本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺(tái)，具體的說(shuō)是一種應(yīng)用于金屬材料及光伏材料的表面形貌分析、鍍膜厚度測(cè)試的夾持臺(tái)，屬于金屬材料及光伏材料測(cè)試設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope,簡(jiǎn)稱SEM）是一種主要應(yīng)用于材料表面形貌觀察成像的材料表征技術(shù)設(shè)備。它是按電子光學(xué)原理用電子束為光源，顯示樣本超微結(jié)構(gòu)的顯微鏡。

目前，用于金屬材料及光伏材料表面形貌分析、鍍膜厚度測(cè)量的SEM樣品座，材質(zhì)為金屬，結(jié)構(gòu)大致相同，由金屬平臺(tái)B和底座A兩部分組成，見(jiàn)圖1所示，底座A用緊固螺釘旋緊固定在金屬平臺(tái)B上。底座A用來(lái)與設(shè)備樣品臺(tái)（Stage）連接固定，底座A頂部的金屬平臺(tái)B用于放置樣品D。金屬平臺(tái)B是一個(gè)圓形平臺(tái)，用于放置樣品；圓形平臺(tái)底部是一個(gè)燕尾插槽，正好匹配及固定在SEM樣品臺(tái)上。被觀測(cè)的薄片樣品D是通過(guò)雙面導(dǎo)電膠C(如碳膠、銅膠、鋁膠)粘貼在樣品座上，如圖1所示，從而使樣品D與樣品座及樣品臺(tái)導(dǎo)通。上述操作方式有以下幾個(gè)不足：

（1）雙面導(dǎo)電膠不是純金屬，由一定成分的有機(jī)膠組成，如果粘貼不緊密，導(dǎo)致樣品的穩(wěn)定性差，且樣品導(dǎo)電不良，會(huì)發(fā)生SEM動(dòng)態(tài)圖像漂移現(xiàn)象，影響正常的測(cè)量及形貌分析，拍攝時(shí)圖形傾斜，成像質(zhì)量差；

（2）電子束不可避免地掃描在碳雙面膠上，激發(fā)出碳元素，造成碳污染，這對(duì)能譜測(cè)試有影響；

（3）SEM為高真空分析設(shè)備，真空等級(jí)和分析能力密切相關(guān)，導(dǎo)電膠含有大量的有機(jī)成分，在真空中易揮發(fā)造成污染，影響真空等級(jí)，最終引起設(shè)備壽命的減少；

（4）導(dǎo)電膠價(jià)格貴，屬于易耗品，使用量較大，會(huì)消耗一大筆費(fèi)用；

（5）導(dǎo)電膠容易粘附灰塵，對(duì)SEM的真空倉(cāng)會(huì)帶來(lái)污染。

因此，如何獲得清晰穩(wěn)定的圖像，又能減少碳污染的問(wèn)題，成為該技術(shù)領(lǐng)域亟待解決的課題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足之處，從而提供一種應(yīng)用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺(tái)，提高了導(dǎo)電性能，改善了SEM圖像的質(zhì)量；避免了碳污染及導(dǎo)電膠殘留物清理，節(jié)約了人力成本，提高了工作效率。

按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，應(yīng)用于掃描電子顯微鏡薄片樣品的夾持臺(tái)包括樣品基座、中心定位座、螺釘固定座和緊固螺釘，其特征是：樣品基座的中心設(shè)有中心定位座，中心定位座的四個(gè)定位側(cè)面用于定位放置四個(gè)樣品；中心定位座的每個(gè)定位側(cè)面對(duì)面設(shè)有一個(gè)螺釘固定座，螺釘固定座固定在樣品基座上，螺釘固定座上通過(guò)螺紋連接緊固螺釘，緊固螺釘前端表面面向定位側(cè)面，擰動(dòng)緊固螺釘能夠?qū)⒍ㄎ粋?cè)面上的樣品壓緊。

進(jìn)一步的，相鄰兩個(gè)所述定位側(cè)面之間設(shè)有過(guò)渡表面。

進(jìn)一步的，樣品基座為圓形。

進(jìn)一步的，中心定位座為長(zhǎng)方形立柱結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，樣品基座底部連接燕尾形插槽座，燕尾形插槽座上設(shè)有燕尾形插槽。

進(jìn)一步的，樣品基座、中心定位座、螺釘固定座和緊固螺釘均采用金屬材料制作。

本實(shí)用新型與已有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊、合理，樣品與中心定位座的定位側(cè)面直接接觸，接觸面積大，導(dǎo)電性良好，避免了由于樣品與導(dǎo)電膠未緊密粘貼而造成的掃描電子顯微鏡圖像偏移，使得圖像質(zhì)量明顯改善；避免導(dǎo)電膠造成的污染，提高了設(shè)備的使用壽命；避免了碳污染及導(dǎo)電膠殘留物清理，節(jié)約了人力成本，提高了工作效率。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種應(yīng)用于掃描電子顯微鏡的樣品座的結(jié)構(gòu)圖。

圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖。

圖3為圖2的正視圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：1-燕尾形插槽座、2-燕尾形插槽、3-樣品基座、4-中心定位座、5-螺釘固定座、6-緊固螺釘、7-定位側(cè)面、A-底座、B-金屬平臺(tái)、C-雙面導(dǎo)電膠、D-樣品。

具體實(shí)施方式

下面本實(shí)用新型將結(jié)合附圖中的實(shí)施例作進(jìn)一步描述：

如圖2~3所示，本實(shí)用新型主要包括樣品基座3、中心定位座4、螺釘固定座5和緊固螺釘6。

樣品基座3為圓形，樣品基座3的中心設(shè)有長(zhǎng)方形立柱結(jié)構(gòu)的中心定位座4，中心定位座4的四個(gè)定位側(cè)面7用于定位放置四個(gè)樣品。相鄰兩個(gè)定位側(cè)面7之間設(shè)有過(guò)渡表面8，過(guò)渡表面8的設(shè)置是為了隔開(kāi)相鄰的兩個(gè)樣品。

中心定位座4的每個(gè)定位側(cè)面7對(duì)面設(shè)有一個(gè)螺釘固定座5，螺釘固定座5固定在樣品基座3上，螺釘固定座5上通過(guò)螺紋連接緊固螺釘6，緊固螺釘6前端表面面向定位側(cè)面7，擰動(dòng)緊固螺釘6能夠?qū)⒍ㄎ粋?cè)面7上的樣品壓緊。

所述樣品基座3底部連接燕尾形插槽座1，燕尾形插槽座1上設(shè)有燕尾形插槽2，燕尾形插槽座1能夠?qū)⒈緦?shí)用新型連接在SEM的樣品臺(tái)上。

所述樣品基座3、中心定位座4、螺釘固定座5和緊固螺釘6均采用金屬材料制作，起到良好的導(dǎo)電效果。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊、合理，樣品與中心定位座的定位側(cè)面直接接觸，接觸面積大，導(dǎo)電性良好，避免了由于樣品與導(dǎo)電膠未緊密粘貼而造成的掃描電子顯微鏡圖像偏移，使得圖像質(zhì)量明顯改善；避免導(dǎo)電膠造成的污染，提高了設(shè)備的使用壽命；避免了碳污染及導(dǎo)電膠殘留物清理，節(jié)約了人力成本，提高了工作效率。