本實用新型涉及半導體設備技術領域，具體涉及一種晶圓移動裝置。

背景技術：

集成電路的制作過程包含在晶圓上所進行的數十次甚至上百次繁復的制程，比如，多次重復的氧化、擴散、光刻、蝕刻、物理氣相沉積以及化學氣相沉積等，制作過程中，晶圓需要在各個機臺之間移動，以及在不同的晶圓盒(cassette)或者晶舟(boat)間移動。

在機臺運行過程中，難免會出現機臺故障，或者在移動過程中晶圓位置出現偏差。這些情況發(fā)生時，往往需要手動將晶圓從機臺內部或者晶圓盒中取出或者手動進行位置校正，但是工作人員通過手直接接觸晶圓，不可避免地會在晶圓表面殘留污染物，影響晶圓良率。如果晶圓在腔體內進行當前工藝時機臺發(fā)生故障，晶圓表面可能會攜帶有工藝產生的化學物質，如果工作人員用手直接與其接觸，還會對人體產生傷害。

技術實現要素：

為解決上述問題，本實用新型提供了一種晶圓移動裝置，可以通過此裝置移動晶圓，避免工作人員與晶圓的直接接觸。

本實用新型提供了一種晶圓移動裝置，其包括兩個固定件、兩個桿狀手臂以及三個以上固定爪；每個固定件連接一個桿狀手臂，并且，每個固定件連接至少一個固定爪的一端，每個固定爪的另一端具有一凹槽；所述三個以上固定爪用于在所述兩個固定件閉合時固定晶圓。

可選的，所述晶圓移動裝置還包括一可伸縮連接裝置，通過可伸縮連接裝置連接所述兩個固定件。

可選的，所述可伸縮連接裝置為活塞裝置，所述活塞裝置的數量為兩個，每個所述活塞裝置包括缸體部分和活塞部分，其中一個固定件上分布所述活塞裝置的缸體部分，另一個固定件上分布有所述活塞裝置的活塞部分。

可選的，所述固定爪包括與所述固定件連接的水平部分和與所述水平部分垂直連接的垂直部分，所述凹槽設置于所述垂直部分上。

可選的，所述固定爪的數量為四個，每個固定件連接兩個固定爪。

可選的，所述固定爪的數量為三個，其中一個固定件連接一個固定爪，另一個固定件連接兩個固定爪，相鄰兩個固定爪之間的夾角為120度。

可選的，所述凹槽的深度為2mm-3mm。

可選的，所述固定件為半圓環(huán)狀結構。

可選的，兩個固定件的尺寸相同。

可選的，所述凹槽與兩個固定件閉合后形成的圓環(huán)的中心軸線的垂直距離為150mm～151mm、100mm～101mm或者75mm～76mm。

采用本實用新型提供的晶圓移動裝置進行晶圓移動，可利用桿狀手臂將兩個固定件撐開，然后將固定爪的凹槽對準待移動晶圓的邊緣，再通過桿狀手臂將兩個固定件閉合，待移動晶圓即被固定于所述晶圓移動裝置中。進行移動時，不需要人體與晶圓直接接觸，可避免產生污染物殘留，并可避免晶圓對人體造成傷害。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例一提供的晶圓移動裝置的俯視示意圖；

圖2是本實用新型實施例一提供的晶圓移動裝置的立體結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例一提供的晶圓移動裝置的固定爪的示意圖；

圖4是本實用新型實施例一提供的晶圓移動裝置中，分布有活塞裝置的缸體部分的固定件的側面示意圖；

圖5是本實用新型實施例一提供的晶圓移動裝置中，分布有活塞裝置的活塞部分的固定件的側面示意圖；

圖6是本實用新型實施例二提供的晶圓移動裝置的俯視示意圖；

其中，附圖1-附圖6的標記說明如下：

101、102、501、502-固定件；103、104-可伸縮連接裝置；105、107-活塞裝置的缸體部分；106、108-活塞裝置的活塞部分；201、202、203、204、601、602、603-固定爪；205、206、207、208-凹槽；301、302、701、702-桿狀手臂；d1-凹槽的深度；d2-凹槽的高度；d3-固定爪垂直部分的長度；L-垂直于圓環(huán)面穿過所述圓環(huán)中心的直線；S-凹槽與垂直于圓環(huán)面穿過所述圓環(huán)中心的直線的垂直距離；α、β-固定爪之間的夾角。

具體實施方式

本實用新型的核心思想在于提供一種晶圓移動裝置，所述晶圓移動裝置包括兩個固定件、兩個桿狀手臂以及三個以上固定爪，每個固定件連接一個桿狀手臂，并且，每個固定件連接至少一個固定爪的一端，每個固定爪的另一端具有一凹槽，可利用桿狀手臂將兩個固定件撐開，然后將固定爪的凹槽對準待移動晶圓的邊緣，再通過桿狀手臂將兩個固定件閉合，待移動晶圓即被固定于所述晶圓移動裝置中。采用本實用新型提供的晶圓移動裝置進行晶圓移動時，不需要人體與晶圓直接接觸，可避免產生污染物殘留，并可避免晶圓對人體造成傷害。

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的晶圓移動裝置作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

<實施例一>

圖1是本實用新型實施例一提供的晶圓移動裝置的兩個固定件閉合時的俯視示意圖，圖2是本實用新型實施例一提供的晶圓移動裝置的立體結構示意圖。如圖1和圖2所示，本實施例提供了一種晶圓移動裝置，其包括兩個固定件101、102，兩個桿狀手臂301、302，固定爪201、202、203、204和可伸縮連接裝置103、104。所述兩個桿狀手臂301、302分別固定于所述兩個固定件101、102上，通過對桿狀手臂301、302施力可使兩個固定件分開或閉合。所述固定爪201、202、203、204一端與所述固定件101、102連接，所述固定爪201、202、203、204的另一端具有一凹槽205、206、207、208，用于夾持晶圓。

