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      生長(zhǎng)在玻璃襯底上的InGaN/GaN多量子阱的制作方法

      文檔序號(hào):11487455閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.生長(zhǎng)在玻璃襯底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,包括生長(zhǎng)在玻璃襯底上的鋁金屬層,生長(zhǎng)在鋁金屬層上的銀金屬層,生長(zhǎng)在銀金屬層上的AlN緩沖層,生長(zhǎng)在AlN緩沖層上的GaN緩沖層,生長(zhǎng)在GaN緩沖層上的非摻雜GaN層,生長(zhǎng)在非摻雜GaN層上的InGaN/GaN多量子阱。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,所述鋁金屬層厚度為150~200μm。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,所述銀金屬層的厚度為100~300nm。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,所述AlN緩沖層的厚度為5~50nm。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,所述GaN緩沖層的厚度為50~80nm。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,所述非摻雜GaN層的厚度為200~300nm。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生長(zhǎng)在玻璃襯底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,所述InGaN/GaN量子阱為7~10個(gè)周期的InGaN阱層/GaN壘層,其中InGaN阱層的厚度為2~3nm;GaN壘層的厚度為10~13nm。

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