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      方向性可重構(gòu)的微電子機(jī)械天線的制作方法

      文檔序號(hào):11081750閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
      技術(shù)總結(jié)
      本實(shí)用新型公開了一種方向性可重構(gòu)的微電子機(jī)械天線,該微電子機(jī)械天線以砷化鎵為襯底,在襯底上設(shè)有微帶天線饋線、星型結(jié)構(gòu)微帶天線輻射元、MEMS懸臂梁、懸臂梁橋墩。通過(guò)對(duì)懸臂梁同側(cè)下拉電極施加極性相同大小不同的電壓,這樣MEMS懸臂梁就會(huì)有不同程度的彎曲,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微波天線方向性的小重構(gòu);通過(guò)對(duì)懸臂梁左右兩側(cè)下拉電極施加極性相反的電壓,這樣MEMS懸臂梁兩側(cè)就會(huì)產(chǎn)生方向相反的彎曲,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微波天線方向性的大重構(gòu)。

      技術(shù)研發(fā)人員:王德波
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:南京郵電大學(xué)
      文檔號(hào)碼:201621263031
      技術(shù)研發(fā)日:2016.11.24
      技術(shù)公布日:2017.05.10

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