技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
檢查裝置具備：激光光源；將激光從金屬層側(cè)照射至半導(dǎo)體設(shè)備的激光標(biāo)記用光學(xué)系統(tǒng)；通過控制激光光源來控制激光標(biāo)記的控制部；在基板側(cè)檢測(cè)來自半導(dǎo)體設(shè)備的光并輸出光學(xué)反射像的二維照相機(jī)；及生成半導(dǎo)體設(shè)備的圖案圖像的解析部；控制部以直至標(biāo)記像顯現(xiàn)于圖案圖像為止進(jìn)行激光標(biāo)記的方式控制激光光源。

技術(shù)研發(fā)人員：鈴木信介;寺田浩敏;松田俊輔
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浜松光子學(xué)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.08
技術(shù)公布日：2017.09.26