技術總結
本發(fā)明涉及半導體光電子器件領域，并且更特別地，涉及一種新型的可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器的制備方法。針對現(xiàn)有技術中可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器制造工藝成品率低，價格高昂的技術問題，本發(fā)明提出了一種新型的可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器的制備方法。通過利用黑蠟作為支撐層結合ELO工藝剝離外延層；避免了等離子體刻蝕的操作步驟，顯著降低了可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器的制造成本，提高了制造成品率。

技術研發(fā)人員：關赫;陶明亮;杜永乾
受保護的技術使用者：西北工業(yè)大學
文檔號碼：201710045602
技術研發(fā)日：2017.01.20
技術公布日：2017.05.24