本實用新型涉及藍寶石襯底技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種圖形化藍寶石襯底的酸堿清洗裝置。

背景技術(shù)：

藍寶石襯底對于制作LED芯片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優(yōu)點：首先，藍寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好；其次，藍寶石的穩(wěn)定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最后，藍寶石的機械強度高，易于處理和清洗，因此大多數(shù)工藝一般都以藍寶石作為襯底。而現(xiàn)有的圖形化藍寶石襯底的酸堿清洗裝置結(jié)構(gòu)簡單，在清洗過程中容易損壞襯底部分，通常直接將藍寶石襯底和清洗劑放入機器內(nèi)進行清洗，智能化程度低，清洗效果差，無法自行控制進出料，使用上存在一定的局限性。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的一種圖形化藍寶石襯底的酸堿清洗裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案。

一種圖形化藍寶石襯底的酸堿清洗裝置，包括殼體，所述殼體為空腔結(jié)構(gòu)，殼體的頂端設(shè)有進料口，所述進料口的一側(cè)內(nèi)壁鉸接有頂蓋，所述殼體的頂端內(nèi)壁上安裝有引料架，所述殼體的底端內(nèi)壁滑動連接有支撐板，所述支撐板的頂端通過定位銷安裝有清洗座，所述清洗座上設(shè)有多個第一通孔，所述清洗座的頂端分別設(shè)有弧形的放置槽和豎直設(shè)置的擋板，所述放置槽位于擋板之間，所述清洗座的一側(cè)開設(shè)有豎直設(shè)置的滑槽，所述支撐板靠近清洗座的一側(cè)設(shè)有凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的導(dǎo)流板，所述導(dǎo)流板上設(shè)有多個第二通孔，且第二通孔與第一通孔相配合，所述支撐板的底端和殼體的底端均設(shè)有相互連通的出料口，所述出料口分別與第一通孔和第二通孔相對應(yīng)，所述殼體內(nèi)還設(shè)有豎直設(shè)置的滑動桿，其中滑動桿的一端延伸至殼體的上方，滑動桿的另一端通過滑槽與導(dǎo)流板固定連接，所述殼體的底端兩側(cè)均設(shè)有豎直設(shè)置的支撐桿，所述支撐桿之間設(shè)有水平設(shè)置的固定板，所述固定板的底端安裝有支撐架，所述支撐架上設(shè)有轉(zhuǎn)動電機，所述轉(zhuǎn)動電機的輸出軸上連接有豎直設(shè)置的轉(zhuǎn)動桿，且轉(zhuǎn)動桿與支撐板固定連接。

優(yōu)選的，所述引料架為錐子形結(jié)構(gòu)，所述引料架的底端設(shè)有圓孔，且圓孔位于清洗座的正上方。

優(yōu)選的，所述滑槽為弧形結(jié)構(gòu)，且滑動桿與滑槽的內(nèi)壁滑動連接，滑槽的滑動長度與第一通孔和第二通孔的配合距離相同。

優(yōu)選的，所述滑動桿的頂端設(shè)有手柄，所述進料口靠近滑動桿的一側(cè)還設(shè)有開口，其中手柄的長度大于開口的長度，且滑動桿的一端通過開口延伸至殼體的上方。

優(yōu)選的，所述擋板上設(shè)有隔離腔，所述引料架的一端延伸至隔離腔內(nèi)，且引料架的外側(cè)壁與隔離腔的內(nèi)壁滑動連接。

優(yōu)選的，所述引料架的頂端所處直徑大于進料口的直徑。

本實用新型的有益效果是：通過錐形結(jié)構(gòu)的引料架方便藍寶石襯底進行自然滑落，同時減輕對圖形化藍寶石襯底的損傷；通過轉(zhuǎn)動電機驅(qū)動支撐板轉(zhuǎn)動，進而帶動清洗座進行攪動清洗工作，便于同時間對多個藍寶石襯底進行清洗，清潔效果顯著，同時利用滑動桿于滑槽內(nèi)往復(fù)轉(zhuǎn)動，帶動導(dǎo)流板上的第二通孔與第一通孔自由對接，方便清洗完成后酸堿清洗劑從出料口處流出，有效提高清洗質(zhì)量。本實用新型設(shè)計布局合理，操作簡單，減輕對藍寶石襯底的損傷，清潔效果顯著，同時有效提高清洗質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種圖形化藍寶石襯底的酸堿清洗裝置的主視剖析結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型提出的一種圖形化藍寶石襯底的酸堿清洗裝置的部分俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1殼體、2擋板、3清洗座、4支撐板、5凹槽、6支撐桿、7進料口、8頂蓋、9引料架、10滑動桿、11第一通孔、12滑槽、13導(dǎo)流板、14第二通孔、15出料口、16固定板、17轉(zhuǎn)動桿、18支撐架、19轉(zhuǎn)動電機。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

