技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種等離子體刻蝕機(jī)的壓環(huán)，用于將被刻蝕樣片固定于下電極，其中，所述壓環(huán)包括壓環(huán)主體、定位爪、和樣片壓圈，所述壓環(huán)主體呈平面圓環(huán)狀，所述定位爪沿著所述壓環(huán)主體的周向間隔一定角度而設(shè)置并沿徑向凸出到壓環(huán)主體外周，所述樣片壓圈沿周向整圈設(shè)置于所述壓環(huán)主體的內(nèi)側(cè)并與所述壓環(huán)主體同心，在所述定位爪的每個(gè)中設(shè)置有用于與垂直導(dǎo)向桿相配合的定位孔。

技術(shù)研發(fā)人員：李娜;胡冬冬;侯永剛;許開(kāi)東;程實(shí)然
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇魯汶儀器有限公司
文檔號(hào)碼：201621426932
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.23
技術(shù)公布日：2017.10.13