本實用新型涉及集成電路分選測試領域，尤其是一種吸盤表面溫度均勻性檢測裝置。

背景技術(shù)：

晶圓加熱裝置的吸盤表面溫度均勻性影響晶圓高溫測試的準確性；晶圓高溫測試對吸盤表面溫度的均勻性有著苛刻的要求，通常需保證針測過程中吸盤表面的溫度控制在設定溫度的±0.5℃內(nèi)，溫度均勻性控制在設定溫度的±1℃內(nèi)；為保證晶圓高溫測試的準確性，在晶圓高溫測試前需要對吸盤表面溫度的均勻性進行檢測；傳統(tǒng)的吸盤表面溫度的均勻性檢測是采用表面溫度計，在吸盤表面選取若干點逐點進行測溫，進而計算出吸盤表面溫度均勻性，存在由于表面溫度計的測量精度達不到吸盤表面溫度均勻性檢測要求，用表面溫度計逐點接觸測溫會對吸盤表面的溫度產(chǎn)生一定的干擾，且不能得到同一時刻吸盤表面的溫度，導致吸盤表面溫度均勻性檢測誤差較大的不足；因此，設計一種檢測吸盤表面溫度均勻性誤差較小的吸盤表面溫度均勻性檢測裝置，成為亟待解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是為了克服目前的吸盤表面溫度均勻性檢測存在誤差較大的不足，提供一種檢測吸盤表面溫度均勻性誤差較小的吸盤表面溫度均勻性檢測裝置。

本實用新型的具體技術(shù)方案是：

一種吸盤表面溫度均勻性檢測裝置，包括：底板，設于底板上端的吸盤；所述的吸盤表面溫度均勻性檢測裝置還包括：若干個置于吸盤上表面的測溫元件，個數(shù)與測溫元件個數(shù)相同且一一對應壓住測溫元件上端的隔熱墊，隔熱墊壓緊裝置，與測溫元件信號連接的多通道溫度記錄儀。吸盤表面溫度均勻性檢測裝置使用時，將測溫元件一一對應放置在吸盤上表面設定的溫度均勻性檢測點，隔熱墊一一對應放置在測溫元件上，隔熱墊壓緊裝置壓住隔熱墊和測溫元件，將吸盤加熱到設定溫度，并保持溫度10min以上，然后開啟多通道溫度記錄儀記錄各個高精度熱電偶設定時間段內(nèi)測量得到的溫度值，在多通道溫度記錄儀記錄的溫度值中找出最高值Tmax和最小值Tmin，通過公式：吸盤表面溫度均勻性=Tmax-Tmin，計算得到吸盤表面的溫度均勻性。該吸盤表面溫度均勻性檢測裝置檢測吸盤表面溫度均勻性誤差較小，且壓測的方法可減少測溫元件對測溫點的干擾，測得的溫度值更加準確，測得的吸盤表面溫度均勻性更加準確可靠。

作為優(yōu)選，所述的隔熱墊壓緊裝置包括：至少一個縱向設置的壓緊組件和至少一個橫向設置且位于縱向設置的壓緊組件上方的壓緊組件，個數(shù)與縱向設置的壓緊組件個數(shù)相同且一一對應的下支承調(diào)節(jié)組件，個數(shù)與橫向設置的壓緊組件個數(shù)相同且一一對應的上支承調(diào)節(jié)組件；壓緊組件包括：設有若干個壓緊螺孔且位于吸盤上方的橫梁，個數(shù)少于等于壓緊螺孔個數(shù)的壓緊螺釘；一個壓緊螺釘?shù)穆輻U與一個壓緊螺孔螺紋連接且壓緊螺釘?shù)穆輻U下端壓住一個隔熱墊。通過隔熱墊壓緊裝置的下支承調(diào)節(jié)組件和上支承調(diào)節(jié)組件，與壓緊組件的橫梁設有的壓緊螺孔螺紋連接的壓緊螺釘，能根據(jù)需要將調(diào)整壓緊螺釘位置，使壓緊螺釘?shù)穆輻U壓住位于吸盤上表面設定的溫度均勻性檢測點的隔熱墊和測溫元件。