使用本實施例提供的晶圓移動裝置時，對桿狀手臂301、302施加一作用力，使兩個固定件101、102分開，此時將固定爪201、202、203、204的凹槽205、206、207、208對準晶圓邊緣，再通過對桿狀手臂301、302施加一作用力或者通過可伸縮連接裝置103、104自身的收縮力，使兩個固定件101、102閉合，即可通過固定爪201、202、203、204將晶圓夾持住，之后就可進行移動。

重點參考圖1所示，本實施例提供的晶圓移動裝置，所述固定爪有4個，固定爪201與固定爪204位于一條直線上，固定爪202與固定爪203位于另一條直線上，這樣可以較好地夾持晶圓。固定爪201與固定爪202之間的夾角α為20°～30°，同時，固定爪202與固定爪203之間的夾角也為20°～30°。可以理解的是，在實際應用中，所述固定爪201、202、203、204的個數也可以為3個或者5個以上，均可實現夾持晶圓的目的，并且，相鄰兩個固定爪之間的夾角可根據實際情況進行調整。

本實施例中，所述兩個固定件101、102均為半圓環(huán)狀結構。較佳的，所述兩個固定件101、102的尺寸完全相同，比如，兩個固定件101、102閉合形成的圓環(huán)的內徑是40mm～60mm，兩個固定件101、102閉合形成的圓環(huán)的外徑是140mm～160mm。在其他實施例中，所述兩個固定件101、102可以是其它形狀，只要可通過固定爪201、202、203、204將晶圓夾持住即可，并且，兩個固定件101、102的內徑和/或外徑也可不相同。

本實施例中，所述桿狀手臂301的長度方向平行于所述兩個固定件101、102閉合形成的圓環(huán)的直徑方向。進一步的，所述桿狀手臂301均位于所述固定件101的對稱軸上，并且，所述桿狀手臂302位于所述固定件102的對稱軸上，如此便于施力。當然，所述桿狀手臂301、302也可偏離所連接的固定件101、102的對稱軸。

如圖2所示，所述固定件101與固定件102通過可伸縮連接裝置103和104連接，所述可伸縮連接裝置103、104例如是活塞裝置，其最大行程為15mm-25mm。在實際應用中，可伸縮連接裝置103、104不限于活塞裝置，其最大行程也可根據情況進行調整。

如圖2所示，凹槽205、206、207、208與圓環(huán)的中心軸線L的垂直距離S相等，均為150mm～151mm，用于夾取12英寸晶圓。當然，凹槽205、206、207、208與圓環(huán)的中心軸線L的垂直距離S也可以為100mm～101mm，用于夾取8英寸晶圓，或者，凹槽205、206、207、208與圓環(huán)的中心軸線L的垂直距離S為75mm～76mm，用于夾取6英寸晶圓。

圖3是本實施例提供的晶圓移動裝置的固定爪201的示意圖。如圖3所示，所述固定爪201包括水平部分2011和與水平部分2011垂直連接的垂直部分2012，凹槽位于所述固定爪的垂直部分2012上。所述水平部分2011的長度方向平行于所述兩個固定件101、102閉合形成的圓環(huán)的直徑方向。所述凹槽的深度d1優(yōu)選為2mm～3mm，所述凹槽的高度d2優(yōu)選為9mm-10mm，所述固定爪201的垂直部分2012的長度d3優(yōu)選為25mm-35mm，其它固定爪202、203、204與固定爪201構造相同。當然在實際應用中，所述固定爪201彎曲的夾角也可根據情況進行調整，所述凹槽2012的深度d1與高度d2都可根據實際情況進行調整，所述固定爪201的垂直部分2012的長度d3也可進行適當調整。

如圖4所示，本實施例的可伸縮連接裝置103、104為活塞裝置，固定件101的沿寬度方向截面(兩矩形截面)的中心均分布有一個圓柱形凹槽，即活塞裝置的缸體部分105、107。其它實施例中，活塞裝置的缸體部分105、107可以為3個以上，其也可以分布在所述固定件101的矩形截面的其它位置。

如圖4所示，本實施例中，所述桿狀手臂301與所述固定件101的內表面的中心位置相連接?？梢岳斫獾氖?，所述桿狀手臂301與所述固定件101的連接位置可以根據實際情況進行調整，所述桿狀手臂301也可由固定件101的外表面延伸。

如圖5所示，本實施例中，所述桿狀手臂302與所述固定件102的外表面的中心位置相連接。可以理解的是，所述桿狀手臂302與所述固定件102的連接位置可以根據實際情況進行調整。

<實施例二>

如圖6所示，其是本實用新型實施例二提供的晶圓移動裝置的俯視示意圖。本實施例與實施例一的區(qū)別在于，本實施例提供的晶圓移動裝置的固定爪601、602、603為3個，且固定爪601、602、603均勻分布，即，相鄰兩個固定爪之間的夾角均為120°。

綜上所述，采用本實用新型提供的晶圓移動裝置進行晶圓移動，用桿狀手臂將所述兩個固定件撐開，然后將固定爪的凹槽對準待移動晶圓的邊緣，再通過桿狀手臂將所述兩個固定件閉合，待移動晶圓即被固定于所述晶圓移動裝置中。進行移動時，不需要人體與晶圓直接接觸，也就不會產生污染物殘留以及對人體造成傷害的問題。

上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領域的普通技術人員根據上述揭示內容做的任何變更、修飾，均屬于權利要求書的保護范圍。