參照圖1-2，一種圖形化藍寶石襯底的酸堿清洗裝置，包括殼體1，殼體1為空腔結(jié)構(gòu)，殼體1的頂端設(shè)有進料口7，進料口7的一側(cè)內(nèi)壁鉸接有頂蓋8，殼體1的頂端內(nèi)壁上安裝有引料架9，殼體1的底端內(nèi)壁滑動連接有支撐板4，支撐板4的頂端通過定位銷安裝有清洗座3，清洗座3上設(shè)有多個第一通孔11，清洗座3的頂端分別設(shè)有弧形的放置槽和豎直設(shè)置的擋板2，放置槽位于擋板2之間，清洗座3的一側(cè)開設(shè)有豎直設(shè)置的滑槽12，支撐板4靠近清洗座3的一側(cè)設(shè)有凹槽5，凹槽5內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的導(dǎo)流板13，導(dǎo)流板13上設(shè)有多個第二通孔14，且第二通孔14與第一通孔11相配合，支撐板4的底端和殼體1的底端均設(shè)有相互連通的出料口15，出料口15分別與第一通孔11和第二通孔14相對應(yīng)，殼體1內(nèi)還設(shè)有豎直設(shè)置的滑動桿10，其中滑動桿10的一端延伸至殼體1的上方，滑動桿10的另一端通過滑槽12與導(dǎo)流板13固定連接，殼體1的底端兩側(cè)均設(shè)有豎直設(shè)置的支撐桿6，支撐桿6之間設(shè)有水平設(shè)置的固定板16，固定板16的底端安裝有支撐架18，支撐架18上設(shè)有轉(zhuǎn)動電機19，轉(zhuǎn)動電機19的輸出軸上連接有豎直設(shè)置的轉(zhuǎn)動桿17，且轉(zhuǎn)動桿17與支撐板4固定連接。

引料架9為錐子形結(jié)構(gòu)，引料架9的底端設(shè)有圓孔，且圓孔位于清洗座3的正上方，滑槽12為弧形結(jié)構(gòu)，且滑動桿10與滑槽12的內(nèi)壁滑動連接，滑槽12的滑動長度與第一通孔11和第二通孔14的配合距離相同，滑動桿10的頂端設(shè)有手柄，進料口7靠近滑動桿10的一側(cè)還設(shè)有開口，其中手柄的長度大于開口的長度，且滑動桿10的一端通過開口延伸至殼體1的上方，擋板2上設(shè)有隔離腔，引料架9的一端延伸至隔離腔內(nèi)，且引料架9的外側(cè)壁與隔離腔的內(nèi)壁滑動連接，引料架9的頂端所處直徑大于進料口7的直徑。

工作原理：工作時，通過錐形結(jié)構(gòu)的引料架9方便藍寶石襯底進行自然滑落，同時減輕對圖形化藍寶石襯底的損傷；圖形化藍寶石襯底進入清洗座3頂端的弧形放置槽內(nèi)，放入酸堿清洗劑，通過轉(zhuǎn)動電機19驅(qū)動支撐板4轉(zhuǎn)動，進而帶動清洗座3進行攪動清洗工作，便于同時間對多個藍寶石襯底進行清洗，清潔效果顯著，同時利用滑動桿10于滑槽12內(nèi)往復(fù)轉(zhuǎn)動，帶動導(dǎo)流板13上的第二通孔14與第一通孔11自由對接，方便清洗完成后酸堿清洗劑從出料口15處流出，有效提高清洗質(zhì)量。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實用新型的技術(shù)方案及其實用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的操作范圍之內(nèi)。