作為優(yōu)選，所述的下支承調(diào)節(jié)組件包括：兩個一一對應卡住底板相對兩個橫側(cè)端的Ｕ型夾，兩個相對內(nèi)側(cè)與兩個Ｕ型夾的底端一一對應連接的短連接板，兩個緊固螺釘；短連接板的上端設有緊固螺孔；縱向設置的壓緊組件的橫梁的兩端各設有一個長孔；兩個緊固螺釘?shù)穆輻U一一對應穿過一個長孔且與一個緊固螺孔螺紋連接；Ｕ型夾下側(cè)邊設有若干個緊定螺孔和個數(shù)與緊定螺孔個數(shù)相同的緊定螺釘；緊定螺釘?shù)穆輻U與緊定螺孔一一對應螺紋連接，緊定螺釘?shù)穆輻U一端壓住底板下端。下支承調(diào)節(jié)組件結(jié)構(gòu)簡單實用，調(diào)節(jié)縱向設置的壓緊組件位置及與底板連接固定方便。

作為優(yōu)選，所述的上支承調(diào)節(jié)組件包括：兩個一一對應卡住底板相對兩個縱側(cè)端的Ｕ型夾，兩個相對內(nèi)側(cè)與兩個Ｕ型夾的底端一一對應連接的長連接板，兩個緊固螺釘；長連接板的上端設有緊固螺孔；橫向設置的壓緊組件的橫梁的兩端各設有一個長孔；兩個緊固螺釘?shù)穆輻U一一對應穿過一個長孔且與一個緊固螺孔螺紋連接；Ｕ型夾下側(cè)邊設有若干個緊定螺孔和個數(shù)與緊定螺孔個數(shù)相同的緊定螺釘；緊定螺釘?shù)穆輻U與緊定螺孔一一對應螺紋連接，緊定螺釘?shù)穆輻U一端壓住底板下端。上支承調(diào)節(jié)組件結(jié)構(gòu)簡單實用，調(diào)節(jié)橫向設置的壓緊組件位置及與底板連接固定方便。

作為優(yōu)選，所述的吸盤表面溫度均勻性檢測裝置還包括：若干個下端設有腳墊的調(diào)節(jié)螺桿；底板設有個數(shù)與調(diào)節(jié)螺桿個數(shù)相同的調(diào)節(jié)螺孔；調(diào)節(jié)螺桿與調(diào)節(jié)螺孔一一對應螺紋連接。調(diào)節(jié)螺桿與調(diào)節(jié)螺孔配合能調(diào)節(jié)底板的高度。

作為優(yōu)選，所述的測溫元件為高精度熱電偶。測溫精度高誤差小。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該吸盤表面溫度均勻性檢測裝置檢測吸盤表面溫度均勻性誤差較小，且壓測的方法可減少測溫元件對測溫點的干擾，所測得的溫度值實時性好，測得的溫度值更加準確，測得的吸盤表面溫度均勻性更加準確可靠。隔熱墊壓緊裝置根據(jù)需要可繞吸盤中心旋轉(zhuǎn)，通過縱向設置的壓緊組件和橫向設置的壓緊組件的配合可實現(xiàn)吸盤任意一點測溫的需求，壓緊裝置結(jié)構(gòu)簡單實用，調(diào)節(jié)方便。

附圖說明

圖1是本實用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：底板1、吸盤2、隔熱墊3、多通道溫度記錄儀4、腳墊5、調(diào)節(jié)螺桿6、調(diào)節(jié)螺孔7、高精度熱電偶8、壓緊螺孔9、橫梁10、壓緊螺釘11、Ｕ型夾12、短連接板13、緊固螺釘14、長孔15、緊定螺釘16、長連接板17。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖所示對本實用新型進行進一步描述。

如附圖1所示：一種吸盤表面溫度均勻性檢測裝置，包括：底板1，設于底板1上端的吸盤2，九個置于吸盤2上表面的測溫元件，個數(shù)與測溫元件個數(shù)相同且一一對應壓住測溫元件上端的隔熱墊3，隔熱墊壓緊裝置，與測溫元件信號連接的多通道溫度記錄儀4，四個下端設有腳墊5的調(diào)節(jié)螺桿6；底板1設有個數(shù)與調(diào)節(jié)螺桿6個數(shù)相同的調(diào)節(jié)螺孔7；調(diào)節(jié)螺桿6與調(diào)節(jié)螺孔7一一對應螺紋連接。所述的測溫元件為高精度熱電偶8；隔熱墊3的材料為硅膠；吸盤2為圓形吸盤；底板1為方形底板。

