技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及用金屬或陶瓷材料硬化的圖案。在第一方面中,本發(fā)明涉及一種圖案化的結(jié)構(gòu),其包括:i)基片(100),ii)位于該基片(100)頂部的第一層(200),其包括填充材料(220,240)和引導(dǎo)材料(210,230),其中至少該第一層(200)的頂表面包括一個或多個填充材料(220,240)區(qū)域和一個或多個引導(dǎo)材料(210,230)區(qū)域,和iii)位于該第一層(200)頂部的第二層(300),其包括第一材料(330)的圖案,該圖案與下層的一個或多個引導(dǎo)材料(210,230)區(qū)域?qū)R或不對齊;其中該第一材料(330)包含金屬或陶瓷材料,其中該引導(dǎo)材料(210,230)和填充材料(220,240)都包含或都不包含該金屬或陶瓷材料。
技術(shù)研發(fā)人員:B·T·陳;A·辛格;S·薩嚴
受保護的技術(shù)使用者:IMEC非營利協(xié)會;魯汶天主教大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.16
技術(shù)公布日:2017.08.29