完成后，繼續(xù)對下一片待撕膜晶圓進(jìn)行撕膜。

本實(shí)用新型的機(jī)臺(tái)為撕膠機(jī)臺(tái)(Protection Tape Remover，PTR機(jī)臺(tái))，該撕膠機(jī)臺(tái)的其它部件與現(xiàn)有技術(shù)中的撕膠機(jī)臺(tái)相同。

采用上述實(shí)施例中具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)對晶圓進(jìn)行撕膜處理后晶圓報(bào)廢率降至0％，由此可知，本實(shí)用新型的具有自動(dòng)吹氣系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)可以達(dá)到對工作臺(tái)進(jìn)行百分之百的清潔，完全杜絕了因工作臺(tái)上存在殘留物使得晶圓產(chǎn)生十字裂痕而報(bào)廢的現(xiàn)象。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍；如果不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍，對本實(shí)用新型進(jìn)行修改或者等同替換，均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍當(dāng)中。