所述的隔熱墊壓緊裝置包括：一個縱向設置的壓緊組件和一個橫向設置且位于縱向設置的壓緊組件上方的壓緊組件，個數(shù)與縱向設置的壓緊組件個數(shù)相同的下支承調(diào)節(jié)組件，個數(shù)與橫向設置的壓緊組件個數(shù)相同的上支承調(diào)節(jié)組件；壓緊組件包括：設有二十一個壓緊螺孔9且位于吸盤2上方的橫梁10，個數(shù)少于壓緊螺孔9個數(shù)的壓緊螺釘11；一個壓緊螺釘11的螺桿與一個壓緊螺孔9螺紋連接且壓緊螺釘11的螺桿下端壓住一個隔熱墊3。

所述的下支承調(diào)節(jié)組件包括：兩個一一對應卡住底板1相對兩個橫側(cè)端的Ｕ型夾12，兩個相對內(nèi)側(cè)與兩個Ｕ型夾12的底端一一對應焊接的短連接板13，兩個緊固螺釘14；短連接板13的上端設有緊固螺孔（附圖中未畫出）；縱向設置的壓緊組件的橫梁10的兩端各設有一個長孔15；兩個緊固螺釘14的螺桿一一對應穿過一個長孔15且與一個緊固螺孔螺紋連接；Ｕ型夾12下側(cè)邊設有兩個緊定螺孔（附圖中未畫出）和個數(shù)與緊定螺孔個數(shù)相同的緊定螺釘16；緊定螺釘16的螺桿與緊定螺孔一一對應螺紋連接，緊定螺釘16的螺桿一端壓住底板1下端。

所述的上支承調(diào)節(jié)組件包括：兩個一一對應卡住底板1相對兩個縱側(cè)端的Ｕ型夾12，兩個相對內(nèi)側(cè)與兩個Ｕ型夾12的底端一一對應焊接的長連接板17，兩個緊固螺釘14；長連接板17的上端設有緊固螺孔；橫向設置的壓緊組件的橫梁10的兩端各設有一個長孔15；兩個緊固螺釘14的螺桿一一對應穿過一個長孔15且與一個緊固螺孔螺紋連接；Ｕ型夾12下側(cè)邊設有兩個緊定螺孔和個數(shù)與緊定螺孔個數(shù)相同的緊定螺釘16；緊定螺釘16的螺桿與緊定螺孔一一對應螺紋連接，緊定螺釘16的螺桿一端壓住底板1下端。

吸盤表面溫度均勻性檢測裝置的檢測方法，步驟一，將高精度熱電偶8一一對應放置在吸盤2上表面設定的溫度均勻性檢測點，隔熱墊3一一對應放置在高精度熱電偶8上，將壓緊組件的壓緊螺釘11的螺桿旋入相應的壓緊螺孔9；步驟二，將壓緊組件的橫梁10調(diào)整到位，旋緊下支承調(diào)節(jié)組件的緊固螺釘14使縱向設置的壓緊組件的橫梁10與短連接板13連接固定，旋緊上支承調(diào)節(jié)組件的緊固螺釘14使橫向設置的壓緊組件的橫梁10與長連接板17連接固定，旋緊緊定螺孔使Ｕ型夾12與底板1連接固定，旋緊壓緊螺釘11使壓緊螺釘11的螺桿下端一一對應壓住隔熱墊3；步驟三，將吸盤2加熱到設定溫度，并保持溫度10min以上，然后開啟多通道溫度記錄儀4記錄各個高精度熱電偶8設定時間段內(nèi)測量得到的溫度值；步驟四，在多通道溫度記錄儀4記錄的溫度值中找出最高值Tmax和最小值Tmin，通過公式：吸盤2表面溫度均勻性=Tmax-Tmin，計算得到吸盤2表面的溫度均勻性。

本實用新型的有益效果是：該吸盤表面溫度均勻性檢測裝置檢測吸盤表面溫度均勻性誤差較小，且壓測的方法可減少測溫元件對測溫點的干擾，所測得的溫度值實時性好，測得的溫度值更加準確，測得的吸盤表面溫度均勻性更加準確可靠。隔熱墊壓緊裝置根據(jù)需要可繞吸盤中心旋轉(zhuǎn)，通過縱向設置的壓緊組件和橫向設置的壓緊組件的配合可實現(xiàn)吸盤任意一點測溫的需求，壓緊裝置結(jié)構(gòu)簡單實用，調(diào)節(jié)方便。

本實用新型可改變?yōu)槎喾N方式對本領域的技術(shù)人員是顯而易見的，這樣的改變不認為脫離本實用新型的范圍。所有這樣的對所述領域的技術(shù)人員顯而易見的修改，將包括在本權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。