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      一種柔性復合透明導電薄膜及其制備方法與流程

      文檔序號:11098433閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種柔性復合透明導電薄膜,其特征在于:包括柔性襯底及依次置于柔性襯底上的金屬氧化物膜、中間金屬層膜,以及金屬納米線膜。

      2.根據權利要求1所述的一種柔性復合透明導電薄膜,其特征在于:所述中間金屬層膜的材料為銀、金,或者二者的合金。

      3.根據權利要求1或2所述的一種柔性復合透明導電薄膜,其特征在于:中間金屬層膜的厚度為5nm~25nm。

      4.根據權利要求1所述的一種柔性復合透明導電薄膜,其特征在于:所述金屬氧化物膜為ITO薄膜、AZO薄膜、IZO薄膜或IGZO薄膜,膜厚介于20nm~100nm之間。

      5.根據權利要求1所述的一種柔性復合透明導電薄膜,其特征在于:所述金屬納米線膜為銀納米線膜,膜厚為金屬納米線長度的2~5倍。

      6.根據權利要求1或5所述的一種柔性復合透明導電薄膜,其特征在于:所述的金屬納米線的直徑為30nm~180nm,長度為30μm~200μm。

      7.根據權利要求1或5所述的一種柔性復合透明導電薄膜,其特征在于:所述的金屬氧化物膜、中間金屬層膜,以及金屬納米線膜的厚度保證柔性復合透明導電薄膜在可見光范圍400nm~700nm內的平均透光率可達82%以上,平均方塊電阻小于7.5Ω/□。

      8.一種柔性復合透明導電薄膜的制備方法,其特征在于:依次在柔性襯底上制備金屬氧化物膜、中間金屬膜和金屬納米線膜,其中,金屬氧化物膜和中間金屬膜采用磁控濺射工藝制備,金屬納米線膜采用涂布工藝制備。

      9.根據權利要求8所述的一種柔性復合透明導電薄膜的制備方法,其特征在于:所述金屬氧化物膜是在氬氣和氧氣的混合氣氛內進行,中間金屬膜是在氬氣氣氛內進行;磁控濺射制備金屬氧化物時,襯底的溫度為25℃~220℃,磁控濺射制備中間金屬膜時,襯底的溫度為室溫;磁控濺射制備金屬氧化物和中間金屬膜的其他條件為:本底真空:1.0×10-3Pa~3.0×10-3Pa;濺射壓強:0.2Pa~0.8Pa;濺射功率:30W~200W。

      10.根據權利要求8所述的一種柔性復合透明導電薄膜的制備方法,其特征在于:所述的金屬納米線膜是在室溫下以50mm/s~200mm/s的速度進行涂布。

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