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      控制硅納米線走向的裝置的制作方法

      文檔序號(hào):12725480閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:包括反應(yīng)釜體、可調(diào)電源、控制單元、盛放蝕刻溶液器皿和泵,所述反應(yīng)釜體的中部設(shè)有硅片架,所述反應(yīng)釜體由所述硅片架及硅片平分為左右兩個(gè)腔室,所述盛放蝕刻溶液器皿通過管道分別連接至所述兩個(gè)腔室,所述泵設(shè)于所述管道的前端,所述反應(yīng)釜體的頂部設(shè)有端蓋,所述端蓋上設(shè)有環(huán)形導(dǎo)軌和滑塊,所述滑塊與所述環(huán)形導(dǎo)軌相匹配,所述兩個(gè)腔室分別設(shè)有惰性電極,所述惰性電極與所述硅片架相對(duì)面為平面,所述惰性電極通過穿設(shè)于所述端蓋及所述滑塊的長(zhǎng)螺栓與所述可調(diào)電源電連接,兩個(gè)長(zhǎng)螺栓通過連桿連接,所述惰性電極與所述可調(diào)電源電連接,所述可調(diào)電源和所述泵分別受所述控制單元的控制。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述惰性電極與所述連桿之間的長(zhǎng)螺栓上套設(shè)有第一彈性體。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述第一彈性體為長(zhǎng)彈簧。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述硅片架通過短螺栓與所述端蓋連接,所述連桿的中部設(shè)有帶孔的連接部,所述連接部套設(shè)于所述短螺栓上,所述連接部與所述端蓋之間的短螺栓上套設(shè)有第二彈性體。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述第二彈性體為短彈簧。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述反應(yīng)釜體為圓筒狀,所述惰性電極的背面為圓弧面,所述圓弧面與所述反應(yīng)釜體內(nèi)壁貼合。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述端蓋上在所述環(huán)形導(dǎo)軌的外周設(shè)有分度盤。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述長(zhǎng)螺栓的上端設(shè)有鎖緊螺母。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述惰性電極與所述可調(diào)電源的連線上設(shè)有電阻。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制硅納米線走向的裝置,其特征在于:所述兩個(gè)腔室內(nèi)分別設(shè)有液位傳感器。

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